-
Awọn disiki seramiki Alumina pẹlu mimọ giga
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
apa seramiki alumini
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
Oruka Idabobo Seramiki Awọn Oruka Idojukọ Seramiki
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
Ààbò Ìdènà Orúka Ìdènà Alumina Alumina ti ST.CERA
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
Alumina Seramiki Robot Arm fun Wafer Mu
Apá robot alumina seramiki ti St.Cera ni a ṣe láti inú Al₂O₃ (alumina) tó jẹ́ 99.8%. Ó so agbára flexural tó yàtọ̀ (361 MPa), líle gíga (16 GPa), àti ìwọ̀n kékeré (3.93 g/cm³), èyí tó mú kí apá tó fúyẹ́ díẹ̀ tí ó sì le koko fún ìyípadà wafer semiconductor. Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti ohun èlò náà (7.2×10⁻⁶/°C) bá silicon mu, èyí tó dín àìbáramu ooru kù nígbà tí a bá ń ṣe é.
-
Awọn ẹya seramiki Alumina Giga-Precision Oruka seramiki
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
ST.CERA Ohun elo Semiconductor ti a ṣe adani ti awọn ohun elo seramiki
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
Ohun èlò ìparí seramiki Silicon Carbide (SiC) – Gíga gíga fún mímú Wafer ní ìwọ̀n otútù gíga
A ṣe apẹja ìpari seramiki ti St.Cera lati inu ohun elo silikoni carbide ti o ni mimọ pupọ (SiC akoonu 99.72%, Si 0.05%) ni lilo ohun elo S1111. O ni awọn agbara ẹrọ ti o tayọ: agbara flexural 449 MPa (ti a wọn), modulus rirọ 457 GPa (ti a wọn), ati lile Vickers 25–28 GPa (ti a ṣe deede). Iwọn iwuwo kekere (3.10–3.15 g/cm³, ti a ṣe deede) pese lile pataki kan, ti o dara julọ fun awọn robot gbigbe wafer iyara giga. Pẹlu agbara ooru ti 120–150 W/m·K (ti a ṣe deede) ati iye imugboroosi ooru ti 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ti a ṣe deede), apẹja opin yii n tu ooru kuro daradara o si n ṣetọju iduroṣinṣin iwọn lakoko mimu otutu giga (titi de 1600–1700°C, laisi ẹru). Awọ dudu/grẹy ati gbigba omi odo rii daju pe yara mimọ ni ibamu.
-
Ohun èlò ìfọṣọ onírin tí a fi silicon Carbide (SiC) ṣe fún àwọn àyíká tí ó ní ìwọ̀n otútù gíga àti plasma
A ṣe àgbékalẹ̀ seramiki ti a fi SiC ṣe láti inú ohun èlò irin alagbara ti silikoni (batch S1111, SiC 99.72%, free Si 0.05%). Ó ń fúnni ní agbára ìfọ́ tí a wọ̀n ti 449 MPa, líle ìfọ́ ti 3.12 MPa·m¹/², àti modulus rirọ ti 457 GPa. Ìlànà ooru tí ó wọ́pọ̀ tí ohun èlò náà ní (120–150 W/m·K) àti ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ń jẹ́ kí ìlọsókè otutu yára kíákíá àti wíwọ́ wafer díẹ̀ nígbà yíyípo ooru. A lè ṣe àgbékalẹ̀ chuck náà gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìfọ́ oníhò (ìṣàn gaasi kan) tàbí ohun èlò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ tí a fi gún régé. Pẹ̀lú ìwọ̀n otútù lílò tí ó pọ̀ jùlọ ti 1600–1700°C (kò sí ẹrù) àti agbára ìfọ́ plasma tí ó tayọ, ohun èlò yìí dára fún ṣíṣe wafer oníwọ̀n otútù gíga (annealing, RTP) àti àwọn yàrá etch oníjàgídíjàgan níbi tí àwọn ohun èlò alumina ti ń bàjẹ́.
-
Ohun elo Semiconductor Awọn ẹya ara Seramiki Awọn ọkọ Seramiki
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
Oruka lilọ seramiki ti a fi irin ṣe fun irin fun awọn ohun elo fifa lile giga
Òrùka ìlọ alumina onírin St.Cera so ìpele ìfọwọ́sowọ́pọ̀ alumina oníwà mímọ́ gíga (99.8% Al₂O₃) pẹ̀lú àtìlẹ́yìn irin tí a fi irin ṣe (ní pàtàkì aluminiomu tàbí irin alagbara). Apẹẹrẹ àdàpọ̀ yìí ń pese ìdènà ìfọwọ́sowọ́pọ̀ àti àìlera kẹ́míkà ti seramiki lórí ilẹ̀ ìlọ, nígbàtí ìpìlẹ̀ irin náà ń fi agbára ẹ̀rọ kún un, ìsopọ̀ tí ó rọrùn, àti ìdènà sí ìfọ́ tí ó bàjẹ́. Ìpele alumina náà ń fúnni ní agbára ìfọ́ ti 361 MPa, líle Vickers ti 16 GPa, àti ìdúróṣinṣin ooru títí dé 800°C. A ṣe àtúnṣe ìpìlẹ̀ irin náà pẹ̀lú àwọn ihò ìsopọ̀, àwọn pinni ibi tí a ti lè rí, tàbí àwọn ohun-ìní oofa fún ìsopọ̀ mọ́ àwọn ẹ̀rọ ìfọ́, àwọn ohun èlò ìlọ pílánẹ́ẹ̀tì, àti àwọn ohun èlò CMP.
-
Àwọn Ohun Èlò Ìtọ́jú Abẹ́rẹ́ Símíkì fún Ẹ̀rọ Ìtọ́jú Abẹ́rẹ́ Símímíkì
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
