-
Áloxíð keramik diskar með mikilli hreinleika
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Armur úr áli úr keramik
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Keramik einangrunarhringir Keramik fókushringir
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
ST.CERA áloxíð keramik klemmuhringur einangrunarvörn
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Háhreinleiki áloxíð keramik vélmenni fyrir meðhöndlun á skífum
Keramik-róbotarmurinn frá St.Cera úr álúxíni er nákvæmlega smíðaður úr 99,8% hreinu Al₂O₃ (álúxíni). Hann sameinar einstakan sveigjanleika (361 MPa), mikla hörku (16 GPa) og lágan eðlisþyngd (3,93 g/cm³), sem leiðir til létts en samt stífs arms fyrir flutning á hálfleiðaraskífum. Varmaþenslustuðull efnisins (7,2×10⁻⁶/°C) passar vel við sílikon, sem lágmarkar varmaójafnvægi við vinnslu.
-
Áloxíð hágæða keramikhringir úr keramikhlutum
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
ST.CERA Sérsniðnir hálfleiðarabúnaðar keramikfjöður
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Kísilkarbíð (SiC) keramik endaáhrif - Mikil stífleiki fyrir meðhöndlun á háhitaskífum
SiC keramik endaflöturinn frá St.Cera er framleiddur úr hágæða kísilkarbíði (SiC innihald 99,72%, frítt Si 0,05%) með því að nota S1111 framleiðsluefnið. Hann býður upp á einstaka vélræna eiginleika: beygjustyrk 449 MPa (mælt), teygjustuðul 457 GPa (mælt) og Vickers hörku 25–28 GPa (dæmigert). Lágur eðlisþyngd (3,10–3,15 g/cm³, dæmigert) veitir mikla sértæka stífleika, tilvalið fyrir hraðvirka skífuflutningsvélmenni. Með varmaleiðni upp á 120–150 W/m·K (dæmigert) og varmaþenslustuðul upp á 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (dæmigert) dreifir þessi endaflötur hita á áhrifaríkan hátt og viðheldur víddarstöðugleika við meðhöndlun við hátt hitastig (allt að 1600–1700°C, án álags). Svartur/grár litur og engin vatnsupptaka tryggja eindrægni í hreinrýmum.
-
Tómarúmsspennubúnaður úr kísilkarbíði (SiC) fyrir háhita- og plasmaumhverfi
Keramikspennan frá St.Cera, sem er byggð á SiC, er framleidd úr hágæða kísilkarbíði (lota S1111, SiC 99,72%, frítt Si 0,05%). Hún býður upp á mældan beygjustyrk upp á 449 MPa, brotþol upp á 3,12 MPa·m¹/² og teygjustuðul upp á 457 GPa. Dæmigerð varmaleiðni efnisins (120–150 W/m·K) og lítil varmaþensla (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) gerir kleift að hækka hitastig hratt og lágmarka aflögun skífna við hitahringrás. Hægt er að stilla spennuna sem porous lofttæmisspennu (jafnt gasflæði) eða rifnaða staðlaða spennu. Með hámarksnotkunarhita upp á 1600–1700°C (án álags) og einstaka mótstöðu gegn plasmaeyðingu, er þessi spenna tilvalin fyrir háhitavinnslu á skífum (glæðingu, RTP) og árásargjarn etsklefa þar sem áloxíðspennur brotna niður.
-
Varahlutir fyrir hálfleiðarabúnað úr keramik, keramikflutningsaðilar
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Málmbakaður áloxíð keramik malahringur fyrir notkun með mikilli stífni
Áloxíðslímhringurinn frá St.Cera, sem er byggður á málmi, sameinar slitlag úr keramik með mikilli hreinleika áloxíðs (99,8% Al₂O₃) og nákvæmt vélunnið málmbakgrunn (venjulega úr áli eða ryðfríu stáli). Þessi blendingahönnun veitir einstaka slitþol og efnafræðilega óvirkni keramiksins á slípiflötinum, en málmgrunnurinn bætir við vélrænum styrk, auðveldar uppsetningu og mótstöðu gegn brothættum brotum. Áloxíðlagið býður upp á sveigjanleika upp á 361 MPa, Vickers hörku upp á 16 GPa og hitastöðugleika allt að 800°C. Málmgrunnurinn er sérsniðinn með festingargötum, staðsetningarpinnum eða segulmögnun til samþættingar í slípivélar, reikistjörnuslípvélar og CMP búnað.
-
Varahlutir úr keramik fyrir hálfleiðaraprófunarstöðvar
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
