-
Alumina keramyske skiven mei hege suverens
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
aluminiumoxide keramyske earm
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Keramyske isolaasjeringen Keramyske fokusringen
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
ST.CERA Alumina Keramyske Klemring Isolaasjebeskerming
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Heech-suvere aluminiumoxide keramyske robotarm foar waferbehanneling
De aluminiumoxide keramyske robotarm fan St.Cera is presyzje-ûntwurpen út 99,8% heechsuvere Al₂O₃ (alumina). It kombinearret útsûnderlike bûgingssterkte (361 MPa), hege hurdens (16 GPa) en lege tichtheid (3,93 g/cm³), wat resulteart yn in lichtgewicht, mar dochs stive earm foar oerdracht fan healgeleiderwafers. De termyske útwreidingskoëffisjint fan it materiaal (7,2 × 10⁻⁶/°C) komt nau oerien mei silisium, wêrtroch termyske mismatch tidens de ferwurking minimalisearre wurdt.
-
Alumina hege-presyzje keramyske ring keramyske ûnderdielen
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
ST.CERA oanpaste healgeleiderapparatuer keramyske chucks
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Silisiumkarbide (SiC) keramyske eineffektor - Hege styfheid foar hege-temperatuer waferbehanneling
De SiC keramyske ein-effektor fan St.Cera is makke fan heechsuvere silisiumkarbid (SiC-ynhâld 99,72%, frij Si 0,05%) mei it S1111 batchmateriaal. It biedt útsûnderlike meganyske eigenskippen: bûgingssterkte 449 MPa (metten), elastyske modulus 457 GPa (metten), en Vickers-hurdens 25–28 GPa (typysk). De lege tichtheid (3,10–3,15 g/cm³, typysk) soarget foar in hege spesifike styfheid, ideaal foar hege-snelheid wafer-oerdrachtrobots. Mei in termyske geliedingsfermogen fan 120–150 W/m·K (typysk) en in termyske útwreidingskoëffisjint fan 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (typysk), ferspriedt dizze ein-effektor waarmte effektyf en behâldt dimensjonele stabiliteit by hege temperatuerôfhanneling (oant 1600–1700 °C, gjin lading). De swart/grize kleur en nul wetterabsorpsje soargje foar kompatibiliteit mei skjinne keamers.
-
Op silisiumkarbid (SiC) basearre fakuümklauw foar hege temperatuer- en plasma-omjouwings
De SiC-basearre keramyske chuck fan St.Cera is makke fan heechsuvere silisiumkarbid (batch S1111, SiC 99,72%, frij Si 0,05%). It leveret in mjitten bûgingssterkte fan 449 MPa, in brektaaiheid fan 3,12 MPa·m¹/², en in elastyske modulus fan 457 GPa. De typyske termyske geleidingsfermogen fan it materiaal (120–150 W/m·K) en lege termyske útwreiding (4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃) meitsje rappe temperatuerferoaring en minimale waferferfoarming mooglik tidens termyske syklussen. De chuck kin konfigurearre wurde as in poreuze fakuümchuck (uniforme gasstream) of in groefde standert chuck. Mei in maksimale gebrûkstemperatuer fan 1600–1700 °C (gjin lading) en útsûnderlike plasma-eroazjebestriding, is dizze chuck ideaal foar hege-temperatuer waferferwurking (gloeien, RTP) en agressive etskeamers wêr't aluminiumoxide-chucks degradearje.
-
Semiconductor-apparatuer Keramyske reserveûnderdielen Keramyske dragers
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Metaal-backed aluminiumoxide keramyske slypring foar hege-rigiditeit lapping tapassingen
De slypring fan aluminiumoxide op basis fan metaal fan St.Cera kombinearret in keramyske slijtlaach fan hege suverens fan aluminiumoxide (99,8% Al₂O₃) mei in presyzje-bewurke metalen efterkant (meastal aluminium of roestfrij stiel). Dit hybride ûntwerp soarget foar de útsûnderlike slijtvastheid en gemyske traachheid fan keramyk op it slypoerflak, wylst de metalen basis meganyske sterkte, maklike montage en wjerstân tsjin bros brekken tafoeget. De aluminiumoxidelaach biedt in bûgsterkte fan 361 MPa, in Vickers-hurdens fan 16 GPa en termyske stabiliteit oant 800 °C. De metalen basis is oanpast mei montagegatten, lokalisaasjepinnen of magnetyske eigenskippen foar yntegraasje yn lepmasines, planetêre slypmasines en CMP-apparatuer.
-
Keramyske reserveûnderdielen foar apparatuer foar healgeleidersondestasjons
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
