-
Alumina Keramiek skywe met hoë suiwerheid
Gevorm deur koue isostatiese persing en gesinter onder hoë temperatuur, dan presisie-bewerk en gepoleer, kan die keramiek-onderdele aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasiebestandheid, korrosieweerstand, lae termiese uitsetting en isolasie. Keramiek kan vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk onder toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
alumina keramiek arm
Gevorm deur koue isostatiese persing en gesinter onder hoë temperatuur, dan presisie-bewerk en gepoleer, kan die keramiek-onderdele aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasiebestandheid, korrosieweerstand, lae termiese uitsetting en isolasie. Keramiek kan vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk onder toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
Keramiese Isolasieringe Keramiese Fokusringe
Gevorm deur koue isostatiese persing en gesinter onder hoë temperatuur, dan presisie-bewerk en gepoleer, kan die keramiek-onderdele aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasiebestandheid, korrosieweerstand, lae termiese uitsetting en isolasie. Keramiek kan vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk onder toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
ST.CERA Alumina Keramiek Klemring Isolasie Beskerming
Gevorm deur koue isostatiese persing en gesinter onder hoë temperatuur, dan presisie-bewerk en gepoleer, kan die keramiek-onderdele aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasiebestandheid, korrosieweerstand, lae termiese uitsetting en isolasie. Keramiek kan vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk onder toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
Hoë-suiwerheid Alumina Keramiek Robotarm vir Waferhantering
St.Cera se alumina-keramiek-robotarm is presisie-ontwerp van 99.8% hoë-suiwerheid Al₂O₃ (alumina). Dit kombineer uitsonderlike buigsterkte (361 MPa), hoë hardheid (16 GPa) en lae digtheid (3.93 g/cm³), wat lei tot 'n liggewig maar stewige arm vir halfgeleier-waferoordrag. Die materiaal se termiese uitbreidingskoëffisiënt (7.2×10⁻⁶/°C) pas nougeset by silikon, wat termiese wanverhouding tydens verwerking tot die minimum beperk.
-
Alumina hoë-presisie keramiek ring keramiek onderdele
Gevorm deur koue isostatiese persing en gesinter onder hoë temperatuur, dan presisie-bewerk en gepoleer, kan die keramiek-onderdele aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasiebestandheid, korrosieweerstand, lae termiese uitsetting en isolasie. Keramiek kan vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk onder toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
ST.CERA Aangepaste Halfgeleiertoerusting Keramiek Chucks
Gevorm deur koue isostatiese persing en gesinter onder hoë temperatuur, dan presisie-bewerk en gepoleer, kan die keramiek-onderdele aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasiebestandheid, korrosieweerstand, lae termiese uitsetting en isolasie. Keramiek kan vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk onder toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
Silikonkarbied (SiC) Keramiek Eindeffektor – Hoë Styfheid vir Hoëtemperatuur-Waferhantering
St.Cera se SiC-keramiek-eindeffektor word vervaardig van hoë-suiwerheid silikonkarbied (SiC-inhoud 99.72%, vry Si 0.05%) met behulp van die S1111-mengselmateriaal. Dit bied uitsonderlike meganiese eienskappe: buigsterkte 449 MPa (gemeet), elastiese modulus 457 GPa (gemeet), en Vickers-hardheid 25–28 GPa (tipies). Die lae digtheid (3.10–3.15 g/cm³, tipies) bied 'n hoë spesifieke styfheid, ideaal vir hoëspoed-wafer-oordragrobotte. Met termiese geleidingsvermoë van 120–150 W/m·K (tipies) en termiese uitbreidingskoëffisiënt van 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipies), versprei hierdie eindeffektor hitte effektief en handhaaf dimensionele stabiliteit tydens hoëtemperatuurhantering (tot 1600–1700°C, geen las nie). Die swart/grys kleur en geen waterabsorpsie verseker skoonkamer-versoenbaarheid.
-
Silikonkarbied (SiC)-gebaseerde vakuumklauwplaat vir hoëtemperatuur- en plasma-omgewings
St.Cera se SiC-gebaseerde keramiek-klauwplaat word vervaardig van hoë-suiwerheid silikonkarbied (bondel S1111, SiC 99.72%, vry Si 0.05%). Dit lewer 'n gemete buigsterkte van 449 MPa, 'n breuktaaiheid van 3.12 MPa·m¹/², en 'n elastiese modulus van 457 GPa. Die materiaal se tipiese termiese geleidingsvermoë (120–150 W/m·K) en lae termiese uitsetting (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) maak vinnige temperatuurstyging en minimale wafer-vervorming tydens termiese siklusse moontlik. Die klauwplaat kan gekonfigureer word as 'n poreuse vakuumklauwplaat (uniforme gasvloei) of 'n gegroefde standaardklauwplaat. Met 'n maksimum gebruikstemperatuur van 1600–1700°C (geen las) en uitsonderlike plasma-erosiebestandheid, is hierdie klauwplaat ideaal vir hoë-temperatuur waferverwerking (uitgloeiing, RTP) en aggressiewe etskamers waar alumina-klauwplate degradeer.
-
Halfgeleiertoerusting Keramiek Onderdele Keramiek Draers
Gevorm deur koue isostatiese persing en gesinter onder hoë temperatuur, dan presisie-bewerk en gepoleer, kan die keramiek-onderdele aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasiebestandheid, korrosieweerstand, lae termiese uitsetting en isolasie. Keramiek kan vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk onder toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
Metaalgesteunde Alumina Keramiek Slypring vir Hoë-Styfheid Lapping Toepassings
St.Cera se metaalgebaseerde alumina-slypring kombineer 'n hoë-suiwerheid alumina (99.8% Al₂O₃) keramiek-slytlaag met 'n presisie-bewerkte metaalrug (tipies aluminium of vlekvrye staal). Hierdie hibriede ontwerp bied die uitsonderlike slytasieweerstand en chemiese traagheid van keramiek op die slypoppervlak, terwyl die metaalbasis meganiese sterkte, maklike montering en weerstand teen brosbreuk byvoeg. Die alumina-laag bied buigsterkte van 361 MPa, Vickers-hardheid van 16 GPa en termiese stabiliteit tot 800°C. Die metaalbasis word aangepas met monteringsgate, lokaliseringspenne of magnetiese eienskappe vir integrasie in lepmasjiene, planetêre slypmasjiene en CMP-toerusting.
-
Keramiek Onderdele vir Halfgeleier Probestasie Toerusting
Gevorm deur koue isostatiese persing en gesinter onder hoë temperatuur, dan presisie-bewerk en gepoleer, kan die keramiek-onderdele aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasiebestandheid, korrosieweerstand, lae termiese uitsetting en isolasie. Keramiek kan vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk onder toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
