-
Κεραμικοί δίσκοι αλουμίνας υψηλής καθαρότητας
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
κεραμικός βραχίονας αλουμίνας
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικοί Δακτύλιοι Μόνωσης Κεραμικοί Δακτύλιοι Εστίασης
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Προστασία μόνωσης δακτυλίου σφιγκτήρα κεραμικής αλουμίνας ST.CERA
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Ρομποτικός βραχίονας κεραμικού αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για χειρισμό πλακιδίων
Ο βραχίονας ρομπότ από κεραμικό αλουμίνας της St.Cera είναι κατασκευασμένος με ακρίβεια από 99,8% Al₂O₃ (αλουμίνα) υψηλής καθαρότητας. Συνδυάζει εξαιρετική αντοχή σε κάμψη (361 MPa), υψηλή σκληρότητα (16 GPa) και χαμηλή πυκνότητα (3,93 g/cm³), με αποτέλεσμα έναν ελαφρύ αλλά άκαμπτο βραχίονα για μεταφορά πλακιδίων ημιαγωγών. Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του υλικού (7,2×10⁻⁶/°C) ταιριάζει απόλυτα με το πυρίτιο, ελαχιστοποιώντας τη θερμική αναντιστοιχία κατά την επεξεργασία.
-
Κεραμικά μέρη δακτυλίου υψηλής ακρίβειας αλουμίνας
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικά τσοκ προσαρμοσμένου ημιαγωγού ST.CERA
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικός τελικός τελεστής από καρβίδιο του πυριτίου (SiC) – Υψηλή ακαμψία για χειρισμό πλακιδίων υψηλής θερμοκρασίας
Ο κεραμικός τελεστής SiC της St.Cera κατασκευάζεται από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας (περιεκτικότητα σε SiC 99,72%, ελεύθερο Si 0,05%) χρησιμοποιώντας το υλικό παρτίδας S1111. Προσφέρει εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες: αντοχή σε κάμψη 449 MPa (μετρούμενη), μέτρο ελαστικότητας 457 GPa (μετρούμενη) και σκληρότητα Vickers 25–28 GPa (τυπική). Η χαμηλή πυκνότητα (3,10–3,15 g/cm³, τυπική) παρέχει υψηλή ειδική ακαμψία, ιδανική για ρομπότ μεταφοράς πλακιδίων υψηλής ταχύτητας. Με θερμική αγωγιμότητα 120–150 W/m·K (τυπική) και συντελεστή θερμικής διαστολής 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (τυπικός), αυτός ο τελεστής διαχέει αποτελεσματικά τη θερμότητα και διατηρεί διαστατική σταθερότητα κατά τον χειρισμό σε υψηλές θερμοκρασίες (έως 1600–1700°C, χωρίς φορτίο). Το μαύρο/γκρι χρώμα και η μηδενική απορρόφηση νερού εξασφαλίζουν συμβατότητα με καθαρό χώρο.
-
Τσοκ κενού με βάση το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) για περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και πλάσματος
Το κεραμικό τσοκ της St.Cera με βάση το SiC κατασκευάζεται από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας (παρτίδα S1111, SiC 99,72%, ελεύθερο Si 0,05%). Προσφέρει μετρούμενη αντοχή σε κάμψη 449 MPa, αντοχή σε θραύση 3,12 MPa·m¹/² και μέτρο ελαστικότητας 457 GPa. Η τυπική θερμική αγωγιμότητα του υλικού (120–150 W/m·K) και η χαμηλή θερμική διαστολή (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) επιτρέπουν την ταχεία αύξηση της θερμοκρασίας και την ελάχιστη στρέβλωση των πλακιδίων κατά τη διάρκεια του θερμικού κύκλου. Το τσοκ μπορεί να διαμορφωθεί ως πορώδες τσοκ κενού (ομοιόμορφη ροή αερίου) ή ως αυλακωτό τυπικό τσοκ. Με μέγιστη θερμοκρασία χρήσης 1600–1700°C (χωρίς φορτίο) και εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση πλάσματος, αυτό το τσοκ είναι ιδανικό για επεξεργασία πλακιδίων σε υψηλή θερμοκρασία (ανόπτηση, RTP) και επιθετικούς θαλάμους χάραξης όπου τα τσοκ αλουμίνας υποβαθμίζονται.
-
Εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμικά ανταλλακτικά Κεραμικοί φορείς
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικός δακτύλιος λείανσης αλουμίνας με μεταλλική υποστήριξη για εφαρμογές λείανσης υψηλής ακαμψίας
Ο δακτύλιος λείανσης αλουμίνας με βάση το μέταλλο της St.Cera συνδυάζει ένα κεραμικό στρώμα φθοράς από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (99,8% Al₂O₃) με ένα μεταλλικό υπόστρωμα ακριβείας (συνήθως αλουμίνιο ή ανοξείδωτο χάλυβα). Αυτός ο υβριδικός σχεδιασμός παρέχει την εξαιρετική αντοχή στη φθορά και τη χημική αδράνεια του κεραμικού στην επιφάνεια λείανσης, ενώ η μεταλλική βάση προσθέτει μηχανική αντοχή, εύκολη τοποθέτηση και αντοχή σε εύθραυστη θραύση. Το στρώμα αλουμίνας προσφέρει αντοχή σε κάμψη 361 MPa, σκληρότητα Vickers 16 GPa και θερμική σταθερότητα έως 800°C. Η μεταλλική βάση είναι προσαρμοσμένη με οπές στερέωσης, πείρους τοποθέτησης ή μαγνητικές ιδιότητες για ενσωμάτωση σε μηχανές λείανσης, πλανητικούς λειαντήρες και εξοπλισμό CMP.
-
Κεραμικά ανταλλακτικά για εξοπλισμό σταθμού ημιαγωγών ανιχνευτών
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
