-
Алуминиеви керамични дискове с висока чистота
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
алуминиево-керамично рамо
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
Керамични изолационни пръстени Керамични фокусиращи пръстени
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Алуминиево-керамична скоба за изолация
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
Роботизирано рамо от високочист алуминиев керамик за работа с пластини
Роботизираното рамо от алуминиево-керамичен оксид на St.Cera е прецизно изработено от 99,8% високочист Al₂O₃ (алуминиев оксид). То съчетава изключителна якост на огъване (361 MPa), висока твърдост (16 GPa) и ниска плътност (3,93 g/cm³), което води до леко, но твърдо рамо за трансфер на полупроводникови пластини. Коефициентът на термично разширение на материала (7,2×10⁻⁶/°C) е точно съпоставим със силиция, което минимизира термичното несъответствие по време на обработката.
-
Керамични части от алуминиев високопрецизен керамичен пръстен
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Керамични патронници за полупроводниково оборудване по поръчка
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
Керамичен краен ефектор от силициев карбид (SiC) – висока твърдост за работа с пластини при висока температура
Керамичният краен ефектор SiC на St.Cera е произведен от високочист силициев карбид (съдържание на SiC 99,72%, свободен Si 0,05%), като е използван материалът S1111. Той предлага изключителни механични свойства: якост на огъване 449 MPa (измерена), модул на еластичност 457 GPa (измерен) и твърдост по Викерс 25–28 GPa (типична). Ниската плътност (3,10–3,15 g/cm³, типична) осигурява висока специфична твърдост, идеална за високоскоростни роботи за трансфер на пластини. С топлопроводимост от 120–150 W/m·K (типична) и коефициент на термично разширение от 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типичен), този краен ефектор ефективно разсейва топлината и поддържа размерна стабилност по време на работа при високи температури (до 1600–1700°C, без товар). Черно-сивият цвят и нулевото водопоглъщане осигуряват съвместимост с чисти помещения.
-
Вакуумен патронник на базата на силициев карбид (SiC) за високотемпературни и плазмени среди
Керамичният патронник на St.Cera на базата на SiC е произведен от високочист силициев карбид (партида S1111, SiC 99,72%, свободен Si 0,05%). Той осигурява измерена якост на огъване от 449 MPa, жилавост на счупване от 3,12 MPa·m¹/² и модул на еластичност от 457 GPa. Типичната топлопроводимост на материала (120–150 W/m·K) и ниското термично разширение (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) позволяват бързо повишаване на температурата и минимално деформиране на пластината по време на термично циклиране. Патронникът може да бъде конфигуриран като порест вакуумен патронник (равномерен газов поток) или стандартен патронник с канали. С максимална работна температура от 1600–1700°C (без товар) и изключителна устойчивост на плазмена ерозия, този патронник е идеален за високотемпературна обработка на пластини (отгряване, RTP) и агресивни камери за ецване, където алуминиевите патронници се разграждат.
-
Полупроводниково оборудване Керамични резервни части Керамични носители
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
Шлайфовъчен пръстен от алуминиев керамик с метална основа за приложения с висока твърдост при притриване
Шлифовъчният пръстен от метален алуминиев оксид на St.Cera комбинира износоустойчив керамичен слой от високочист алуминиев оксид (99,8% Al₂O₃) с прецизно обработена метална основа (обикновено алуминий или неръждаема стомана). Този хибриден дизайн осигурява изключителната износоустойчивост и химическа инертност на керамиката върху шлифовъчната повърхност, докато металната основа добавя механична здравина, лесен монтаж и устойчивост на крехко счупване. Алуминиевият слой предлага якост на огъване от 361 MPa, твърдост по Викерс от 16 GPa и термична стабилност до 800°C. Металната основа е персонализирана с монтажни отвори, локализиращи щифтове или магнитни свойства за интегриране в машини за притискане, планетарни шлифовъчни машини и CMP оборудване.
-
Керамични резервни части за оборудване за полупроводникови сонди
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
