-
Keramički diskovi od aluminijevog oksida visoke čistoće
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
aluminijeva keramička ruka
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Keramički izolacijski prstenovi Keramički prstenovi za fokusiranje
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Zaštita izolacije od keramičkog steznog prstena od aluminijevog oksida
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Robotska ruka od visokočistog aluminijevog oksida za rukovanje pločicama
St.Cera robotska ruka od aluminijevog keramičkog oksida precizno je konstruirana od 99,8% visokočistog Al₂O₃ (aluminijevog oksida). Kombinira iznimnu čvrstoću na savijanje (361 MPa), visoku tvrdoću (16 GPa) i nisku gustoću (3,93 g/cm³), što rezultira laganom, ali krustom rukom za prijenos poluvodičkih pločica. Koeficijent toplinskog širenja materijala (7,2 × 10⁻⁶/°C) blisko se podudara s silicijem, minimizirajući toplinsku neusklađenost tijekom obrade.
-
Keramički dijelovi od visokopreciznog keramičkog prstena od aluminijevog oksida
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođene keramičke stezne glave za poluvodičku opremu
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Keramički krajnji efektor od silicijevog karbida (SiC) – visoka krutost za rukovanje pločicama na visokim temperaturama
St.Cera SiC keramički krajnji efektor izrađen je od silicijevog karbida visoke čistoće (udio SiC-a 99,72%, slobodnog Si 0,05%) korištenjem materijala S1111. Nudi iznimna mehanička svojstva: čvrstoću na savijanje 449 MPa (izmjereno), modul elastičnosti 457 GPa (izmjereno) i tvrdoću po Vickersu 25–28 GPa (tipično). Niska gustoća (3,10–3,15 g/cm³, tipično) pruža visoku specifičnu krutost, idealnu za robote za brzi prijenos pločica. S toplinskom vodljivošću od 120–150 W/m·K (tipično) i koeficijentom toplinskog širenja od 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipično), ovaj krajnji efektor učinkovito odvodi toplinu i održava dimenzijsku stabilnost tijekom rukovanja na visokim temperaturama (do 1600–1700°C, bez opterećenja). Crno/siva boja i nulta apsorpcija vode osiguravaju kompatibilnost s čistim sobama.
-
Vakuumska stezna glava na bazi silicijevog karbida (SiC) za visokotemperaturna i plazma okruženja
St.Cera keramička stezna glava na bazi SiC-a izrađena je od silicijevog karbida visoke čistoće (serija S1111, SiC 99,72%, slobodni Si 0,05%). Pruža izmjerenu savojnu čvrstoću od 449 MPa, žilavost na lom od 3,12 MPa·m¹/² i modul elastičnosti od 457 GPa. Tipična toplinska vodljivost materijala (120–150 W/m·K) i nisko toplinsko širenje (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) omogućuju brzo povećanje temperature i minimalno savijanje pločice tijekom termičkog cikliranja. Stezna glava može se konfigurirati kao porozna vakuumska stezna glava (jednoličan protok plina) ili standardna stezna glava s utorima. S maksimalnom temperaturom korištenja od 1600–1700 °C (bez opterećenja) i iznimnom otpornošću na eroziju plazmom, ova stezna glava idealna je za obradu pločica na visokim temperaturama (žarenje, RTP) i agresivne komore za jetkanje gdje se aluminijeve stezne glave degradiraju.
-
Poluvodička oprema Keramički rezervni dijelovi Keramički nosači
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Metalni keramički brusni prsten od aluminijevog oksida za primjene poliranja visoke krutosti
St.Cera brusni prsten od metalnog oksida kombinira keramički sloj od oksida visoke čistoće (99,8% Al₂O₃) s precizno obrađenom metalnom podlogom (obično aluminij ili nehrđajući čelik). Ovaj hibridni dizajn pruža iznimnu otpornost na habanje i kemijsku inertnost keramike na površini za brušenje, dok metalna baza dodaje mehaničku čvrstoću, jednostavnu montažu i otpornost na krhki lom. Sloj oksida nudi savojnu čvrstoću od 361 MPa, tvrdoću po Vickersu od 16 GPa i toplinsku stabilnost do 800°C. Metalna baza je prilagođena s rupama za montažu, locirajućim klinovima ili magnetskim svojstvima za integraciju u strojeve za lepanje, planetarne brusilice i CMP opremu.
-
Keramički rezervni dijelovi za opremu poluvodičkih sondi
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
