-
แผ่นเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
แขนเซรามิกอลูมินา
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
วงแหวนฉนวนเซรามิก วงแหวนปรับโฟกัสเซรามิก
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
ฉนวนวงแหวนแคลมป์เซรามิกอลูมินา ST.CERA
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
แขนหุ่นยนต์เซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับการจัดการเวเฟอร์
แขนหุ่นยนต์เซรามิกอลูมินาของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจาก Al₂O₃ (อลูมินา) บริสุทธิ์ 99.8% มีคุณสมบัติเด่นคือ ความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) ความแข็งสูง (16 GPa) และความหนาแน่นต่ำ (3.93 g/cm³) ทำให้ได้แขนหุ่นยนต์ที่มีน้ำหนักเบาแต่แข็งแรง เหมาะสำหรับการเคลื่อนย้ายแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของวัสดุ (7.2×10⁻⁶/°C) ใกล้เคียงกับซิลิคอน ช่วยลดความคลาดเคลื่อนทางความร้อนระหว่างกระบวนการผลิต
-
ชิ้นส่วนเซรามิกวงแหวนความแม่นยำสูงอลูมินา
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
หัวจับเซรามิกสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แบบสั่งทำพิเศษจาก ST.CERA
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
หัวจับชิ้นงานเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) – ความแข็งแรงสูง เหมาะสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่อุณหภูมิสูง
หัวจับชิ้นงานเซรามิก SiC ของ St.Cera ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูง (ปริมาณ SiC 99.72%, Si อิสระ 0.05%) โดยใช้วัตถุดิบ S1111 มีคุณสมบัติทางกลที่ยอดเยี่ยม ได้แก่ ความแข็งแรงดัดงอ 449 MPa (วัดได้), โมดูลัสยืดหยุ่น 457 GPa (วัดได้) และความแข็งวิคเกอร์ 25–28 GPa (โดยทั่วไป) ความหนาแน่นต่ำ (3.10–3.15 g/cm³ โดยทั่วไป) ทำให้มีความแข็งแกร่งจำเพาะสูง เหมาะสำหรับหุ่นยนต์ถ่ายโอนเวเฟอร์ความเร็วสูง ด้วยค่าการนำความร้อน 120–150 W/m·K (โดยทั่วไป) และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (โดยทั่วไป) หัวจับชิ้นงานนี้จึงระบายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพและรักษาเสถียรภาพของขนาดในระหว่างการใช้งานที่อุณหภูมิสูง (สูงสุด 1600–1700°C โดยไม่มีโหลด) สีดำ/เทา และการไม่ดูดซับน้ำ ทำให้สามารถใช้งานในห้องปลอดเชื้อได้
-
หัวจับสุญญากาศที่ทำจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) สำหรับสภาพแวดล้อมอุณหภูมิสูงและพลาสมา
หัวจับเซรามิก SiC ของ St.Cera ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์บริสุทธิ์สูง (รุ่น S1111, SiC 99.72%, Si อิสระ 0.05%) มีค่าความแข็งแรงดัดงอที่วัดได้ 449 MPa, ความเหนียวแตกหัก 3.12 MPa·m¹/² และโมดูลัสยืดหยุ่น 457 GPa ค่าการนำความร้อนโดยทั่วไปของวัสดุ (120–150 W/m·K) และการขยายตัวทางความร้อนต่ำ (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ช่วยให้สามารถเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและลดการบิดเบี้ยวของเวเฟอร์ให้น้อยที่สุดระหว่างการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ หัวจับสามารถกำหนดค่าได้ทั้งแบบหัวจับสุญญากาศแบบมีรูพรุน (การไหลของก๊าซสม่ำเสมอ) หรือหัวจับมาตรฐานแบบมีร่อง ด้วยอุณหภูมิใช้งานสูงสุด 1600–1700°C (ขณะไม่มีโหลด) และความทนทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมาเป็นพิเศษ หัวจับชิ้นงานนี้จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์ที่อุณหภูมิสูง (การอบอ่อน, RTP) และห้องกัดเซาะที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง ซึ่งหัวจับชิ้นงานอะลูมินาอาจเสื่อมสภาพได้
-
ชิ้นส่วนอะไหล่เซรามิกสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ตัวยึดเซรามิก
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
แหวนเจียรเซรามิกอลูมินาเสริมโลหะ สำหรับงานเจียรละเอียดที่มีความแข็งแรงสูง
แหวนเจียรอะลูมินาแบบฐานโลหะของ St.Cera ผสมผสานชั้นเซรามิกอะลูมินาบริสุทธิ์สูง (99.8% Al₂O₃) เข้ากับฐานโลหะที่ผ่านการกลึงอย่างแม่นยำ (โดยทั่วไปคืออะลูมิเนียมหรือสแตนเลส) การออกแบบแบบไฮบริดนี้ให้ความต้านทานการสึกหรอและความเฉื่อยทางเคมีที่ยอดเยี่ยมของเซรามิกบนพื้นผิวการเจียร ในขณะที่ฐานโลหะเพิ่มความแข็งแรงเชิงกล การติดตั้งที่ง่าย และความต้านทานต่อการแตกหักแบบเปราะ ชั้นอะลูมินามีความแข็งแรงดัดงอ 361 MPa ความแข็งวิคเกอร์ 16 GPa และความเสถียรทางความร้อนสูงถึง 800°C ฐานโลหะสามารถปรับแต่งได้ด้วยรูยึด หมุดกำหนดตำแหน่ง หรือคุณสมบัติแม่เหล็กเพื่อการรวมเข้ากับเครื่องขัดเงา เครื่องเจียรแบบดาวเคราะห์ และอุปกรณ์ CMP
-
ชิ้นส่วนอะไหล่เซรามิกสำหรับอุปกรณ์สถานีทดสอบเซมิคอนดักเตอร์
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
