-
Al2O3 സെറാമിക് വേഫർ ചക്കിന്റെ ഇഷ്ടാനുസൃത പ്രോസസ്സിംഗ്
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
ST.CERA കസ്റ്റമൈസ്ഡ് സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾ സെറാമിക് പ്ലേറ്റ്
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
300 എംഎം വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിനുള്ള 12-ഇഞ്ച് അലുമിന വാക്വം ചക്ക്
300mm വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനായി സെന്റ്.സെറയുടെ 12-ഇഞ്ച് വാക്വം ചക്ക് 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിന (Al₂O₃) ഉപയോഗിച്ച് കൃത്യതയോടെ എഞ്ചിനീയറിംഗ് ചെയ്തിരിക്കുന്നു. 300mm വ്യാസത്തിലുടനീളം ഏകീകൃത വാക്വം വിതരണം ഉറപ്പാക്കാൻ ചക്കിൽ ഒരു ഫൈൻ-ഗ്രൂവ്ഡ് പ്രതലം (ഗ്രൂവ് വീതി 0.5–1.0 mm, പിച്ച് 2–3 mm) ഉണ്ട്. ഡൈസിംഗ്, ബാക്ക്‌സൈഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, പരിശോധന എന്നിവയ്ക്കിടെ വാർപ്പ്-ഫ്രീ വേഫർ ഫിക്സേഷൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നതിന് 5 μm-നുള്ളിൽ പരന്നത നിലനിർത്തുന്നു. മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉയർന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (361 MPa) ഉം കാഠിന്യവും (16 GPa) ആവർത്തിച്ചുള്ള വാക്വം സൈക്കിളുകളിൽ പോലും ദീർഘകാല ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത ഉറപ്പ് നൽകുന്നു.
-
ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് വാക്വം ചാനലുകളുള്ള അലുമിന സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ
സെന്റ്.സെറയുടെ അലുമിന വാക്വം എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ പ്രിസിഷൻ-മെഷീൻ ചെയ്ത വാക്വം ചാനലുകളെയും സക്ഷൻ ഹോളുകളെയും 99.8% ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി അലുമിന ബോഡിയിലേക്ക് നേരിട്ട് സംയോജിപ്പിക്കുന്നു. ഈ ഡിസൈൻ ബാഹ്യ വാക്വം പാഡുകളെ ഒഴിവാക്കുന്നു, ഏകീകൃത ഹോൾഡിംഗ് ഫോഴ്‌സ് ഉപയോഗിച്ച് നേരിട്ടുള്ള വേഫർ പിക്കപ്പ് സാധ്യമാക്കുന്നു. മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉയർന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (361 MPa) ഉം കാഠിന്യം (16 GPa) ഉം ആവർത്തിച്ചുള്ള വാക്വം സൈക്കിളുകൾക്ക് കീഴിൽ ദീർഘകാല ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കുന്നു. പാഡ് ഏരിയയിലുടനീളം പരന്നത 10 μm-നുള്ളിൽ നിലനിർത്തുന്നു, ഇത് വേഫർ സമ്മർദ്ദവും പൊട്ടലും തടയുന്നു. OEM റോബോട്ട് ആയുധങ്ങളുമായി എളുപ്പത്തിൽ സംയോജിപ്പിക്കുന്നതിന് പിൻ മൗണ്ടിംഗ് ഫ്ലേഞ്ചിൽ വാക്വം പോർട്ടുകൾ സ്ഥിതിചെയ്യുന്നു.
-
സ്റ്റാറ്റിക്-സെൻസിറ്റീവ് വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ESD-സുരക്ഷിത അലുമിന സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ
സെന്റ് സെറായുടെ ഇഎസ്ഡി (ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ഡിസ്ചാർജ്) സുരക്ഷിത അലുമിന സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ 99.8% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള Al₂O₃ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, 10⁶–10⁹ Ω/sq ഉപരിതല പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള ഇവ ഒരു പ്രൊപ്രൈറ്ററി ഡോപ്പിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിലൂടെ നേടിയെടുക്കുന്നു. ഈ ഭാഗങ്ങൾ സ്റ്റാറ്റിക് ചാർജ് ഫലപ്രദമായി ഇല്ലാതാക്കുന്നു, സെൻസിറ്റീവ് സെമികണ്ടക്ടർ വേഫറുകൾക്കും ഉപകരണങ്ങൾക്കും ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് കേടുപാടുകൾ തടയുന്നു. അടിസ്ഥാന മെറ്റീരിയൽ അതിന്റെ ഉയർന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (361 MPa), കാഠിന്യം (16 GPa), ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m) എന്നിവ നിലനിർത്തുന്നു. ESD-സുരക്ഷിത സെറാമിക് ഭാഗങ്ങളിൽ എൻഡ് ഇഫക്ടറുകൾ, ലിഫ്റ്റ് പിന്നുകൾ, ഗൈഡ് റെയിലുകൾ, FAB ഓട്ടോമേഷനായുള്ള കസ്റ്റം ഫിക്‌ചറുകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
-
സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോബ് ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്സ്
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
സെറാമിക് പ്ലേറ്റ് സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ കാരിയർ
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്സ്
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ചേംബർ സീലിംഗിനുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് സീൽ റിംഗ്
എലാസ്റ്റോമറുകൾ വിഘടിക്കുന്ന അങ്ങേയറ്റത്തെ പരിതസ്ഥിതികളിൽ പോളിമർ O-റിംഗുകൾക്ക് പകരമായി സെന്റ് സെറയുടെ സെറാമിക് സീൽ റിംഗ് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നു. 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിന (Al₂O₃) ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഈ കർക്കശമായ സീൽ റിംഗ്, 800°C വരെയുള്ള താപനിലയിലും ആക്രമണാത്മക പ്ലാസ്മ അല്ലെങ്കിൽ കെമിക്കൽ പരിതസ്ഥിതികളിലും വിശ്വസനീയമായ വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ വാതക നിയന്ത്രണം നൽകുന്നതിന് സ്റ്റാറ്റിക് സീലിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു - സാധാരണയായി മൃദുവായ ലോഹവുമായോ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഗാസ്കറ്റുമായോ ജോടിയാക്കുന്നു. മെറ്റീരിയൽ സീറോ ഔട്ട്‌ഗ്യാസിംഗ്, ഉയർന്ന കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി (അടിസ്ഥാന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി 361 MPa), കെമിക്കൽ ഇനർനെസ് (HF ഒഴികെ ഹാലോജനുകൾ, ആസിഡുകൾ, ക്ഷാരങ്ങൾ എന്നിവയെ പ്രതിരോധിക്കും) എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. കൃത്യതയുള്ള സീലിംഗ് ഉപരിതലങ്ങൾ (പരന്നത ≤5 μm, ഉപരിതല പരുക്കൻത Ra ≤0.2 μm) ഇണചേരൽ ലോഹവുമായോ സെറാമിക് ഘടകങ്ങളുമായോ ചോർച്ച-ഇറുകിയ സമ്പർക്കം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
-
പ്ലാസ്മ എച്ച് & സിവിഡി സിസ്റ്റങ്ങൾക്കുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിന ചേംബർ ഫോക്കസ് റിംഗ്
പ്ലാസ്മ എച്ച്, സിവിഡി, പിവിഡി സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു നിർണായക പ്രോസസ് കിറ്റ് ഘടകമാണ് സെന്റ് സെറാസ് ചേംബർ ഫോക്കസ് റിംഗ്. 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിന (Al₂O₃) ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഈ മോതിരം പ്ലാസ്മയെ പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നതിനും അയോൺ കോണീയ വിതരണം ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിനുമായി വേഫർ എഡ്ജിനെ ചുറ്റിപ്പറ്റിയാണ് പ്രവർത്തിക്കുന്നത്, അതുവഴി വേഫർ ഉപരിതലത്തിലുടനീളം എച്ച് ഏകത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു. മെറ്റീരിയൽ അസാധാരണമായ പ്ലാസ്മ പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m), 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, ഇത് ആക്രമണാത്മക ഫ്ലൂറിൻ അല്ലെങ്കിൽ ക്ലോറിൻ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പ്ലാസ്മ പരിതസ്ഥിതികളിൽ ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു. പ്രിസിഷൻ-ഗ്രൗണ്ട് ഐഡി/ഒഡി, ഫ്ലാറ്റ്നെസ് (≤10 μm) എന്നിവ കൃത്യമായ വേഫർ എഡ്ജ് പൊസിഷനിംഗ് പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, എഡ്ജ് വൈകല്യങ്ങളും കണികാ ഉത്പാദനവും കുറയ്ക്കുന്നു.
-
CVD / PVD പ്രോസസ് ചേമ്പറുകൾക്കുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് റിംഗ്
സെന്റ് സെറാസിന്റെ സെറാമിക് മോതിരം CVD (കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ), PVD (ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ) പ്രോസസ് ചേമ്പറുകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനായി പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ്. 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിന (Al₂O₃) ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഈ മോതിരം, പ്ലാസ്മയെ പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നതിനും ചേമ്പർ ഭിത്തികളെ മണ്ണൊലിപ്പിൽ നിന്ന് സംരക്ഷിക്കുന്നതിനുമുള്ള ഒരു ചേമ്പർ ലൈനർ, ഫോക്കസ് റിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ പ്രോസസ് കിറ്റ് ഘടകമായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു. മെറ്റീരിയൽ മികച്ച പ്ലാസ്മ പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m), 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, ഇത് ആക്രമണാത്മക ഫ്ലൂറിൻ അധിഷ്ഠിത പ്ലാസ്മ പരിതസ്ഥിതികളിൽ ദീർഘായുസ്സ് ഉറപ്പാക്കുന്നു. കൃത്യമായ ഡൈമൻഷണൽ ടോളറൻസുകളും (ID/OD-യിൽ ±0.05 mm) ഫ്ലാറ്റ്നെസ്സും (≤10 μm) സ്ഥിരമായ വേഫർ എഡ്ജ് പൊസിഷനിംഗ് പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, ഡിപ്പോസിഷൻ യൂണിഫോമിറ്റി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു, കണികാ ഉത്പാദനം കുറയ്ക്കുന്നു.
-
ബെർണൂലി സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ — നേർത്തതും ദുർബലവുമായ വേഫറുകൾക്കുള്ള നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ
സെന്റ്.സെറാസ് ബെർണൂലി സെറാമിക് എൻഡ് എഫെക്ടർ, ഭൗതിക സമ്പർക്കമില്ലാതെ വേഫറുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ എയറോഡൈനാമിക് ലിഫ്റ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള 99.8% അലുമിന (Al₂O₃) അല്ലെങ്കിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) എന്നിവയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച ഇത്, എൻഡ് ഇഫെക്ടറിനും വേഫറിനും ഇടയിൽ ഒരു നേർത്ത എയർ ഫിലിം സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന് പ്രഷറൈസ്ഡ് വാതകം പുറന്തള്ളുന്ന പ്രിസിഷൻ-മെഷീൻ ചെയ്ത നോസിലുകളുടെ സവിശേഷതയാണ്. ഈ നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് തത്വം ബാക്ക്‌സൈഡ് മലിനീകരണം, എഡ്ജ് ചിപ്പിംഗ്, ഉപരിതല കേടുപാടുകൾ എന്നിവ ഇല്ലാതാക്കുന്നു, ഇത് നേർത്ത (≤100 μm), ദുർബലമായ അല്ലെങ്കിൽ വളഞ്ഞ വേഫറുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. സെറാമിക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഉയർന്ന വഴക്കമുള്ള ശക്തി (Al₂O₃-ന് 361 MPa; SiC-ക്ക് 550–600 MPa വരെ), കുറഞ്ഞ പിണ്ഡം, മികച്ച ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത എന്നിവ നൽകുന്നു, ഇത് ഹൈ-സ്പീഡ് വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ റോബോട്ടുകളിൽ ആവർത്തിക്കാവുന്ന സ്ഥാനനിർണ്ണയം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
