-
Discos cerámicos de alúmina de alta pureza
Formadas por prensado isostático en frío e sinterizadas a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento. A cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
brazo de cerámica de alúmina
Formadas por prensado isostático en frío e sinterizadas a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento. A cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Aneis de illamento cerámicos Aneis de enfoque cerámicos
Formadas por prensado isostático en frío e sinterizadas a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento. A cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Protección de illamento da abrazadera de cerámica de alúmina ST.CERA
Formadas por prensado isostático en frío e sinterizadas a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento. A cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Brazo robótico de cerámica de alúmina de alta pureza para a manipulación de obleas
O brazo robótico de cerámica de alúmina de St.Cera está fabricado con precisión a partir dun 99,8 % de Al₂O₃ (alúmina) de alta pureza. Combina unha resistencia á flexión excepcional (361 MPa), unha alta dureza (16 GPa) e unha baixa densidade (3,93 g/cm³), o que resulta nun brazo lixeiro pero ríxido para a transferencia de obleas de semicondutores. O coeficiente de expansión térmica do material (7,2 × 10⁻⁶/°C) é moi semellante ao do silicio, o que minimiza a desaxuste térmico durante o procesamento.
-
Pezas cerámicas de aneis cerámicos de alta precisión de alúmina
Formadas por prensado isostático en frío e sinterizadas a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento. A cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Mandriles cerámicos para equipos semicondutores personalizados de ST.CERA
Formadas por prensado isostático en frío e sinterizadas a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento. A cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Efector final cerámico de carburo de silicio (SiC): alta rixidez para a manipulación de obleas a alta temperatura
O efector final cerámico SiC de St.Cera está fabricado con carburo de silicio de alta pureza (contido de SiC 99,72 %, Si libre 0,05 %) utilizando o material de lote S1111. Ofrece propiedades mecánicas excepcionais: resistencia á flexión 449 MPa (medida), módulo elástico 457 GPa (medido) e dureza Vickers 25–28 GPa (típica). A baixa densidade (3,10–3,15 g/cm³, típica) proporciona unha alta rixidez específica, ideal para robots de transferencia de obleas de alta velocidade. Cunha condutividade térmica de 120–150 W/m·K (típica) e un coeficiente de expansión térmica de 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (típico), este efector final disipa eficazmente a calor e mantén a estabilidade dimensional durante a manipulación a altas temperaturas (ata 1600–1700 °C, sen carga). A cor negra/gris e a absorción nula de auga garanten a compatibilidade coa sala limpa.
-
Mandril de baleiro baseado en carburo de silicio (SiC) para ambientes de alta temperatura e plasma
O mandril cerámico baseado en SiC de St.Cera está fabricado con carburo de silicio de alta pureza (lote S1111, SiC 99,72 %, Si libre 0,05 %). Ofrece unha resistencia á flexión medida de 449 MPa, unha tenacidade á fractura de 3,12 MPa·m¹/² e un módulo elástico de 457 GPa. A condutividade térmica típica do material (120–150 W/m·K) e a baixa expansión térmica (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) permiten un rápido aumento da temperatura e unha deformación mínima da oblea durante o ciclo térmico. O mandril pódese configurar como un mandril de baleiro poroso (fluxo uniforme de gas) ou un mandril estándar ranurado. Cunha temperatura máxima de uso de 1600–1700 °C (sen carga) e unha excepcional resistencia á erosión por plasma, este mandril é ideal para o procesamento de obleas a alta temperatura (recocido, RTP) e cámaras de gravado agresivas onde os mandriles de alúmina se degradan.
-
Equipos semicondutores Pezas de reposto cerámicas Portadores cerámicos
Formadas por prensado isostático en frío e sinterizadas a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento. A cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Anel de rectificado cerámico de alúmina con soporte metálico para aplicacións de lapeado de alta rixidez
O anel de moenda de alúmina a base de metal de St.Cera combina unha capa de desgaste cerámica de alúmina de alta pureza (99,8 % de Al₂O₃) cun soporte metálico mecanizado con precisión (normalmente aluminio ou aceiro inoxidable). Este deseño híbrido proporciona a excepcional resistencia ao desgaste e a inercia química da cerámica na superficie de moenda, mentres que a base metálica engade resistencia mecánica, montaxe sinxela e resistencia á fractura fráxil. A capa de alúmina ofrece unha resistencia á flexión de 361 MPa, unha dureza Vickers de 16 GPa e unha estabilidade térmica de ata 800 °C. A base metálica está personalizada con orificios de montaxe, pasadores de localización ou propiedades magnéticas para a súa integración en máquinas de lapeado, retificadoras planetarias e equipos CMP.
-
Pezas de reposto cerámicas para equipos de estación de sonda de semicondutores
Formadas por prensado isostático en frío e sinterizadas a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento. A cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
