-
Yüksək Saflığa malik alüminium keramika diskləri
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
alüminium keramika qolu
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
Keramika İzolyasiya Üzükləri Keramika Fokuslama Üzükləri
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
ST.CERA Alüminium Keramika Qısqac Halqası İzolyasiya Qoruyucusu
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
Vafli İşləməsi üçün Yüksək Saflıqlı Alüminium Seramik Robot Qolu
St.Cera-nın alüminium oksidi keramika robot qolu 99,8% yüksək təmizlikli Al₂O₃ (alüminium oksidi) materialından dəqiqliklə hazırlanmışdır. O, müstəsna əyilmə möhkəmliyini (361 MPa), yüksək sərtliyi (16 GPa) və aşağı sıxlığı (3,93 q/sm³) birləşdirir və nəticədə yarımkeçirici lövhə ötürülməsi üçün yüngül, lakin sərt bir qolu əldə edir. Materialın istilik genişlənmə əmsalı (7,2 × 10⁻⁶/°C) silikonla yaxından uyğunlaşır və emal zamanı istilik uyğunsuzluğunu minimuma endirir.
-
Alüminium Yüksək Həssaslıqlı Keramika Üzüklü Keramika Hissələri
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
ST.CERA Xüsusi Yarımkeçirici Avadanlıqlar Keramik Çakırları
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
Silikon Karbid (SiC) Keramik Son Effektoru – Yüksək Temperaturlu Plitələrin İşlənməsi üçün Yüksək Sərtlik
St.Cera-nın SiC keramika son effektoru, S1111 seriyalı materialdan istifadə edərək yüksək təmizlikli silikon karbiddən (SiC tərkibi 99.72%, sərbəst Si 0.05%) istehsal olunur. O, müstəsna mexaniki xüsusiyyətlər təklif edir: əyilmə möhkəmliyi 449 MPa (ölçülmüş), elastiklik modulu 457 GPa (ölçülmüş) və Vickers sərtliyi 25–28 GPa (tipik). Aşağı sıxlıq (tipik olaraq 3.10–3.15 q/sm³) yüksək sürətli lövhə ötürmə robotları üçün ideal olan yüksək xüsusi sərtlik təmin edir. 120–150 Vt/m·K (tipik) istilik keçiriciliyi və 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipik) istilik genişlənmə əmsalı ilə bu son effektor yüksək temperaturda işləmə zamanı (1600–1700°C-yə qədər, yük olmadan) istiliyi effektiv şəkildə yayır və ölçülü sabitliyi qoruyur. Qara/boz rəng və sıfır su udma qabiliyyəti təmiz otaq uyğunluğunu təmin edir.
-
Yüksək Temperaturlu və Plazma Mühitləri üçün Silikon Karbid (SiC) Əsaslı Vakuum Çakırı
St.Cera-nın SiC əsaslı keramika patronu yüksək təmizlikli silikon karbiddən (partiya S1111, SiC 99.72%, sərbəst Si 0.05%) istehsal olunur. O, 449 MPa ölçülmüş əyilmə möhkəmliyi, 3.12 MPa·m¹/² qırılma möhkəmliyi və 457 GPa elastiklik modulu təmin edir. Materialın tipik istilik keçiriciliyi (120–150 Vt/m·K) və aşağı istilik genişlənməsi (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) istilik dövrü zamanı sürətli temperatur artımına və lövhənin minimal əyilməsinə imkan verir. Patron məsaməli vakuum patronu (vahid qaz axını) və ya yivli standart patron kimi konfiqurasiya edilə bilər. Maksimum istifadə temperaturu 1600–1700°C (yüksüz) və müstəsna plazma eroziyasına davamlılığı ilə bu patron yüksək temperaturlu lövhə emalı (tavlama, RTP) və alüminium oksid patronlarının parçalandığı aqressiv aşındırma kameraları üçün idealdır.
-
Yarımkeçirici Avadanlıqlar Keramika Ehtiyat Hissələri Keramika Daşıyıcıları
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
Yüksək Sərtlikli Çaplama Tətbiqləri üçün Metal Əsaslı Alüminium Oil Keramika Üyüdücü Halqa
St.Cera-nın metal əsaslı alüminium oksidi üyütmə halqası yüksək təmizlikli alüminium oksidi (99,8% Al₂O₃) keramika aşınma təbəqəsini dəqiq işlənmiş metal arxa hissə (adətən alüminium və ya paslanmayan polad) ilə birləşdirir. Bu hibrid dizayn, üyütmə səthində keramikanın müstəsna aşınma müqavimətini və kimyəvi inertliyini təmin edir, metal əsas isə mexaniki möhkəmlik, asan montaj və kövrək sınığa qarşı müqavimət əlavə edir. Alüminium oksidi təbəqəsi 361 MPa əyilmə möhkəmliyi, 16 GPa Vickers sərtliyi və 800°C-yə qədər istilik sabitliyi təklif edir. Metal əsas, sürtmə maşınlarına, planetar üyütmə maşınlarına və CMP avadanlıqlarına inteqrasiya üçün montaj dəlikləri, yerləşdirmə sancaqları və ya maqnit xüsusiyyətləri ilə fərdiləşdirilir.
-
Yarımkeçirici Zond Stansiyası Avadanlıqları üçün Seramik Ehtiyat Hissələri
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
