-
Alumina keramiske skiver med høy renhet
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
alumina keramisk arm
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Keramiske isolasjonsringer Keramiske fokuseringsringer
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA Alumina Keramisk Klemring Isolasjonsbeskyttelse
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Høyrenhets keramisk robotarm av aluminiumoksid for waferhåndtering
St.Ceras robotarm av aluminakeramikk er presisjonskonstruert av 99,8 % høyrenhets Al₂O₃ (alumina). Den kombinerer eksepsjonell bøyestyrke (361 MPa), høy hardhet (16 GPa) og lav tetthet (3,93 g/cm³), noe som resulterer i en lett, men stiv arm for overføring av halvlederskiver. Materialets termiske utvidelseskoeffisient (7,2 × 10⁻⁶/°C) samsvarer tett med silisium, noe som minimerer termisk uoverensstemmelse under prosessering.
-
Keramiske deler av høypresisjons keramiske ringer av aluminiumoksid
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpassede keramiske chucker for halvlederutstyr
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Silisiumkarbid (SiC) keramisk endeeffektor – høy stivhet for håndtering av høytemperaturwafere
St.Ceras SiC keramiske endeeffektor er produsert av høyrens silisiumkarbid (SiC-innhold 99,72 %, fritt Si 0,05 %) ved bruk av S1111-materialet. Den tilbyr eksepsjonelle mekaniske egenskaper: bøyestyrke 449 MPa (målt), elastisitetsmodul 457 GPa (målt) og Vickers-hardhet 25–28 GPa (typisk). Den lave tettheten (3,10–3,15 g/cm³, typisk) gir en høy spesifikk stivhet, ideell for høyhastighets waferoverføringsroboter. Med en varmeledningsevne på 120–150 W/m·K (typisk) og en termisk ekspansjonskoeffisient på 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (typisk), avleder denne endeeffektoren effektivt varme og opprettholder dimensjonsstabilitet under håndtering ved høy temperatur (opptil 1600–1700 °C, uten belastning). Den svarte/grå fargen og null vannabsorpsjon sikrer kompatibilitet med renrom.
-
Silisiumkarbid (SiC)-basert vakuumchuck for høytemperatur- og plasmamiljøer
St.Ceras SiC-baserte keramiske chuck er produsert av høyrens silisiumkarbid (batch S1111, SiC 99,72 %, fritt Si 0,05 %). Den har en målt bøyestyrke på 449 MPa, en bruddseighet på 3,12 MPa·m¹/² og en elastisitetsmodul på 457 GPa. Materialets typiske varmeledningsevne (120–150 W/m·K) og lave varmeutvidelse (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) muliggjør rask temperaturøkning og minimal wafer-vridning under termisk sykling. Chucken kan konfigureres som en porøs vakuumchuck (jevn gasstrøm) eller en rillet standardchuck. Med en maksimal brukstemperatur på 1600–1700 °C (uten belastning) og eksepsjonell plasmaerosjonsmotstand, er denne chucken ideell for høytemperatur-waferprosessering (gløding, RTP) og aggressive etsekamre der alumina-chucker brytes ned.
-
Keramiske reservedeler til halvlederutstyr Keramiske bærere
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Metallbelagt keramisk slipering av alumina for sliping med høy stivhet
St.Ceras metallbaserte alumina-slipering kombinerer et keramisk slitesjikt av høy renhet av alumina (99,8 % Al₂O₃) med et presisjonsmaskinert metallbakside (vanligvis aluminium eller rustfritt stål). Denne hybriddesignen gir den eksepsjonelle slitestyrken og kjemiske inertiteten til keramikk på slipeflaten, mens metallbasen gir mekanisk styrke, enkel montering og motstand mot sprøbrudd. Aluminalaget har en bøyestyrke på 361 MPa, Vickers-hardhet på 16 GPa og termisk stabilitet opptil 800 °C. Metallbasen er tilpasset med monteringshull, posisjoneringspinner eller magnetiske egenskaper for integrering i lappemaskiner, planetslipere og CMP-utstyr.
-
Keramiske reservedeler for halvlederprobestasjonsutstyr
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
