-
Керамічні диски з глинозему високої чистоти
Виготовлені методом холодного ізостатичного пресування та спікання за високої температури, а потім прецизійно оброблені та поліровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам до напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції. Кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
керамічний кронштейн з глинозему
Виготовлені методом холодного ізостатичного пресування та спікання за високої температури, а потім прецизійно оброблені та поліровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам до напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції. Кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
Керамічні ізоляційні кільця Керамічні фокусувальні кільця
Виготовлені методом холодного ізостатичного пресування та спікання за високої температури, а потім прецизійно оброблені та поліровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам до напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції. Кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
Захист ізоляції затискним кільцем з керамічного глинозему ST.CERA
Виготовлені методом холодного ізостатичного пресування та спікання за високої температури, а потім прецизійно оброблені та поліровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам до напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції. Кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
Керамічний робот-маніпулятор з високочистого оксиду алюмінію для обробки пластин
Керамічна робота-маніпулятор St.Cera з оксиду алюмінію виготовлена з високою точністю з високочистого Al₂O₃ (оксиду алюмінію) на 99,8%. Він поєднує виняткову міцність на вигин (361 МПа), високу твердість (16 ГПа) та низьку щільність (3,93 г/см³), що призводить до легкого, але жорсткого маніпулятора для перенесення напівпровідникових пластин. Коефіцієнт теплового розширення матеріалу (7,2×10⁻⁶/°C) точно відповідає кремнію, мінімізуючи теплову невідповідність під час обробки.
-
Керамічні деталі з високоточних керамічних кілець з глинозему
Виготовлені методом холодного ізостатичного пресування та спікання за високої температури, а потім прецизійно оброблені та поліровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам до напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції. Кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
Керамічні патрони для напівпровідникового обладнання ST.CERA на замовлення
Виготовлені методом холодного ізостатичного пресування та спікання за високої температури, а потім прецизійно оброблені та поліровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам до напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції. Кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
Керамічний кінцевий ефектор з карбіду кремнію (SiC) – висока жорсткість для обробки пластин за високих температур
Керамічний кінцевий ефектор St.Cera SiC виготовлений з високочистого карбіду кремнію (вміст SiC 99,72%, вільного Si 0,05%) з використанням шихти S1111. Він має виняткові механічні властивості: міцність на згин 449 МПа (виміряна), модуль пружності 457 ГПа (виміряний) та твердість за Віккерсом 25–28 ГПа (типова). Низька щільність (3,10–3,15 г/см³, типова) забезпечує високу питому жорсткість, ідеальну для високошвидкісних роботів для перенесення пластин. З теплопровідністю 120–150 Вт/м·K (типова) та коефіцієнтом теплового розширення 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типова), цей кінцевий ефектор ефективно розсіює тепло та підтримує стабільність розмірів під час обробки за високих температур (до 1600–1700°C, без навантаження). Чорно-сірий колір та нульове водопоглинання забезпечують сумісність з чистими приміщеннями.
-
Вакуумний патрон на основі карбіду кремнію (SiC) для високотемпературних та плазмових середовищ
Керамічний патрон St.Cera на основі карбіду кремнію (SiC) виготовлений з високочистого карбіду кремнію (партія S1111, SiC 99,72%, вільний Si 0,05%). Він забезпечує виміряну міцність на згин 449 МПа, в'язкість на розрив 3,12 МПа·м¹/² та модуль пружності 457 ГПа. Типова теплопровідність матеріалу (120–150 Вт/м·K) та низьке теплове розширення (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) забезпечують швидке підвищення температури та мінімальне деформування пластини під час термоциклування. Патрон може бути налаштований як пористий вакуумний патрон (рівномірний потік газу) або стандартний патрон з канавками. З максимальною температурою використання 1600–1700°C (без навантаження) та винятковою стійкістю до плазмової ерозії, цей патрон ідеально підходить для високотемпературної обробки пластин (відпал, RTP) та камер агресивного травлення, де алюмінієві патронники деградують.
-
Керамічні запасні частини для напівпровідникового обладнання, керамічні носії
Виготовлені методом холодного ізостатичного пресування та спікання за високої температури, а потім прецизійно оброблені та поліровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам до напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції. Кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
Шліфувальне кільце з глинозему з металевою підкладкою для високожорстких притирних робіт
Шліфувальне кільце St.Cera на основі оксиду алюмінію поєднує в собі керамічний шар зносу з високочистого оксиду алюмінію (99,8% Al₂O₃) з прецизійно обробленою металевою основою (зазвичай з алюмінію або нержавіючої сталі). Ця гібридна конструкція забезпечує виняткову зносостійкість та хімічну інертність кераміки на шліфувальній поверхні, тоді як металева основа додає механічну міцність, легкість монтажу та стійкість до крихкого руйнування. Шар оксиду алюмінію забезпечує міцність на вигин 361 МПа, твердість за Віккерсом 16 ГПа та термостійкість до 800°C. Металева основа може бути оснащена монтажними отворами, фіксуючими штифтами або магнітними властивостями для інтеграції в притирні верстати, планетарні шліфувальні верстати та обладнання для обробки обробних машин.
-
Керамічні запасні частини для обладнання напівпровідникових зондових станцій
Виготовлені методом холодного ізостатичного пресування та спікання за високої температури, а потім прецизійно оброблені та поліровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам до напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції. Кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
