-
Yuqori tozalikka ega alyuminiy keramik disklar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
alumina keramik qo'l
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Keramik izolyatsiya halqalari Keramik fokuslash halqalari
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
ST.CERA alyuminiy oksidi keramik qisqich halqasi izolyatsiya himoyasi
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Gofret bilan ishlash uchun yuqori tozalikdagi alumina keramik robot qo'li
St.Cera kompaniyasining alyumin oksidi keramik robot qo'li 99,8% yuqori tozalikdagi Al₂O₃ (alyuminiy oksidi) dan aniq ishlab chiqilgan. U ajoyib egilish kuchi (361 MPa), yuqori qattiqlik (16 GPa) va past zichlik (3,93 g/sm³) ni birlashtiradi, natijada yarimo'tkazgichli plastinkalarni uzatish uchun yengil, ammo qattiq qo'l hosil bo'ladi. Materialning issiqlik kengayish koeffitsienti (7,2 × 10⁻⁶/°C) kremniyga juda mos keladi, bu esa ishlov berish paytida issiqlik nomuvofiqligini minimallashtiradi.
-
Alumina yuqori aniqlikdagi keramik halqali keramik qismlar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
ST.CERA tomonidan tayyorlangan yarimo'tkazgichli uskunalar keramik patronlar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Silikon karbid (SiC) keramik uch effektori – yuqori haroratli gofret bilan ishlash uchun yuqori qattiqlik
St.Cera'ning SiC keramik uch effektori yuqori toza kremniy karbididan (SiC miqdori 99,72%, erkin Si 0,05%) S1111 partiyasi materialidan foydalangan holda ishlab chiqariladi. U ajoyib mexanik xususiyatlarga ega: egilish kuchi 449 MPa (o'lchangan), elastiklik moduli 457 GPa (o'lchangan) va Vickers qattiqligi 25–28 GPa (odatiy). Past zichlik (odatda 3,10–3,15 g/sm³) yuqori tezlikdagi plastinka uzatish robotlari uchun ideal bo'lgan yuqori o'ziga xos qattiqlikni ta'minlaydi. 120–150 Vt/m·K (odatiy) issiqlik o'tkazuvchanligi va 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (odatiy) issiqlik kengayish koeffitsienti bilan ushbu uch effektor yuqori haroratli ishlov berish paytida (1600–1700°C gacha, yuklamasdan) issiqlikni samarali ravishda tarqatadi va o'lchovli barqarorlikni saqlaydi. Qora/kulrang rang va nol suv singdirish toza xonaga mos kelishini ta'minlaydi.
-
Yuqori haroratli va plazma muhitlari uchun kremniy karbid (SiC) asosidagi vakuumli patron
St.Cera kompaniyasining SiC asosidagi keramik patron yuqori toza kremniy karbididan ishlab chiqariladi (partiya S1111, SiC 99.72%, erkin Si 0.05%). U 449 MPa o'lchangan egilish kuchini, 3.12 MPa·m¹/² sinish chidamliligini va 457 GPa elastiklik modulini ta'minlaydi. Materialning odatiy issiqlik o'tkazuvchanligi (120–150 Vt/m·K) va past issiqlik kengayishi (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) issiqlik aylanishi paytida haroratning tez ko'tarilishini va plastinkaning minimal egriligini ta'minlaydi. Patron g'ovakli vakuum patron (bir xil gaz oqimi) yoki yivli standart patron sifatida sozlanishi mumkin. Maksimal foydalanish harorati 1600–1700°C (yuksiz) va plazma eroziyasiga chidamliligi yuqori bo'lgan ushbu patron yuqori haroratli plastinkalarni qayta ishlash (yumshatish, RTP) va alyuminiy oksidi patronlari parchalanadigan agressiv aşındırma kameralari uchun idealdir.
-
Yarimo'tkazgich uskunalari Keramik ehtiyot qismlar Keramik tashuvchilar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Yuqori qattiqlikdagi qoplama uchun metall bilan qoplangan alyuminiy oksidli keramik silliqlash halqasi
St.Cera metall asosidagi alyumin silliqlash halqasi yuqori tozalikdagi alyumin (99,8% Al₂O₃) keramik aşınma qatlamini aniq ishlov berilgan metall asos (odatda alyuminiy yoki zanglamaydigan po'lat) bilan birlashtiradi. Ushbu gibrid dizayn silliqlash yuzasida keramikaning ajoyib aşınma qarshiligi va kimyoviy inertligini ta'minlaydi, metall asos esa mexanik mustahkamlik, oson o'rnatish va mo'rt sinishlarga qarshilik qo'shadi. Alumin qatlami 361 MPa egilish kuchini, 16 GPa Vickers qattiqligini va 800°C gacha issiqlik barqarorligini ta'minlaydi. Metall asos o'rnatish teshiklari, joylashuv pinlari yoki silliqlash mashinalari, sayyoraviy silliqlash mashinalari va CMP uskunalariga integratsiya qilish uchun magnit xususiyatlar bilan moslashtirilgan.
-
Yarimo'tkazgichli zond stantsiyasi uskunalari uchun keramik ehtiyot qismlar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
