-
Жогорку тазалыктагы глиноземдик керамикалык дисктер
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
глинозем керамикалык колу
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Керамикалык изоляция шакекчелери Керамикалык фокустоочу шакекчелер
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
ST.CERA глинозем кычкылынын керамикалык кыскыч шакекчесин изоляциялоодон коргоо
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Вафли менен иштөө үчүн жогорку тазалыктагы глиноземдик керамикалык робот колу
St.Cera компаниясынын глинозем кычкылынан жасалган керамикалык робот колу 99,8% жогорку тазалыктагы Al₂O₃ (глинозем) кычкылынан тактык менен жасалган. Ал өзгөчө ийилүүчү бекемдикти (361 МПа), жогорку катуулукту (16 ГПа) жана төмөнкү тыгыздыкты (3,93 г/см³) айкалыштырат, натыйжада жарым өткөргүч пластиналарды өткөрүү үчүн жеңил, бирок катуу кол пайда болот. Материалдын жылуулук кеңейүү коэффициенти (7,2 × 10⁻⁶/°C) кремнийге абдан дал келет, бул иштетүү учурунда жылуулук дал келбестигин азайтат.
-
Алюминий кычкылынын жогорку тактыктагы керамикалык шакекчесинин керамикалык тетиктери
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
ST.CERA Жарым өткөргүч жабдуулары үчүн керамикалык патрондор
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Кремний карбиди (SiC) керамикалык уч эффектору – жогорку температурадагы пластиналарды иштетүү үчүн жогорку катуулук
St.Cera компаниясынын SiC керамикалык уч эффектору жогорку тазалыктагы кремний карбидинен (SiC курамы 99,72%, эркин Si 0,05%) S1111 партиялык материалын колдонуу менен жасалган. Ал өзгөчө механикалык касиеттерге ээ: ийилүүгө туруктуулугу 449 МПа (өлчөнгөн), серпилгичтик модулу 457 ГПа (өлчөнгөн) жана Виккерстин катуулугу 25–28 ГПа (типтүү). Төмөн тыгыздыгы (типтүү 3,10–3,15 г/см³) жогорку ылдамдыктагы пластиналарды которуучу роботтор үчүн идеалдуу болгон жогорку салыштырма катуулукту камсыз кылат. 120–150 Вт/м·К (типтүү) жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (типтүү) жылуулук кеңейүү коэффициенти менен бул уч эффектор жогорку температурада иштетүү учурунда (1600–1700°C чейин, жүктөмсүз) жылуулукту натыйжалуу таркатат жана өлчөмдүү туруктуулукту сактайт. Кара/боз түс жана нөлдүк суу сиңирүү таза бөлмөгө шайкештигин камсыз кылат.
-
Жогорку температурадагы жана плазмалык чөйрөлөр үчүн кремний карбидинин (SiC) негизиндеги вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын SiC негизиндеги керамикалык патрону жогорку тазалыктагы кремний карбидинен жасалган (партия S1111, SiC 99,72%, эркин Si 0,05%). Ал 449 МПа өлчөнгөн ийилүү бекемдигин, 3,12 МПа·м¹/² сынуу бышыктыгын жана 457 ГПа серпилгичтик модулун камсыз кылат. Материалдын типтүү жылуулук өткөрүмдүүлүгү (120–150 Вт/м·К) жана төмөнкү жылуулук кеңейиши (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) термикалык цикл учурунда температуранын тез көтөрүлүшүн жана пластинанын минималдуу кыйшайышын камсыз кылат. Патронду тешиктүү вакуумдук патрон (бирдей газ агымы) же оюктуу стандарттуу патрон катары конфигурациялоого болот. Максималдуу колдонуу температурасы 1600–1700°C (жүксүз) жана плазма эрозиясына өзгөчө туруктуулугу менен бул патрон жогорку температурадагы пластинаны иштетүү (күйгүзүү, RTP) жана алюминий оксиди патрондору бузулган агрессивдүү оюу камералары үчүн идеалдуу.
-
Жарым өткөргүч жабдуулар Керамикалык запастык бөлүктөр Керамикалык ташуучулар
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Жогорку катуулуктагы чаптоо колдонмолору үчүн металл менен капталган глиноземдик керамикалык майдалоо шакекчеси
St.Cera компаниясынын металл негизиндеги глинозем майдалоочу шакекчеси жогорку тазалыктагы глинозем (99,8% Al₂O₃) керамикалык эскирүү катмарын так иштетилген металл негизи (адатта алюминий же дат баспас болот) менен айкалыштырат. Бул гибриддик дизайн майдалоочу бетте керамиканын өзгөчө эскирүүгө туруктуулугун жана химиялык инертүүлүгүн камсыз кылат, ал эми металл негизи механикалык бекемдикти, оңой орнотууну жана морт сынууга туруктуулукту кошот. Глинозем катмары ийилүүгө 361 МПа, Виккерс катуулугу 16 ГПа жана 800°C чейин жылуулук туруктуулугун камсыз кылат. Металл негизи тиштөөчү машиналарга, планетардык майдалагычтарга жана CMP жабдууларына интеграциялоо үчүн орнотуучу тешиктер, жайгаштыруучу төөнөгүчтөр же магниттик касиеттер менен ылайыкташтырылган.
-
Жарым өткөргүч зонд станциясынын жабдуулары үчүн керамикалык запастык бөлүктөр
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
