-
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා සෙරමික් තැටි
සීතල සමස්ථානික පීඩනය මගින් සාදන ලද අතර ඉහළ උෂ්ණත්වය යටතේ සින්ටර් කර, පසුව නිරවද්‍යතාවයෙන් යන්ත්‍රගත කර ඔප දැමූ සෙරමික් අමතර කොටස්, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ පරිවරණය යන ලක්ෂණ සහිත අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඕනෑම දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය. පිඟන් මැටිවලට දිගු කාලයක් ඉහළ උෂ්ණත්වය, රික්තය හෝ විඛාදන වායුව සහිත බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල වැඩ කළ හැකිය.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා කුඩු වලින් සාදන ලද, සීතල සමස්ථානික එබීම, ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම සහ නිරවද්‍ය නිමාව මගින් සකසන ලද, එය ± 0.001 mm දක්වා මාන ඉවසීම, මතුපිට නිමාව Ra 0.1, උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය 1600℃ දක්වා ළඟා විය හැකිය.
-
ඇලුමිනා සෙරමික් අත
සීතල සමස්ථානික පීඩනය මගින් සාදන ලද අතර ඉහළ උෂ්ණත්වය යටතේ සින්ටර් කර, පසුව නිරවද්‍යතාවයෙන් යන්ත්‍රගත කර ඔප දැමූ සෙරමික් අමතර කොටස්, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ පරිවරණය යන ලක්ෂණ සහිත අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඕනෑම දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය. පිඟන් මැටිවලට දිගු කාලයක් ඉහළ උෂ්ණත්වය, රික්තය හෝ විඛාදන වායුව සහිත බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල වැඩ කළ හැකිය.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා කුඩු වලින් සාදන ලද, සීතල සමස්ථානික එබීම, ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම සහ නිරවද්‍ය නිමාව මගින් සකසන ලද, එය ± 0.001 mm දක්වා මාන ඉවසීම, මතුපිට නිමාව Ra 0.1, උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය 1600℃ දක්වා ළඟා විය හැකිය.
-
සෙරමික් පරිවාරක වළලු සෙරමික් නාභිගත කරන මුදු
සීතල සමස්ථානික පීඩනය මගින් සාදන ලද අතර ඉහළ උෂ්ණත්වය යටතේ සින්ටර් කර, පසුව නිරවද්‍යතාවයෙන් යන්ත්‍රගත කර ඔප දැමූ සෙරමික් අමතර කොටස්, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ පරිවරණය යන ලක්ෂණ සහිත අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඕනෑම දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය. පිඟන් මැටිවලට දිගු කාලයක් ඉහළ උෂ්ණත්වය, රික්තය හෝ විඛාදන වායුව සහිත බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල වැඩ කළ හැකිය.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා කුඩු වලින් සාදන ලද, සීතල සමස්ථානික එබීම, ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම සහ නිරවද්‍ය නිමාව මගින් සකසන ලද, එය ± 0.001 mm දක්වා මාන ඉවසීම, මතුපිට නිමාව Ra 0.1, උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය 1600℃ දක්වා ළඟා විය හැකිය.
-
ST.CERA ඇලුමිනා සෙරමික් කලම්ප වළල්ල පරිවාරක ආරක්ෂාව
සීතල සමස්ථානික පීඩනය මගින් සාදන ලද අතර ඉහළ උෂ්ණත්වය යටතේ සින්ටර් කර, පසුව නිරවද්‍යතාවයෙන් යන්ත්‍රගත කර ඔප දැමූ සෙරමික් අමතර කොටස්, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ පරිවරණය යන ලක්ෂණ සහිත අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඕනෑම දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය. පිඟන් මැටිවලට දිගු කාලයක් ඉහළ උෂ්ණත්වය, රික්තය හෝ විඛාදන වායුව සහිත බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල වැඩ කළ හැකිය.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා කුඩු වලින් සාදන ලද, සීතල සමස්ථානික එබීම, ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම සහ නිරවද්‍ය නිමාව මගින් සකසන ලද, එය ± 0.001 mm දක්වා මාන ඉවසීම, මතුපිට නිමාව Ra 0.1, උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය 1600℃ දක්වා ළඟා විය හැකිය.
-
වේෆර් හැසිරවීම සඳහා අධි-සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඇලුමිනා සෙරමික් රොබෝ අත
St.Cera හි ඇලුමිනා සෙරමික් රොබෝ අත 99.8% අධි-සංශුද්ධතාවය Al₂O₃ (ඇලුමිනා) වලින් නිරවද්‍යතාවයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. එය සුවිශේෂී නම්‍යශීලී ශක්තිය (361 MPa), ඉහළ දෘඪතාව (16 GPa) සහ අඩු ඝනත්වය (3.93 g/cm³) ඒකාබද්ධ කරන අතර එමඟින් අර්ධ සන්නායක වේෆර් හුවමාරුව සඳහා සැහැල්ලු නමුත් දෘඩ අතක් ලැබේ. ද්‍රව්‍යයේ තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය (7.2×10⁻⁶/°C) සිලිකන් සමඟ සමීපව ගැලපේ, සැකසීමේදී තාප නොගැලපීම අවම කරයි.
-
ඇලුමිනා අධි-නිරවද්‍ය සෙරමික් මුදු සෙරමික් කොටස්
සීතල සමස්ථානික පීඩනය මගින් සාදන ලද අතර ඉහළ උෂ්ණත්වය යටතේ සින්ටර් කර, පසුව නිරවද්‍යතාවයෙන් යන්ත්‍රගත කර ඔප දැමූ සෙරමික් අමතර කොටස්, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ පරිවරණය යන ලක්ෂණ සහිත අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඕනෑම දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය. පිඟන් මැටිවලට දිගු කාලයක් ඉහළ උෂ්ණත්වය, රික්තය හෝ විඛාදන වායුව සහිත බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල වැඩ කළ හැකිය.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා කුඩු වලින් සාදන ලද, සීතල සමස්ථානික එබීම, ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම සහ නිරවද්‍ය නිමාව මගින් සකසන ලද, එය ± 0.001 mm දක්වා මාන ඉවසීම, මතුපිට නිමාව Ra 0.1, උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය 1600℃ දක්වා ළඟා විය හැකිය.
-
ST.CERA අභිරුචිකරණය කළ අර්ධ සන්නායක උපකරණ සෙරමික් චක්ස්
සීතල සමස්ථානික පීඩනය මගින් සාදන ලද අතර ඉහළ උෂ්ණත්වය යටතේ සින්ටර් කර, පසුව නිරවද්‍යතාවයෙන් යන්ත්‍රගත කර ඔප දැමූ සෙරමික් අමතර කොටස්, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ පරිවරණය යන ලක්ෂණ සහිත අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඕනෑම දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය. පිඟන් මැටිවලට දිගු කාලයක් ඉහළ උෂ්ණත්වය, රික්තය හෝ විඛාදන වායුව සහිත බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල වැඩ කළ හැකිය.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා කුඩු වලින් සාදන ලද, සීතල සමස්ථානික එබීම, ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම සහ නිරවද්‍ය නිමාව මගින් සකසන ලද, එය ± 0.001 mm දක්වා මාන ඉවසීම, මතුපිට නිමාව Ra 0.1, උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය 1600℃ දක්වා ළඟා විය හැකිය.
-
සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) සෙරමික් අන්ත ප්‍රයෝගකය - ඉහළ උෂ්ණත්ව වේෆර් හැසිරවීම සඳහා ඉහළ දෘඪතාව
St.Cera's SiC සෙරමික් අන්ත ප්‍රයෝගකය S1111 කාණ්ඩ ද්‍රව්‍ය භාවිතයෙන් ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC අන්තර්ගතය 99.72%, නිදහස් Si 0.05%) වලින් නිෂ්පාදනය කෙරේ. එය සුවිශේෂී යාන්ත්‍රික ගුණාංග ලබා දෙයි: නම්‍යශීලී ශක්තිය 449 MPa (මනින ලද), ප්‍රත්‍යාස්ථතා මාපාංකය 457 GPa (මනින ලද), සහ Vickers දෘඪතාව 25–28 GPa (සාමාන්‍ය). අඩු ඝනත්වය (3.10–3.15 g/cm³, සාමාන්‍ය) ඉහළ නිශ්චිත දෘඪතාවයක් සපයයි, අධිවේගී වේෆර් හුවමාරු රොබෝවරුන් සඳහා වඩාත් සුදුසුය. 120–150 W/m·K (සාමාන්‍ය) තාප සන්නායකතාවය සහ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (සාමාන්‍ය) තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය සමඟ, මෙම අන්ත ප්‍රයෝගකය තාපය ඵලදායී ලෙස විසුරුවා හරින අතර ඉහළ උෂ්ණත්ව හැසිරවීමේදී (1600–1700°C දක්වා, බරක් නැත) මාන ස්ථායිතාව පවත්වා ගනී. කළු/අළු වර්ණය සහ ශුන්‍ය ජල අවශෝෂණය පිරිසිදු කාමර අනුකූලතාව සහතික කරයි.
-
ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ ප්ලාස්මා පරිසරයන් සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) මත පදනම් වූ රික්ත චක්
St.Cera's SiC-පාදක සෙරමික් චක් නිෂ්පාදනය කරනු ලබන්නේ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් (S1111 කාණ්ඩය, SiC 99.72%, නිදහස් Si 0.05%) වලින්. එය මනින ලද නම්‍යශීලී ශක්තිය 449 MPa, අස්ථි බිඳීමේ දෘඪතාව 3.12 MPa·m¹/² සහ ප්‍රත්‍යාස්ථතා මාපාංකය 457 GPa ලබා දෙයි. ද්‍රව්‍යයේ සාමාන්‍ය තාප සන්නායකතාවය (120–150 W/m·K) සහ අඩු තාප ප්‍රසාරණය (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) තාප චක්‍රීකරණයේදී වේගවත් උෂ්ණත්ව රැම්පින් සහ අවම වේෆර් යුධ පිටුව සක්‍රීය කරයි. චක් සිදුරු සහිත රික්ත චක් (ඒකාකාර වායු ප්‍රවාහය) හෝ කට්ට සහිත සම්මත චක් ලෙස වින්‍යාසගත කළ හැකිය. උපරිම භාවිත උෂ්ණත්වය 1600–1700°C (බරක් නැත) සහ සුවිශේෂී ප්ලාස්මා ඛාදන ප්‍රතිරෝධයක් සහිතව, මෙම චක් ඉහළ උෂ්ණත්ව වේෆර් සැකසුම් (ඇනීලිං, RTP) සහ ඇලුමිනා චක් දිරාපත් වන ආක්‍රමණශීලී එච් කුටි සඳහා වඩාත් සුදුසුය.
-
අර්ධ සන්නායක උපකරණ සෙරමික් අමතර කොටස් සෙරමික් වාහක
සීතල සමස්ථානික පීඩනය මගින් සාදන ලද අතර ඉහළ උෂ්ණත්වය යටතේ සින්ටර් කර, පසුව නිරවද්‍යතාවයෙන් යන්ත්‍රගත කර ඔප දැමූ සෙරමික් අමතර කොටස්, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ පරිවරණය යන ලක්ෂණ සහිත අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඕනෑම දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය. පිඟන් මැටිවලට දිගු කාලයක් ඉහළ උෂ්ණත්වය, රික්තය හෝ විඛාදන වායුව සහිත බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල වැඩ කළ හැකිය.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා කුඩු වලින් සාදන ලද, සීතල සමස්ථානික එබීම, ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම සහ නිරවද්‍ය නිමාව මගින් සකසන ලද, එය ± 0.001 mm දක්වා මාන ඉවසීම, මතුපිට නිමාව Ra 0.1, උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය 1600℃ දක්වා ළඟා විය හැකිය.
-
ඉහළ දෘඩතාවයකින් යුත් ලැපින් යෙදුම් සඳහා ලෝහ-පිටුබලය සහිත ඇලුමිනා සෙරමික් ඇඹරුම් වළල්ල
St.Cera හි ලෝහ පාදක ඇලුමිනා ඇඹරුම් වළල්ල, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා (99.8% Al₂O₃) සෙරමික් ඇඳුම් තට්ටුවක් නිරවද්‍යතාවයෙන් යන්ත්‍රගත කරන ලද ලෝහ ආධාරකයක් (සාමාන්‍යයෙන් ඇලුමිනියම් හෝ මල නොබැඳෙන වානේ) සමඟ ඒකාබද්ධ කරයි. මෙම දෙමුහුන් සැලසුම ඇඹරුම් මතුපිට සෙරමික් වල සුවිශේෂී ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය සහ රසායනික නිෂ්ක්‍රීය බව සපයන අතර, ලෝහ පදනම යාන්ත්‍රික ශක්තිය, පහසු සවි කිරීම සහ බිඳෙනසුලු අස්ථි බිඳීමට ප්‍රතිරෝධය එක් කරයි. ඇලුමිනා ස්ථරය 361 MPa නම්‍යශීලී ශක්තියක්, 16 GPa හි Vickers දෘඪතාව සහ 800°C දක්වා තාප ස්ථායිතාව ලබා දෙයි. ලැපින් යන්ත්‍ර, ග්‍රහලෝක ඇඹරුම් යන්ත සහ CMP උපකරණවලට ඒකාබද්ධ කිරීම සඳහා සවි කිරීම් සිදුරු, ස්ථානගත කිරීමේ අල්ෙපෙනති හෝ චුම්භක ගුණාංග සමඟ ලෝහ පදනම අභිරුචිකරණය කර ඇත.
-
අර්ධ සන්නායක පරීක්ෂණ ස්ථාන උපකරණ සඳහා සෙරමික් අමතර කොටස්
සීතල සමස්ථානික පීඩනය මගින් සාදන ලද අතර ඉහළ උෂ්ණත්වය යටතේ සින්ටර් කර, පසුව නිරවද්‍යතාවයෙන් යන්ත්‍රගත කර ඔප දැමූ සෙරමික් අමතර කොටස්, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ පරිවරණය යන ලක්ෂණ සහිත අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඕනෑම දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය. පිඟන් මැටිවලට දිගු කාලයක් ඉහළ උෂ්ණත්වය, රික්තය හෝ විඛාදන වායුව සහිත බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල වැඩ කළ හැකිය.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා කුඩු වලින් සාදන ලද, සීතල සමස්ථානික එබීම, ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම සහ නිරවද්‍ය නිමාව මගින් සකසන ලද, එය ± 0.001 mm දක්වා මාන ඉවසීම, මතුපිට නිමාව Ra 0.1, උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය 1600℃ දක්වා ළඟා විය හැකිය.
