-
Aluminiumkeramiska skivor med hög renhet
De keramiska reservdelarna, som formas genom kall isostatisk pressning och sintras under hög temperatur, därefter precisionsbearbetas och poleras, kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering. Keramik kan användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under förhållanden med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
aluminiumoxid keramisk arm
De keramiska reservdelarna, som formas genom kall isostatisk pressning och sintras under hög temperatur, därefter precisionsbearbetas och poleras, kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering. Keramik kan användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under förhållanden med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
Keramiska isoleringsringar Keramiska fokuseringsringar
De keramiska reservdelarna, som formas genom kall isostatisk pressning och sintras under hög temperatur, därefter precisionsbearbetas och poleras, kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering. Keramik kan användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under förhållanden med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA Alumina Keramisk Klämring Isoleringsskydd
De keramiska reservdelarna, som formas genom kall isostatisk pressning och sintras under hög temperatur, därefter precisionsbearbetas och poleras, kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering. Keramik kan användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under förhållanden med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
Högren aluminiumoxidkeramisk robotarm för waferhantering
St.Ceras robotarm av aluminiumoxidkeramik är precisionstillverkad av 99,8 % högrent Al₂O₃ (aluminiumoxid). Den kombinerar exceptionell böjhållfasthet (361 MPa), hög hårdhet (16 GPa) och låg densitet (3,93 g/cm³), vilket resulterar i en lätt men ändå styv arm för överföring av halvledarskivor. Materialets värmeutvidgningskoefficient (7,2×10⁻⁶/°C) matchar kisel noggrant, vilket minimerar termisk obalans under bearbetning.
-
Keramiska delar av aluminiumoxid med hög precision i keramiska ringar
De keramiska reservdelarna, som formas genom kall isostatisk pressning och sintras under hög temperatur, därefter precisionsbearbetas och poleras, kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering. Keramik kan användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under förhållanden med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA Anpassade Keramiska Chuckar för Halvledarutrustning
De keramiska reservdelarna, som formas genom kall isostatisk pressning och sintras under hög temperatur, därefter precisionsbearbetas och poleras, kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering. Keramik kan användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under förhållanden med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
Kiselkarbid (SiC) keramisk ändeffektor – hög styvhet för hantering av högtemperaturskivor
St.Ceras SiC-keramiska ändeffektor är tillverkad av högren kiselkarbid (SiC-halt 99,72 %, fritt Si 0,05 %) med hjälp av S1111-batchmaterialet. Den erbjuder exceptionella mekaniska egenskaper: böjhållfasthet 449 MPa (uppmätt), elasticitetsmodul 457 GPa (uppmätt) och Vickers-hårdhet 25–28 GPa (typisk). Den låga densiteten (3,10–3,15 g/cm³, typisk) ger en hög specifik styvhet, idealisk för höghastighetswaferöverföringsrobotar. Med en värmeledningsförmåga på 120–150 W/m·K (typisk) och en värmeutvidgningskoefficient på 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typisk) avleder denna ändeffektor effektivt värme och bibehåller dimensionsstabilitet vid hantering vid höga temperaturer (upp till 1600–1700 °C, utan belastning). Den svarta/grå färgen och noll vattenabsorption säkerställer kompatibilitet med renrum.
-
Kiselkarbid (SiC)-baserad vakuumchuck för högtemperatur- och plasmamiljöer
St.Ceras SiC-baserade keramiska chuck är tillverkad av högren kiselkarbid (batch S1111, SiC 99,72 %, fritt Si 0,05 %). Den har en uppmätt böjhållfasthet på 449 MPa, en brottseghet på 3,12 MPa·m¹/² och en elasticitetsmodul på 457 GPa. Materialets typiska värmeledningsförmåga (120–150 W/m·K) och låga värmeutvidgning (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) möjliggör snabb temperaturökning och minimal waferdeformation under termisk cykling. Chucken kan konfigureras som en porös vakuumchuck (jämnt gasflöde) eller en spårad standardchuck. Med en maximal användningstemperatur på 1600–1700 °C (utan belastning) och exceptionell plasmaerosionsbeständighet är denna chuck idealisk för högtemperaturwaferbearbetning (glödgning, RTP) och aggressiva etskamrar där aluminiumoxidchuckar bryts ner.
-
Halvledarutrustning Keramiska reservdelar Keramiska bärare
De keramiska reservdelarna, som formas genom kall isostatisk pressning och sintras under hög temperatur, därefter precisionsbearbetas och poleras, kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering. Keramik kan användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under förhållanden med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
Metallstödd aluminiumoxidkeramisk slipring för högstyva läppapplikationer
St.Ceras metallbaserade aluminiumoxidslipring kombinerar ett keramiskt slitlager av hög renhet av aluminiumoxid (99,8 % Al₂O₃) med ett precisionsbearbetat metallbakstycke (vanligtvis aluminium eller rostfritt stål). Denna hybriddesign ger den exceptionella slitstyrkan och kemiska inertheten hos keramik på slipytan, medan metallbasen ger mekanisk styrka, enkel montering och motståndskraft mot sprödbrott. Aluminiumoxidlagret erbjuder en böjhållfasthet på 361 MPa, en Vickers-hårdhet på 16 GPa och termisk stabilitet upp till 800 °C. Metallbasen är anpassad med monteringshål, styrstift eller magnetiska egenskaper för integration i läppmaskiner, planetslipmaskiner och CMP-utrustning.
-
Keramiska reservdelar för halvledarstationsutrustning
De keramiska reservdelarna, som formas genom kall isostatisk pressning och sintras under hög temperatur, därefter precisionsbearbetas och poleras, kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering. Keramik kan användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under förhållanden med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
