-
Keramické disky z oxidu hlinitého s vysokou čistotou
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
rameno z oxidu hlinitého a keramiky
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramické izolačné krúžky Keramické zaostrovacie krúžky
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Izolačný ochranný krúžok z keramického oxidu hlinitého ST.CERA
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Robotické rameno z vysoko čistého oxidu hlinitého s keramikou na manipuláciu s doštičkami
Robotické rameno z oxidu hlinitého a keramiky od spoločnosti St.Cera je presne vyrobené z 99,8 % vysoko čistého Al₂O₃ (oxid hlinitý). Kombinuje výnimočnú pevnosť v ohybe (361 MPa), vysokú tvrdosť (16 GPa) a nízku hustotu (3,93 g/cm³), čo vedie k ľahkému, no zároveň pevnému ramenu na prenos polovodičových doštičiek. Koeficient tepelnej rozťažnosti materiálu (7,2 × 10⁻⁶/°C) sa veľmi dobre zhoduje s kremíkom, čím sa minimalizuje tepelný nesúlad počas spracovania.
-
Vysoko presné keramické krúžky z oxidu hlinitého
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramické skľučovadlá pre polovodičové zariadenia ST.CERA na mieru
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramický koncový efektor z karbidu kremíka (SiC) – vysoká tuhosť pre manipuláciu s doštičkami pri vysokých teplotách
Keramický koncový efektor SiC od spoločnosti St.Cera je vyrobený z vysoko čistého karbidu kremíka (obsah SiC 99,72 %, voľný Si 0,05 %) s použitím materiálu S1111. Ponúka výnimočné mechanické vlastnosti: pevnosť v ohybe 449 MPa (nameraná), modul pružnosti 457 GPa (nameraný) a tvrdosť podľa Vickersa 25 – 28 GPa (typická). Nízka hustota (3,10 – 3,15 g/cm³, typická) poskytuje vysokú špecifickú tuhosť, ideálnu pre vysokorýchlostné roboty na prenos doštičiek. S tepelnou vodivosťou 120 – 150 W/m·K (typická) a koeficientom tepelnej rozťažnosti 4,0 – 4,5 × 10⁻⁶/℃ (typická) tento koncový efektor účinne odvádza teplo a udržiava rozmerovú stabilitu počas manipulácie pri vysokých teplotách (až do 1600 – 1700 °C, bez zaťaženia). Čiernosivá farba a nulová nasiakavosť zabezpečujú kompatibilitu s čistými priestormi.
-
Vákuové upínače na báze karbidu kremíka (SiC) pre vysokoteplotné a plazmové prostredia
Keramické upínače St.Cera na báze SiC sú vyrobené z vysoko čistého karbidu kremíka (šarža S1111, SiC 99,72 %, voľný Si 0,05 %). Dosahujú nameranú pevnosť v ohybe 449 MPa, lomovú húževnatosť 3,12 MPa·m¹/² a modul pružnosti 457 GPa. Typická tepelná vodivosť materiálu (120 – 150 W/m·K) a nízka tepelná rozťažnosť (4,0 – 4,5 × 10⁻⁶/℃) umožňujú rýchle zvýšenie teploty a minimálne deformovanie doštičiek počas tepelného cyklovania. Upínač je možné konfigurovať ako porézne vákuové upínače (rovnomerný tok plynu) alebo drážkované štandardné upínače. S maximálnou prevádzkovou teplotou 1600 – 1700 °C (bez zaťaženia) a výnimočnou odolnosťou voči plazmovej erózii je tento upínač ideálny na spracovanie doštičiek pri vysokých teplotách (žíhanie, RTP) a agresívne leptacie komory, kde dochádza k degradácii upínačov z oxidu hlinitého.
-
Keramické náhradné diely pre polovodičové zariadenia, keramické nosiče
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramický brúsny krúžok z oxidu hlinitého s kovovou podložkou pre lapovacie aplikácie s vysokou pevnosťou
Brúsny krúžok z kovu na báze oxidu hlinitého od spoločnosti St.Cera kombinuje keramickú vrstvu proti opotrebovaniu z vysoko čistého oxidu hlinitého (99,8 % Al₂O₃) s precízne opracovaným kovovým podkladom (zvyčajne hliník alebo nehrdzavejúca oceľ). Tento hybridný dizajn poskytuje výnimočnú odolnosť proti opotrebovaniu a chemickú inertnosť keramiky na brúsnom povrchu, zatiaľ čo kovová základňa dodáva mechanickú pevnosť, jednoduchú montáž a odolnosť voči krehkému lomu. Vrstva oxidu hlinitého ponúka pevnosť v ohybe 361 MPa, tvrdosť podľa Vickersa 16 GPa a tepelnú stabilitu až do 800 °C. Kovová základňa je prispôsobená montážnym otvorom, polohovacím kolíkom alebo magnetickým vlastnostiam pre integráciu do lapovacích strojov, planétových brúsok a zariadení CMP.
-
Keramické náhradné diely pre zariadenia polovodičových sond
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
