-
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidkeraamilised kettad
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
alumiiniumoksiidkeraamiline käsi
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
Keraamilised isolatsioonirõngad Keraamilised fokuseerimisrõngad
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
ST.CERA alumiiniumoksiidi keraamiline klambrirõnga isolatsioonikaitse
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline robotkäsi vahvlite käitlemiseks
St.Cera alumiiniumoksiidkeraamiline robotkäsi on täppiskonstruktsiooniga valmistatud 99,8% ulatuses kõrge puhtusastmega Al₂O₃-st (alumiiniumoksiidist). See ühendab endas erakordse paindetugevuse (361 MPa), suure kõvaduse (16 GPa) ja madala tiheduse (3,93 g/cm³), mille tulemuseks on kerge, kuid jäik käsi pooljuhtplaatide ülekandeks. Materjali soojuspaisumistegur (7,2×10⁻⁶/°C) vastab täpselt räni omale, minimeerides termilist ebakõla töötlemise ajal.
-
Alumiiniumoksiidi ülitäpse keraamilise rõnga keraamilised osad
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
ST.CERA kohandatud pooljuhtseadmete keraamilised padrunid
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
Ränikarbiidist (SiC) keraamiline efektorots – kõrge jäikus kõrgtemperatuuriliseks vahvlite käsitsemiseks
St.Cera SiC-keraamiline efektorpea on valmistatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidist (SiC sisaldus 99,72%, vaba Si 0,05%), kasutades partiimaterjali S1111. Sellel on erakordsed mehaanilised omadused: paindetugevus 449 MPa (mõõdetud), elastsusmoodul 457 GPa (mõõdetud) ja Vickersi kõvadus 25–28 GPa (tüüpiline). Madal tihedus (3,10–3,15 g/cm³, tüüpiline) tagab suure erijäikuse, mis sobib ideaalselt kiirete kiipide ülekanderobotitele. Soojusjuhtivusega 120–150 W/m·K (tüüpiline) ja soojuspaisumisteguriga 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tüüpiline) hajutab see efektorpea tõhusalt soojust ja säilitab mõõtmete stabiilsuse kõrgel temperatuuril käitlemisel (kuni 1600–1700 °C, koormuseta). Must/hall värvus ja null veeimavus tagavad sobivuse puhasruumis.
-
Ränikarbiidil (SiC) põhinev vaakumpadrun kõrge temperatuuri ja plasmakeskkondade jaoks
St.Cera SiC-põhine keraamiline padrun on valmistatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidist (partii S1111, SiC 99,72%, vaba Si 0,05%). Selle mõõdetud paindetugevus on 449 MPa, purunemiskindlus 3,12 MPa·m¹/² ja elastsusmoodul 457 GPa. Materjali tüüpiline soojusjuhtivus (120–150 W/m·K) ja madal soojuspaisumine (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) võimaldavad kiiret temperatuuri tõusu ja minimaalset kiibi deformatsiooni termilise tsükleerimise ajal. Padrunit saab konfigureerida poorse vaakumpadrunina (ühtlane gaasivool) või soonega standardpadrunina. Maksimaalse kasutustemperatuuriga 1600–1700 °C (koormuseta) ja erakordse plasmaerosioonikindlusega sobib see padrun ideaalselt kõrgtemperatuurseks kiibi töötlemiseks (lõõmutamine, RTP) ja agressiivsetesse söövituskambritesse, kus alumiiniumoksiidi padrunid lagunevad.
-
Pooljuhtide seadmed, keraamilised varuosad, keraamilised kandjad
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
Metallist aluspinnaga alumiiniumoksiid-keraamiline lihvketas suure jäikusega lappimisrakenduste jaoks
St.Cera metallpõhine alumiiniumoksiidi lihvketas ühendab endas kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi (99,8% Al₂O₃) keraamilise kulumiskihi täppistöödeldud metallaluspinnaga (tavaliselt alumiinium või roostevaba teras). See hübriiddisain tagab lihvpinnale keraamika erakordse kulumiskindluse ja keemilise inertsuse, samas kui metallalus lisab mehaanilist tugevust, hõlpsat paigaldamist ja vastupidavust haprale purunemisele. Alumiiniumoksiidi kihi paindetugevus on 361 MPa, Vickersi kõvadus 16 GPa ja termiline stabiilsus kuni 800 °C. Metallalus on kohandatud kinnitusavade, paigaldustihvtide või magnetiliste omadustega integreerimiseks soveldusmasinatesse, planetaarlihvijatesse ja CMP-seadmetesse.
-
Pooljuhtide sondijaama seadmete keraamilised varuosad
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
