-
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик диск
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
хөнгөн цагаан керамик гар
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Керамик тусгаарлагч цагираг Керамик фокуслах цагираг
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
ST.CERA хөнгөн цагааны керамик хавчаарын цагираг тусгаарлагчийн хамгаалалт
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Вафер боловсруулахад зориулсан өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик робот гар
St.Cera-ийн хөнгөн цагааны исэл керамик роботын гар нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃ (хөнгөн цагааны исэл)-ээс нарийн инженерчлэлээр хийгдсэн. Энэ нь онцгой гулзайлтын бат бэх (361 МПа), өндөр хатуулаг (16 ГПа), бага нягтрал (3.93 г/см³)-ийг хослуулсан тул хагас дамжуулагч вафли дамжуулахад зориулсан хөнгөн хэрнээ хатуу гартай. Материалын дулааны тэлэлтийн коэффициент (7.2×10⁻⁶/°C) нь цахиуртай нягт таарч, боловсруулалтын явцад дулааны зөрүүг багасгадаг.
-
Өндөр нарийвчлалтай хөнгөн цагааны керамик цагирагтай керамик эд ангиуд
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
ST.CERA Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн захиалгат керамик хавхлагууд
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Цахиурын карбид (SiC) керамик төгсгөлийн эффектор – Өндөр температурт вафлитай харьцах өндөр хатуулагтай
St.Cera-ийн SiC керамик төгсгөлийн эффекторыг S1111 цуврал материалыг ашиглан өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидоос (SiC агууламж 99.72%, чөлөөт Si 0.05%) үйлдвэрлэдэг. Энэ нь онцгой механик шинж чанартай: гулзайлтын бат бэх 449 МПа (хэмжсэн), уян хатан модуль 457 ГПа (хэмжсэн), Викерсийн хатуулаг 25–28 ГПа (ердийн). Бага нягтралтай (3.10–3.15 г/см³, ердийн) нь өндөр хурдтай вафли дамжуулах роботуудад тохиромжтой өндөр өвөрмөц хатуулгийг өгдөг. 120–150 Вт/м·К (ердийн) дулаан дамжуулалт, 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ердийн) дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй энэхүү төгсгөлийн эффектор нь өндөр температурт ажиллах үед (1600–1700°C хүртэл, ачаалалгүй) дулааныг үр дүнтэй тарааж, хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалдаг. Хар/саарал өнгө, тэг ус шингээлт нь цэвэр өрөөнд нийцтэй байдлыг хангадаг.
-
Өндөр температур болон плазмын орчинд зориулсан цахиурын карбид (SiC) суурьтай вакуум патрон
St.Cera-ийн SiC суурьтай керамик патроныг өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидоос (S1111 цуврал, SiC 99.72%, чөлөөт Si 0.05%) үйлдвэрлэдэг. Энэ нь 449 МПа хэмжсэн гулзайлтын бат бэх, 3.12 МПа·м¹/² хугарлын бат бэх, 457 ГПа уян хатан модуль өгдөг. Материалын ердийн дулаан дамжуулалт (120–150 Вт/м·К) болон бага дулааны тэлэлт (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) нь дулааны мөчлөгийн үед температурын хурдан өсөлт, ваарны гажуудлыг хамгийн бага байлгах боломжийг олгодог. Патроныг сүвэрхэг вакуум патроны (жигд хийн урсгал) эсвэл ховилтой стандарт патроны хэлбэрээр тохируулж болно. Хамгийн их ашиглалтын температур 1600–1700°C (ачаалалгүй), онцгой плазмын элэгдэлд тэсвэртэй тул энэхүү патроныг өндөр температурт ваарны боловсруулалт (шарах, RTP) болон хөнгөн цагаан патроны задралд ордог түрэмгий сийлбэрийн камерт ашиглахад тохиромжтой.
-
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж Керамик сэлбэг хэрэгсэл Керамик тээвэрлэгчид
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Өндөр хатуулагтай өнгөлгөөний зориулалттай металл суурьтай хөнгөн цагаан керамик нунтаглалтын цагираг
St.Cera-ийн металл суурьтай хөнгөн цагаан нунтаглах цагираг нь өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (99.8% Al₂O₃) керамик элэгдлийн давхаргыг нарийн боловсруулсан металл суурьтай (ихэвчлэн хөнгөн цагаан эсвэл зэвэрдэггүй ган) хослуулсан. Энэхүү эрлийз загвар нь нунтаглах гадаргуу дээр керамикийн онцгой элэгдэлд тэсвэртэй байдал болон химийн идэвхгүй байдлыг хангадаг бол металл суурь нь механик бат бөх чанар, хялбар суурилуулалт, хэврэг хугаралд тэсвэртэй байдлыг нэмэгдүүлдэг. Хөнгөн цагааны исэл давхарга нь 361 МПа гулзайлтын бат бэх, 16 ГПа Викерсийн хатуулаг, 800°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. Металл суурийг бэхэлгээний нүх, байршлын зүү эсвэл соронзон шинж чанараар нь өөрчилсөн бөгөөд давхцах машин, гаригийн нунтаглагч, CMP тоног төхөөрөмжид нэгтгэх боломжтой.
-
Хагас дамжуулагч датчик станцын тоног төхөөрөмжийн керамик сэлбэг хэрэгсэл
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
