-
Diski taċ-ċeramika tal-alumina b'purità għolja
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
driegħ taċ-ċeramika tal-alumina
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Ċrieki ta' Insulazzjoni taċ-Ċeramika Ċrieki ta' Fokus taċ-Ċeramika
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Protezzjoni tal-Insulazzjoni taċ-Ċirku tal-Morsa taċ-Ċeramika tal-Alumina ST.CERA
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Driegħ Robotiku taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Purità Għolja għall-Immaniġġjar tal-Wefers
Id-driegħ tar-robot taċ-ċeramika tal-alumina ta' St.Cera huwa magħmul minn inġinerija ta' preċiżjoni minn 99.8% Al₂O₃ (alumina) ta' purità għolja. Jikkombina saħħa flessibbli eċċezzjonali (361 MPa), ebusija għolja (16 GPa), u densità baxxa (3.93 g/cm³), li tirriżulta f'driegħ ħafif iżda riġidu għat-trasferiment tal-wejfer tas-semikondutturi. Il-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-materjal (7.2×10⁻⁶/°C) jaqbel sew mas-silikon, u jimminimizza n-nuqqas ta' qbil termali waqt l-ipproċessar.
-
Partijiet taċ-Ċeramika taċ-Ċirku taċ-Ċeramika ta' Preċiżjoni Għolja tal-Alumina
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Ċokkijiet taċ-Ċeramika għal Tagħmir Semikonduttur Personalizzat ST.CERA
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur (SiC) – Ebusija Għolja għall-Immaniġġjar tal-Wafers f'Temperatura Għolja
L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika SiC ta' St.Cera huwa manifatturat minn karbur tas-silikon ta' purità għolja (kontenut ta' SiC 99.72%, Si ħieles 0.05%) bl-użu tal-materjal tal-lott S1111. Joffri proprjetajiet mekkaniċi eċċezzjonali: saħħa tal-flessjoni 449 MPa (imkejla), modulu elastiku 457 GPa (imkejjel), u ebusija Vickers 25–28 GPa (tipiku). Id-densità baxxa (3.10–3.15 g/cm³, tipika) tipprovdi ebusija speċifika għolja, ideali għal robots tat-trasferiment tal-wejfers b'veloċità għolja. B'konduttività termali ta' 120–150 W/m·K (tipika) u koeffiċjent ta' espansjoni termali ta' 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipiku), dan l-effettur tat-tarf ixerred is-sħana b'mod effettiv u jżomm l-istabbiltà dimensjonali waqt l-immaniġġjar f'temperatura għolja (sa 1600–1700°C, mingħajr tagħbija). Il-kulur iswed/griż u l-assorbiment żero tal-ilma jiżguraw kompatibilità mal-kamra nadifa.
-
Chuck tal-Vakwu Bbażat fuq il-Karbur tas-Silikon (SiC) għal Ambjenti ta' Temperatura Għolja u Plażma
Iċ-ċokk taċ-ċeramika bbażat fuq is-SiC ta' St.Cera huwa manifatturat minn karbur tas-silikon ta' purità għolja (lott S1111, SiC 99.72%, Si ħieles 0.05%). Jipprovdi saħħa tal-flessjoni mkejla ta' 449 MPa, reżistenza għall-ksur ta' 3.12 MPa·m¹/², u modulu elastiku ta' 457 GPa. Il-konduttività termali tipika tal-materjal (120–150 W/m·K) u l-espansjoni termali baxxa (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) jippermettu żieda rapida fit-temperatura u tgħawwiġ minimu tal-wejfer waqt iċ-ċikliżmu termali. Iċ-ċokk jista' jiġi kkonfigurat bħala ċokk poruż tal-vakwu (fluss uniformi tal-gass) jew ċokk standard bil-kanali. B'temperatura massima ta' użu ta' 1600–1700°C (mingħajr tagħbija) u reżistenza eċċezzjonali għall-erożjoni tal-plażma, dan iċ-ċokk huwa ideali għall-ipproċessar tal-wejfers f'temperatura għolja (ittemprar, RTP) u kmamar tal-inċiżjoni aggressivi fejn iċ-ċokkijiet tal-alumina jiddegradaw.
-
Tagħmir Semikonduttur Spare Parts taċ-Ċeramika Trasportaturi taċ-Ċeramika
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
-
Ċirku tat-Tħin taċ-Ċeramika tal-Alumina b'Back tal-Metall għal Applikazzjonijiet ta' Lapping b'Riġidità Għolja
Iċ-ċirku tat-tħin tal-alumina bbażat fuq il-metall ta' St.Cera jikkombina saff taċ-ċeramika tal-alumina ta' purità għolja (99.8% Al₂O₃) ma' rinforz tal-metall maħdum bi preċiżjoni (tipikament aluminju jew azzar inossidabbli). Dan id-disinn ibridu jipprovdi r-reżistenza eċċezzjonali għall-użu u l-inerzja kimika taċ-ċeramika fuq il-wiċċ tat-tħin, filwaqt li l-bażi tal-metall iżżid saħħa mekkanika, immuntar faċli, u reżistenza għall-ksur fraġli. Is-saff tal-alumina joffri saħħa flessibbli ta' 361 MPa, ebusija Vickers ta' 16 GPa, u stabbiltà termali sa 800°C. Il-bażi tal-metall hija personalizzata b'toqob tal-immuntar, pinnijiet tal-lokalizzazzjoni, jew proprjetajiet manjetiċi għall-integrazzjoni f'magni tal-lapping, grinders planetarji, u tagħmir CMP.
-
Spare Parts taċ-Ċeramika għal Tagħmir tal-Istazzjon tas-Sonda tas-Semikondutturi
Iffurmati permezz ta' pressa iżostatika kiesħa u sinterizzati f'temperatura għolja, imbagħad immaxinjati b'preċiżjoni u llustrati, il-partijiet ta' rikambju taċ-ċeramika jistgħu jissodisfaw kwalunkwe rekwiżit strett ta' tagħmir semikonduttur bil-karatteristiċi tagħhom ta' reżistenza għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni, espansjoni termali baxxa, u insulazzjoni. Iċ-ċeramika tista' taħdem f'ħafna tipi ta' tagħmir ta' produzzjoni semikonduttur b'kundizzjoni ta' temperatura għolja, vakwu jew gass korrużiv għal żmien twil.
Magħmul minn trab tal-alumina ta' purità għolja, ipproċessat permezz ta' pressa iżostatika kiesħa, sinterizzazzjoni f'temperatura għolja u finitura ta' preċiżjoni, jista' jilħaq it-tolleranza tad-dimensjoni għal ±0.001 mm, finitura tal-wiċċ Ra 0.1, reżistenza għat-temperatura 1600℃.
