-
Ipproċessar Personalizzat ta' Chuck tal-Wafer taċ-Ċeramika Al2O3
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
ST.CERA Tagħmir Semikonduttur Personalizzat Pjanċa taċ-Ċeramika
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Chuck tal-Vakwu tal-Alumina ta' 12-il pulzier għall-Ipproċessar tal-Wefer ta' 300mm
Iċ-chuck tal-vakwu ta' 12-il pulzier ta' St.Cera huwa magħmul b'inġinerija ta' preċiżjoni minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃) għall-immaniġġjar ta' wejfers ta' 300mm. Iċ-chuck għandu wiċċ b'kanal fin (wisa' tal-kanal 0.5–1.0 mm, pitch 2–3 mm) biex jiżgura distribuzzjoni uniformi tal-vakwu mad-dijametru kollu ta' 300mm. Il-flatness tinżamm fi ħdan 5 μm, li tippermetti fissazzjoni tal-wejfer mingħajr tgħawwiġ waqt it-tqattigħ f'dadi, it-tħin minn wara, u l-ispezzjoni. Is-saħħa għolja tal-flessjoni (361 MPa) u l-ebusija (16 GPa) tal-materjal jiggarantixxu stabbiltà dimensjonali fit-tul anke taħt ċikli ripetuti tal-vakwu.
-
Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika tal-Alumina b'Kanali tal-Vakwu Integrati
L-effettur tat-tarf tal-vakwu tal-alumina ta' St.Cera jintegra kanali tal-vakwu maħduma bil-magni ta' preċiżjoni u toqob tal-ġbid direttament fil-korp tal-alumina ta' purità għolja ta' 99.8%. Dan id-disinn jelimina l-kuxxinetti tal-vakwu esterni, u b'hekk jippermetti ġbir dirett tal-wejfer b'forza ta' żamma uniformi. Is-saħħa għolja tal-flessjoni (361 MPa) u l-ebusija (16 GPa) tal-materjal jiżguraw stabbiltà dimensjonali fit-tul taħt ċikli ripetuti tal-vakwu. Il-flatness madwar iż-żona tal-kuxxinett tinżamm fi żmien 10 μm, u b'hekk tiġi evitata l-istress u l-ksur tal-wejfer. Il-portijiet tal-vakwu jinsabu fil-flanġ tal-immuntar ta' wara għal integrazzjoni faċli mad-dirgħajn tar-robot OEM.
-
Partijiet taċ-Ċeramika tal-Alumina Sikuri għall-ESD għall-Immaniġġjar tal-Wefers Sensittivi għall-Istatiċi
Il-partijiet taċ-ċeramika tal-alumina sikuri għall-ESD (skariku elettrostatiku) ta' St.Cera huma manifatturati minn 99.8% Al₂O₃ ta' purità għolja b'reżistività tal-wiċċ imfassla apposta ta' 10⁶–10⁹ Ω/sq, miksuba permezz ta' proċess ta' doping jew kisi proprjetarju. Dawn il-partijiet ixerrdu b'mod effettiv iċ-ċarġ statiku, u jipprevjenu ħsara elettrostatika lil wafers u apparati semikondutturi sensittivi. Il-materjal bażi jżomm is-saħħa flessibbli għolja tiegħu (361 MPa), l-ebusija (16 GPa), u s-saħħa dielettrika (15×10⁶ V/m). Il-partijiet taċ-ċeramika sikuri għall-ESD jinkludu effetturi tat-tarf, pinnijiet tal-irfigħ, binarji ta' gwida, u tagħmir apposta għall-awtomazzjoni FAB.
-
Spare Parts taċ-Ċeramika għal Tagħmir tas-Sonda tas-Semikondutturi
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Trasportatur ta' Tagħmir Semikonduttur tal-Pjanċa taċ-Ċeramika
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Partijiet ta' Rikambju taċ-Ċeramika għat-Tagħmir Semikonduttur
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Ċirku tas-Siġill taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għas-Siġillar tal-Kamra f'Temperatura Għolja
Iċ-ċirku tas-siġill taċ-ċeramika ta' St.Cera huwa ddisinjat bħala alternattiva għaċ-ċrieki O tal-polimeru f'ambjenti estremi fejn l-elastomeri jiddegradaw. Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), dan iċ-ċirku tas-siġill riġidu jintuża f'applikazzjonijiet ta' siġillar statiku — tipikament imqabbad ma' gasket tal-metall artab jew tal-grafita — biex jipprovdi konteniment affidabbli tal-vakwu jew tal-gass f'temperaturi sa 800°C u f'ambjenti aggressivi tal-plażma jew kimiċi. Il-materjal joffri żero ħruġ ta' gass, saħħa kompressiva għolja (saħħa flessibbli sottostanti 361 MPa), u inerzja kimika (reżistenti għall-aloġeni, l-aċidi, u l-alkali ħlief l-HF). Uċuħ tas-siġillar imdaħħla bi preċiżjoni (ċatt ≤5 μm, ħruxija tal-wiċċ Ra ≤0.2 μm) jiżguraw kuntatt li ma jnixxix mal-komponenti tal-metall jew taċ-ċeramika li jaqblu.
-
Ċirku tal-Fokus tal-Kamra tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Sistemi ta' Inċiżjoni tal-Plażma u CVD
Iċ-ċirku tal-fokus tal-kamra ta' St.Cera huwa komponent kritiku tal-kit tal-proċess użat f'tagħmir tas-semikondutturi tal-inċiżjoni tal-plażma, CVD, u PVD. Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), iċ-ċirku jdawwar it-tarf tal-wejfer biex jikkonfina l-plażma u jottimizza d-distribuzzjoni angolari tal-joni, u b'hekk itejjeb l-uniformità tal-inċiżjoni tul il-wiċċ tal-wejfer. Il-materjal joffri reżistenza eċċezzjonali għall-plażma, saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), u stabbiltà termali sa 1600°C, li tiżgura affidabbiltà fit-tul f'ambjenti aggressivi tal-plażma bbażati fuq il-fluworin jew il-kloru. ID/OD mitħun bi preċiżjoni u ċatt (≤10 μm) jippermettu pożizzjonament preċiż tat-tarf tal-wejfer, u b'hekk inaqqsu d-difetti fit-tarf u l-ġenerazzjoni tal-partiċelli.
-
Ċirku taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għal Kmamar tal-Proċess CVD / PVD
Iċ-ċirku taċ-ċeramika ta' St.Cera huwa ddisinjat speċifikament għall-użu f'kmamar tal-proċess CVD (Depożizzjoni Kimika mill-Fwar) u PVD (Depożizzjoni Fiżika mill-Fwar). Manifatturat minn 99.8% alumina ta' purità għolja (Al₂O₃), dan iċ-ċirku jservi bħala inforra tal-kamra, ċirku tal-fokus, jew komponent tal-kit tal-proċess biex jikkonfina l-plażma u jipproteġi l-ħitan tal-kamra mill-erożjoni. Il-materjal joffri reżistenza eċċellenti għall-plażma, saħħa dielettrika għolja (15×10⁶ V/m), u stabbiltà termali sa 1600°C, li tiżgura ħajja twila ta' servizz f'ambjenti aggressivi tal-plażma bbażati fuq il-fluworin. Tolleranzi dimensjonali preċiżi (±0.05 mm fuq ID/OD) u ċattità (≤10 μm) jippermettu pożizzjonament konsistenti tat-tarf tal-wejfer, itejbu l-uniformità tad-depożizzjoni u jnaqqsu l-ġenerazzjoni tal-partiċelli.
-
Bernoulli Ceramic End Effector — Immaniġġjar ta' Wejfers Mingħajr Kuntatt għal Wejfers Irqaq u Fraġli
L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika Bernoulli ta' St.Cera juża rfigħ aerodinamiku biex jimmaniġġja l-wejfers mingħajr kuntatt fiżiku. Manifatturat minn alumina (Al₂O₃) jew karbur tas-silikon (SiC) ta' purità għolja ta' 99.8%, għandu żennuni maħduma bil-magni preċiżi li joħorġu gass bi pressjoni biex joħolqu film irqiq ta' arja bejn l-effettur tat-tarf u l-wejfer. Dan il-prinċipju mingħajr kuntatt jelimina l-kontaminazzjoni minn wara, it-tqattigħ tat-truf, u l-ħsara fil-wiċċ, u dan jagħmilha ideali għal wejfers irqaq (≤100 μm), fraġli, jew mgħawġa. Is-sottostrat taċ-ċeramika jipprovdi saħħa flessibbli għolja (361 MPa għal Al₂O₃; sa 550–600 MPa għal SiC), massa baxxa, u stabbiltà dimensjonali eċċellenti, li tiżgura pożizzjonament ripetibbli f'robots tat-trasferiment tal-wejfers b'veloċità għolja.
