-
Alumina keramiske skiver med høj renhed
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
aluminiumoxid keramisk arm
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
Keramiske isoleringsringe Keramiske fokuseringsringe
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
ST.CERA Alumina Keramisk Klemring Isoleringsbeskyttelse
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
Keramisk robotarm af høj renhedsalumina til waferhåndtering
St.Ceras robotarm af aluminiumoxidkeramik er præcisionskonstrueret af 99,8% Al₂O₃ (alumina) med høj renhed. Den kombinerer enestående bøjningsstyrke (361 MPa), høj hårdhed (16 GPa) og lav densitet (3,93 g/cm³), hvilket resulterer i en let, men stiv arm til overførsel af halvlederwafere. Materialets termiske udvidelseskoefficient (7,2×10⁻⁶/°C) matcher silicium nøje, hvilket minimerer termisk uoverensstemmelse under bearbejdning.
-
Keramiske dele af højpræcisionskeramisk ring af aluminiumoxid
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
ST.CERA Tilpassede Keramiske Spændepatroner til Halvlederudstyr
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
Siliciumcarbid (SiC) keramisk endeeffektor – høj stivhed til håndtering af højtemperaturwafere
St.Ceras SiC keramiske endeeffektor er fremstillet af højrent siliciumcarbid (SiC-indhold 99,72 %, frit Si 0,05 %) ved hjælp af S1111-batchmaterialet. Den tilbyder exceptionelle mekaniske egenskaber: bøjningsstyrke 449 MPa (målt), elasticitetsmodul 457 GPa (målt) og Vickers-hårdhed 25-28 GPa (typisk). Den lave densitet (3,10-3,15 g/cm³, typisk) giver en høj specifik stivhed, ideel til højhastigheds-waferoverførselsrobotter. Med en varmeledningsevne på 120-150 W/m·K (typisk) og en termisk udvidelseskoefficient på 4,0-4,5 × 10⁻⁶/℃ (typisk) afleder denne endeeffektor effektivt varme og opretholder dimensionsstabilitet under håndtering ved høje temperaturer (op til 1600-1700 °C, uden belastning). Den sort/grå farve og nul vandabsorption sikrer kompatibilitet med renrum.
-
Siliciumkarbid (SiC)-baseret vakuumpatron til højtemperatur- og plasmamiljøer
St.Ceras SiC-baserede keramiske patron er fremstillet af siliciumcarbid med høj renhed (batch S1111, SiC 99,72%, frit Si 0,05%). Den leverer en målt bøjningsstyrke på 449 MPa, en brudstyrke på 3,12 MPa·m¹/² og et elasticitetsmodul på 457 GPa. Materialets typiske varmeledningsevne (120-150 W/m·K) og lave varmeudvidelse (4,0-4,5×10⁻⁶/℃) muliggør hurtig temperaturstigning og minimal wafer-vridning under termisk cykling. Patronen kan konfigureres som en porøs vakuumpatron (ensartet gasstrøm) eller en rillet standardpatron. Med en maksimal brugstemperatur på 1600-1700°C (uden belastning) og enestående plasmaerosionsbestandighed er denne patron ideel til højtemperatur-waferbehandling (glødning, RTP) og aggressive ætsekamre, hvor aluminiumoxidpatroner nedbrydes.
-
Keramiske reservedele til halvlederudstyr Keramiske bærere
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
Metalbagbelagt aluminiumoxidkeramisk slibering til lapningsapplikationer med høj stivhed
St.Ceras metalbaserede aluminiumoxid-slibering kombinerer et keramisk slidlag af høj renhed af aluminiumoxid (99,8% Al₂O₃) med en præcisionsbearbejdet metalbagside (typisk aluminium eller rustfrit stål). Dette hybriddesign giver den exceptionelle slidstyrke og kemiske inertitet af keramik på slibefladen, mens metalbasen tilføjer mekanisk styrke, nem montering og modstand mod sprødbrud. Aluminiumoxidlaget tilbyder en bøjningsstyrke på 361 MPa, en Vickers-hårdhed på 16 GPa og termisk stabilitet op til 800°C. Metalbasen er tilpasset med monteringshuller, positioneringsstifter eller magnetiske egenskaber til integration i lappemaskiner, planetslibere og CMP-udstyr.
-
Keramiske reservedele til halvlederprobestationsudstyr
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
