-
أقراص سيراميك الألومينا عالية النقاء
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
ذراع من السيراميك المصنوع من الألومينا
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
حلقات عازلة من السيراميك، حلقات تركيز من السيراميك
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
حماية عازلة لحلقة تثبيت من السيراميك الألومينا ST.CERA
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
ذراع روبوتية مصنوعة من سيراميك الألومينا عالي النقاء لمعالجة الرقائق
صُممت ذراع الروبوت الخزفية المصنوعة من الألومينا من شركة سانت سيرا بدقة متناهية من أكسيد الألومنيوم (Al₂O₃) عالي النقاء بنسبة 99.8%. تجمع هذه الذراع بين قوة انحناء استثنائية (361 ميجا باسكال)، وصلابة عالية (16 جيجا باسكال)، وكثافة منخفضة (3.93 جم/سم³)، مما ينتج عنه ذراع خفيفة الوزن وصلبة في الوقت نفسه لنقل رقائق أشباه الموصلات. يتطابق معامل التمدد الحراري للمادة (7.2 × 10⁻⁶/°م) بشكل كبير مع السيليكون، مما يقلل من التباين الحراري أثناء المعالجة.
-
حلقات سيراميكية عالية الدقة من الألومينا، قطع سيراميكية
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
معدات أشباه الموصلات المخصصة من ST.CERA، رؤوس تثبيت سيراميكية
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
أداة طرفية من السيراميك مصنوعة من كربيد السيليكون (SiC) - صلابة عالية للتعامل مع الرقاقات في درجات الحرارة العالية
صُنعت أداة القطع الطرفية الخزفية من كربيد السيليكون (SiC) من شركة St.Cera من كربيد السيليكون عالي النقاء (محتوى SiC 99.72%، سيليكون حر 0.05%) باستخدام مادة S1111. تتميز هذه الأداة بخصائص ميكانيكية استثنائية: قوة انحناء 449 ميجا باسكال (مقاسة)، ومعامل مرونة 457 جيجا باسكال (مقاس)، وصلابة فيكرز 25-28 جيجا باسكال (نموذجية). توفر الكثافة المنخفضة (3.10-3.15 جم/سم³، نموذجية) صلابة نوعية عالية، مما يجعلها مثالية لروبوتات نقل الرقائق عالية السرعة. بفضل موصليتها الحرارية التي تتراوح بين 120-150 واط/م·ك (نموذجية) ومعامل تمددها الحراري الذي يتراوح بين 4.0-4.5 × 10⁻⁶/درجة مئوية (نموذجي)، تُبدد أداة القطع الطرفية هذه الحرارة بكفاءة وتحافظ على ثبات أبعادها أثناء التعامل معها في درجات حرارة عالية (تصل إلى 1600-1700 درجة مئوية، بدون حمل). يضمن اللون الأسود/الرمادي وانعدام امتصاص الماء التوافق مع غرف الأبحاث النظيفة.
-
ظرف تثبيت فراغي مصنوع من كربيد السيليكون (SiC) للبيئات ذات درجات الحرارة العالية والبلازما
تُصنع ظرف التثبيت الخزفي من سانت سيرا، والمبني على كربيد السيليكون، من كربيد سيليكون عالي النقاء (الدفعة S1111، 99.72% كربيد سيليكون، 0.05% سيليكون حر). يتميز هذا الظرف بقوة انحناء مُقاسة تبلغ 449 ميجا باسكال، ومتانة كسر تبلغ 3.12 ميجا باسكال·م¹/²، ومعامل مرونة يبلغ 457 جيجا باسكال. كما أن الموصلية الحرارية النموذجية للمادة (120-150 واط/م·ك) ومعامل التمدد الحراري المنخفض (4.0-4.5×10⁻⁶/درجة مئوية) تُمكّن من رفع درجة الحرارة بسرعة وتقليل تشوه الرقاقة إلى أدنى حد أثناء دورات التبريد والتسخين. يمكن تهيئة ظرف التثبيت كظرف تثبيت فراغي مسامي (تدفق غاز منتظم) أو كظرف تثبيت قياسي مُخدد. بفضل درجة حرارة الاستخدام القصوى التي تبلغ 1600-1700 درجة مئوية (بدون حمل) ومقاومة التآكل البلازمي الاستثنائية، فإن هذا المثبت مثالي لمعالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية (التلدين، RTP) وغرف الحفر العدوانية حيث تتدهور مثبتات الألومينا.
-
معدات أشباه الموصلات، قطع غيار سيراميكية، حوامل سيراميكية
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
حلقة طحن من السيراميك الألومينا المدعوم بالمعدن لتطبيقات التلميع عالية الصلابة
تجمع حلقة الطحن المصنوعة من الألومينا المعدنية من سانت سيرا بين طبقة سيراميكية عالية النقاء من الألومينا (99.8% Al₂O₃) وقاعدة معدنية مصنّعة بدقة (عادةً من الألومنيوم أو الفولاذ المقاوم للصدأ). يوفر هذا التصميم الهجين مقاومة استثنائية للتآكل وخمولًا كيميائيًا للسيراميك على سطح الطحن، بينما تضيف القاعدة المعدنية قوة ميكانيكية وسهولة في التركيب ومقاومة للكسر الهش. تتميز طبقة الألومينا بقوة انحناء تبلغ 361 ميجا باسكال، وصلابة فيكرز تبلغ 16 جيجا باسكال، وثبات حراري يصل إلى 800 درجة مئوية. يمكن تخصيص القاعدة المعدنية بفتحات تثبيت أو دبابيس تحديد المواقع أو خصائص مغناطيسية لدمجها في آلات التلميع، وآلات الطحن الكوكبية، ومعدات التلميع الكيميائي الميكانيكي.
-
قطع غيار سيراميكية لمعدات محطة فحص أشباه الموصلات
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
