-
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯೊಂದಿಗೆ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಡಿಸ್ಕ್‌ಗಳು
ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ರೂಪುಗೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಿ, ನಂತರ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ನೀಡಿ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಯಾವುದೇ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದು, ಅದರ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲದ ಸ್ಥಿತಿಯೊಂದಿಗೆ ಅನೇಕ ರೀತಿಯ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡಬಹುದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪುಡಿಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಇದನ್ನು ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ± 0.001 ಮಿಮೀ ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ ರಾ 0.1, ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ 1600℃.
-
ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತೋಳು
ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ರೂಪುಗೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಿ, ನಂತರ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ನೀಡಿ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಯಾವುದೇ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದು, ಅದರ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲದ ಸ್ಥಿತಿಯೊಂದಿಗೆ ಅನೇಕ ರೀತಿಯ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡಬಹುದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪುಡಿಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಇದನ್ನು ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ± 0.001 ಮಿಮೀ ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ ರಾ 0.1, ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ 1600℃.
-
ಸೆರಾಮಿಕ್ ನಿರೋಧನ ಉಂಗುರಗಳು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಫೋಕಸಿಂಗ್ ಉಂಗುರಗಳು
ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ರೂಪುಗೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಿ, ನಂತರ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ನೀಡಿ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಯಾವುದೇ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದು, ಅದರ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲದ ಸ್ಥಿತಿಯೊಂದಿಗೆ ಅನೇಕ ರೀತಿಯ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡಬಹುದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪುಡಿಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಇದನ್ನು ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ± 0.001 ಮಿಮೀ ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ ರಾ 0.1, ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ 1600℃.
-
ST.CERA ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಕ್ಲಾಂಪ್ ರಿಂಗ್ ಇನ್ಸುಲೇಷನ್ ಪ್ರೊಟೆಕ್ಷನ್
ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ರೂಪುಗೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಿ, ನಂತರ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ನೀಡಿ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಯಾವುದೇ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದು, ಅದರ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲದ ಸ್ಥಿತಿಯೊಂದಿಗೆ ಅನೇಕ ರೀತಿಯ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡಬಹುದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪುಡಿಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಇದನ್ನು ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ± 0.001 ಮಿಮೀ ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ ರಾ 0.1, ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ 1600℃.
-
ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ರೋಬೋಟ್ ಆರ್ಮ್
ಸೇಂಟ್.ಸೆರಾದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ರೋಬೋಟ್ ಆರ್ಮ್ ಅನ್ನು 99.8% ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ Al₂O₃ (ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ) ನಿಂದ ನಿಖರತೆ-ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದು ಅಸಾಧಾರಣ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ (361 MPa), ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ (16 GPa) ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆ (3.93 g/cm³) ಅನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆಗೆ ಹಗುರವಾದ ಆದರೆ ಕಠಿಣವಾದ ತೋಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ವಸ್ತುವಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ (7.2×10⁻⁶/°C) ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗೆ ನಿಕಟವಾಗಿ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುತ್ತದೆ, ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉಷ್ಣ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
-
ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಹೈ-ನಿಖರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ರಿಂಗ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳು
ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ರೂಪುಗೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಿ, ನಂತರ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ನೀಡಿ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಯಾವುದೇ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದು, ಅದರ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲದ ಸ್ಥಿತಿಯೊಂದಿಗೆ ಅನೇಕ ರೀತಿಯ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡಬಹುದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪುಡಿಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಇದನ್ನು ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ± 0.001 ಮಿಮೀ ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ ರಾ 0.1, ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ 1600℃.
-
ST.CERA ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಲಕರಣೆ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್ಸ್
ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ರೂಪುಗೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಿ, ನಂತರ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ನೀಡಿ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಯಾವುದೇ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದು, ಅದರ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲದ ಸ್ಥಿತಿಯೊಂದಿಗೆ ಅನೇಕ ರೀತಿಯ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡಬಹುದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪುಡಿಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಇದನ್ನು ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ± 0.001 ಮಿಮೀ ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ ರಾ 0.1, ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ 1600℃.
-
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ - ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ
St.Cera's SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ ಅನ್ನು S1111 ಬ್ಯಾಚ್ ವಸ್ತುವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನಿಂದ (SiC ಅಂಶ 99.72%, ಉಚಿತ Si 0.05%) ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಅಸಾಧಾರಣ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ: ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ 449 MPa (ಅಳತೆ), ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ 457 GPa (ಅಳತೆ), ಮತ್ತು ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ 25–28 GPa (ವಿಶಿಷ್ಟ). ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆ (3.10–3.15 g/cm³, ವಿಶಿಷ್ಟ) ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಬಿಗಿತವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ರೋಬೋಟ್‌ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. 120–150 W/m·K (ವಿಶಿಷ್ಟ) ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ವಿಶಿಷ್ಟ) ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದೊಂದಿಗೆ, ಈ ಅಂತಿಮ ಪರಿಣಾಮಕವು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಶಾಖವನ್ನು ಹೊರಹಾಕುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ (1600–1700°C ವರೆಗೆ, ಯಾವುದೇ ಹೊರೆ ಇಲ್ಲ). ಕಪ್ಪು/ಬೂದು ಬಣ್ಣ ಮತ್ತು ಶೂನ್ಯ ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯು ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
-
ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರಕ್ಕಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಆಧಾರಿತ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್
ಸೇಂಟ್.ಸೆರಾದ SiC-ಆಧಾರಿತ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ (ಬ್ಯಾಚ್ S1111, SiC 99.72%, ಉಚಿತ Si 0.05%). ಇದು 449 MPa ನ ಅಳತೆಯ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ, 3.12 MPa·m¹/² ನ ಮುರಿತದ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು 457 GPa ನ ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ ಅನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ವಸ್ತುವಿನ ವಿಶಿಷ್ಟ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (120–150 W/m·K) ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ಉಷ್ಣ ಸೈಕ್ಲಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ತ್ವರಿತ ತಾಪಮಾನದ ರಾಂಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಕನಿಷ್ಠ ವೇಫರ್ ವಾರ್ಪೇಜ್ ಅನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಚಕ್ ಅನ್ನು ಸರಂಧ್ರ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್ (ಏಕರೂಪದ ಅನಿಲ ಹರಿವು) ಅಥವಾ ಗ್ರೂವ್ಡ್ ಸ್ಟ್ಯಾಂಡರ್ಡ್ ಚಕ್ ಆಗಿ ಕಾನ್ಫಿಗರ್ ಮಾಡಬಹುದು. 1600–1700°C ಗರಿಷ್ಠ ಬಳಕೆಯ ತಾಪಮಾನ (ಲೋಡ್ ಇಲ್ಲ) ಮತ್ತು ಅಸಾಧಾರಣ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸವೆತ ನಿರೋಧಕತೆಯೊಂದಿಗೆ, ಈ ಚಕ್ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ (ಅನೆಲಿಂಗ್, RTP) ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಚಕ್‌ಗಳು ಕೊಳೆಯುವ ಆಕ್ರಮಣಕಾರಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಕೋಣೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
-
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಲಕರಣೆ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ಸ್
ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ರೂಪುಗೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಿ, ನಂತರ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ನೀಡಿ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಯಾವುದೇ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದು, ಅದರ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲದ ಸ್ಥಿತಿಯೊಂದಿಗೆ ಅನೇಕ ರೀತಿಯ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡಬಹುದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪುಡಿಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಇದನ್ನು ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ± 0.001 ಮಿಮೀ ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ ರಾ 0.1, ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ 1600℃.
-
ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತದ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ಲೋಹದ-ಬೆಂಬಲಿತ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ರಿಂಗ್
St.Cera ನ ಲೋಹ ಆಧಾರಿತ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ರಿಂಗ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (99.8% Al₂O₃) ಸೆರಾಮಿಕ್ ಉಡುಗೆ ಪದರವನ್ನು ನಿಖರ-ಯಂತ್ರದ ಲೋಹದ ಬೆಂಬಲದೊಂದಿಗೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಅಥವಾ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್) ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಹೈಬ್ರಿಡ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸೆರಾಮಿಕ್‌ನ ಅಸಾಧಾರಣ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಲೋಹದ ಬೇಸ್ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಸುಲಭವಾದ ಆರೋಹಣ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾಗಿ ಮುರಿತಕ್ಕೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಸೇರಿಸುತ್ತದೆ. ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪದರವು 361 MPa ನ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ, 16 GPa ನ ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು 800 ° C ವರೆಗೆ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಯಂತ್ರಗಳು, ಗ್ರಹ ಗ್ರೈಂಡರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು CMP ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಏಕೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ಲೋಹದ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಆರೋಹಿಸುವ ರಂಧ್ರಗಳು, ಲೊಕೇಟಿಂಗ್ ಪಿನ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಕಾಂತೀಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ.
-
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರೋಬ್ ಸ್ಟೇಷನ್ ಸಲಕರಣೆಗಾಗಿ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು
ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ರೂಪುಗೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಿ, ನಂತರ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ನೀಡಿ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಯಾವುದೇ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದು, ಅದರ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲದ ಸ್ಥಿತಿಯೊಂದಿಗೆ ಅನೇಕ ರೀತಿಯ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡಬಹುದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪುಡಿಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಇದನ್ನು ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ± 0.001 ಮಿಮೀ ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ ರಾ 0.1, ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ 1600℃.
