-
Keramični diski iz aluminijevega oksida z visoko čistostjo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
aluminijeva keramična roka
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Keramični izolacijski obroči Keramični fokusni obroči
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Zaščita izolacije iz keramičnega vpenjalnega obroča iz aluminijevega oksida ST.CERA
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Robotska roka iz visoko čistega aluminijevega oksida iz keramike za ravnanje z rezinami
Robotska roka iz aluminijevega keramičnega oksida podjetja St.Cera je natančno izdelana iz 99,8 % visoko čistega Al₂O₃ (aluminijevega oksida). Združuje izjemno upogibno trdnost (361 MPa), visoko trdoto (16 GPa) in nizko gostoto (3,93 g/cm³), kar ima za posledico lahko, a togo roko za prenos polprevodniških rezin. Koeficient toplotnega raztezanja materiala (7,2 × 10⁻⁶/°C) se tesno ujema s silicijem, kar zmanjšuje toplotno neskladje med obdelavo.
-
Keramični deli iz visoko natančnega keramičnega obroča iz aluminijevega oksida
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagojene keramične vpenjalne glave za polprevodniško opremo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Keramični končni efektor iz silicijevega karbida (SiC) – visoka togost za ravnanje z rezinami pri visokih temperaturah
Keramični končni efektor St.Cera SiC je izdelan iz visoko čistega silicijevega karbida (vsebnost SiC 99,72 %, prosti Si 0,05 %) z uporabo materiala S1111. Ponuja izjemne mehanske lastnosti: upogibna trdnost 449 MPa (izmerjeno), elastični modul 457 GPa (izmerjeno) in trdota po Vickersu 25–28 GPa (tipično). Nizka gostota (3,10–3,15 g/cm³, tipično) zagotavlja visoko specifično togost, idealno za robote za visokohitrostni prenos rezin. S toplotno prevodnostjo 120–150 W/m·K (tipično) in koeficientom toplotnega raztezanja 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipično) ta končni efektor učinkovito odvaja toploto in ohranja dimenzijsko stabilnost med ravnanjem pri visokih temperaturah (do 1600–1700 °C, brez obremenitve). Črno-siva barva in ničelna absorpcija vode zagotavljata združljivost s čistimi prostori.
-
Vakuumska vpenjalna glava na osnovi silicijevega karbida (SiC) za visokotemperaturna in plazemska okolja
Keramična vpenjalna glava St.Cera na osnovi SiC je izdelana iz visoko čistega silicijevega karbida (serija S1111, SiC 99,72 %, prosti Si 0,05 %). Zagotavlja izmerjeno upogibno trdnost 449 MPa, lomno žilavost 3,12 MPa·m¹/² in elastični modul 457 GPa. Tipična toplotna prevodnost materiala (120–150 W/m·K) in nizek toplotni raztezek (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) omogočata hitro naraščanje temperature in minimalno upogibanje rezin med toplotnim cikliranjem. Vpenjalna glava je lahko konfigurirana kot porozna vakuumska vpenjalna glava (enakomeren pretok plina) ali kot utorjena standardna vpenjalna glava. Z najvišjo uporabno temperaturo 1600–1700 °C (brez obremenitve) in izjemno odpornostjo proti eroziji s plazmo je ta vpenjalna glava idealna za visokotemperaturno obdelavo rezin (žarjenje, RTP) in agresivne jedkalne komore, kjer se vpenjalna glava iz aluminijevega oksida razgradi.
-
Polprevodniška oprema Keramični rezervni deli Keramični nosilci
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Brusilni obroč iz aluminijevega oksida s kovinsko podlago za visoko toge aplikacije lepanja
St.Cera-ov kovinski brusni obroč iz aluminijevega oksida združuje keramično obrabno plast iz visoko čistega aluminijevega oksida (99,8 % Al₂O₃) z natančno obdelano kovinsko podlago (običajno iz aluminija ali nerjavečega jekla). Ta hibridna zasnova zagotavlja izjemno odpornost proti obrabi in kemično inertnost keramike na brusni površini, kovinska osnova pa doda mehansko trdnost, enostavno montažo in odpornost proti krhkemu lomu. Plast aluminijevega oksida ponuja upogibno trdnost 361 MPa, trdoto po Vickersu 16 GPa in toplotno stabilnost do 800 °C. Kovinska osnova je prilagojena z montažnimi luknjami, locirnimi zatiči ali magnetnimi lastnostmi za integracijo v brusilne stroje, planetarne brusilnike in CMP opremo.
-
Keramični rezervni deli za opremo polprevodniških sond
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
