-
Cakram Keramik Alumina dengan Kemurnian Tinggi
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
lengan keramik alumina
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Cincin Isolasi Keramik Cincin Pemfokus Keramik
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
ST.CERA Cincin Penjepit Keramik Alumina untuk Perlindungan Isolasi
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Lengan Robot Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Penanganan Wafer
Lengan robot keramik alumina St.Cera dirancang dengan presisi dari Al₂O₃ (alumina) dengan kemurnian tinggi 99,8%. Lengan ini menggabungkan kekuatan lentur yang luar biasa (361 MPa), kekerasan tinggi (16 GPa), dan kepadatan rendah (3,93 g/cm³), menghasilkan lengan yang ringan namun kaku untuk transfer wafer semikonduktor. Koefisien ekspansi termal material (7,2×10⁻⁶/°C) sangat mirip dengan silikon, meminimalkan ketidaksesuaian termal selama pemrosesan.
-
Cincin Keramik Presisi Tinggi Alumina, Komponen Keramik
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
ST.CERA Peralatan Semikonduktor Kustomisasi, Chuck Keramik
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Ujung Efektor Keramik Silikon Karbida (SiC) – Kekakuan Tinggi untuk Penanganan Wafer Suhu Tinggi
Ujung efektor keramik SiC St.Cera diproduksi dari silikon karbida kemurnian tinggi (kandungan SiC 99,72%, Si bebas 0,05%) menggunakan material batch S1111. Produk ini menawarkan sifat mekanik yang luar biasa: kekuatan lentur 449 MPa (terukur), modulus elastisitas 457 GPa (terukur), dan kekerasan Vickers 25–28 GPa (tipikal). Kepadatan rendah (3,10–3,15 g/cm³, tipikal) memberikan kekakuan spesifik yang tinggi, ideal untuk robot transfer wafer berkecepatan tinggi. Dengan konduktivitas termal 120–150 W/m·K (tipikal) dan koefisien ekspansi termal 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipikal), ujung efektor ini secara efektif menghilangkan panas dan mempertahankan stabilitas dimensi selama penanganan suhu tinggi (hingga 1600–1700°C, tanpa beban). Warna hitam/abu-abu dan daya serap air nol memastikan kompatibilitas dengan ruang bersih.
-
Penjepit Vakum Berbasis Silikon Karbida (SiC) untuk Lingkungan Suhu Tinggi & Plasma
Chuck keramik berbasis SiC dari St.Cera diproduksi dari silikon karbida kemurnian tinggi (batch S1111, SiC 99,72%, Si bebas 0,05%). Chuck ini memberikan kekuatan lentur terukur sebesar 449 MPa, ketahanan retak sebesar 3,12 MPa·m¹/², dan modulus elastisitas sebesar 457 GPa. Konduktivitas termal khas material (120–150 W/m·K) dan ekspansi termal rendah (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) memungkinkan peningkatan suhu yang cepat dan minimalisasi distorsi wafer selama siklus termal. Chuck dapat dikonfigurasi sebagai chuck vakum berpori (aliran gas seragam) atau chuck standar beralur. Dengan suhu penggunaan maksimum 1600–1700°C (tanpa beban) dan ketahanan erosi plasma yang luar biasa, chuck ini ideal untuk pemrosesan wafer suhu tinggi (annealing, RTP) dan ruang etsa agresif di mana chuck alumina mengalami degradasi.
-
Peralatan Semikonduktor Suku Cadang Keramik Pembawa Keramik
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Cincin Gerinda Keramik Alumina dengan Penyangga Logam untuk Aplikasi Pengasahan dengan Kekakuan Tinggi
Cincin gerinda alumina berbahan dasar logam St.Cera menggabungkan lapisan aus keramik alumina dengan kemurnian tinggi (99,8% Al₂O₃) dengan lapisan pendukung logam yang dikerjakan dengan presisi (biasanya aluminium atau baja tahan karat). Desain hibrida ini memberikan ketahanan aus dan inertness kimia yang luar biasa dari keramik pada permukaan gerinda, sementara dasar logam menambahkan kekuatan mekanik, pemasangan yang mudah, dan ketahanan terhadap patahan getas. Lapisan alumina menawarkan kekuatan lentur 361 MPa, kekerasan Vickers 16 GPa, dan stabilitas termal hingga 800°C. Dasar logam dapat disesuaikan dengan lubang pemasangan, pin penentu posisi, atau sifat magnetik untuk integrasi ke dalam mesin pengasah, mesin gerinda planet, dan peralatan CMP.
-
Komponen Keramik untuk Peralatan Stasiun Probe Semikonduktor
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
