-
उच्च शुद्धतेच्या ॲल्युमिना सिरेमिक डिस्क
कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे आकार देऊन आणि उच्च तापमानात सिंटर करून, त्यानंतर अचूक मशीनिंग व पॉलिशिंग केलेले सिरॅमिकचे सुटे भाग, त्यांच्या झीज-प्रतिरोध, गंज-प्रतिरोध, कमी औष्णिक प्रसरण आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कोणत्याही कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. सिरॅमिक्स अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, व्हॅक्यूम किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकतात.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
-
अ‍ॅल्युमिना सिरेमिक आर्म
कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे आकार देऊन आणि उच्च तापमानात सिंटर करून, त्यानंतर अचूक मशीनिंग व पॉलिशिंग केलेले सिरॅमिकचे सुटे भाग, त्यांच्या झीज-प्रतिरोध, गंज-प्रतिरोध, कमी औष्णिक प्रसरण आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कोणत्याही कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. सिरॅमिक्स अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, व्हॅक्यूम किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकतात.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
-
सिरेमिक इन्सुलेशन रिंग्ज सिरेमिक फोकसिंग रिंग्ज
कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे आकार देऊन आणि उच्च तापमानात सिंटर करून, त्यानंतर अचूक मशीनिंग व पॉलिशिंग केलेले सिरॅमिकचे सुटे भाग, त्यांच्या झीज-प्रतिरोध, गंज-प्रतिरोध, कमी औष्णिक प्रसरण आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कोणत्याही कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. सिरॅमिक्स अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, व्हॅक्यूम किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकतात.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
-
ST.CERA ॲल्युमिना सिरेमिक क्लॅम्प रिंग इन्सुलेशन संरक्षण
कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे आकार देऊन आणि उच्च तापमानात सिंटर करून, त्यानंतर अचूक मशीनिंग व पॉलिशिंग केलेले सिरॅमिकचे सुटे भाग, त्यांच्या झीज-प्रतिरोध, गंज-प्रतिरोध, कमी औष्णिक प्रसरण आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कोणत्याही कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. सिरॅमिक्स अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, व्हॅक्यूम किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकतात.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
-
वेफर हाताळणीसाठी उच्च-शुद्धता ॲल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म
सेंट.सेराचा ॲल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म ९९.८% उच्च-शुद्धता असलेल्या Al₂O₃ (ॲल्युमिना) पासून अचूकपणे तयार केला आहे. यात अपवादात्मक लवचिक शक्ती (३६१ MPa), उच्च कठीणता (१६ GPa) आणि कमी घनता (३.९३ g/cm³) यांचा मिलाफ आहे, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर वेफर हस्तांतरणासाठी एक हलका पण मजबूत आर्म तयार होतो. या मटेरियलचा औष्णिक प्रसरण गुणांक (७.२×१०⁻⁶/°C) सिलिकॉनशी जवळून जुळतो, ज्यामुळे प्रक्रियेदरम्यान औष्णिक विसंगती कमी होते.
-
ॲल्युमिना उच्च-सुस्पष्टता सिरेमिक रिंग सिरेमिक भाग
कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे आकार देऊन आणि उच्च तापमानात सिंटर करून, त्यानंतर अचूक मशीनिंग व पॉलिशिंग केलेले सिरॅमिकचे सुटे भाग, त्यांच्या झीज-प्रतिरोध, गंज-प्रतिरोध, कमी औष्णिक प्रसरण आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कोणत्याही कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. सिरॅमिक्स अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, व्हॅक्यूम किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकतात.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
-
सेंट.सेरा सानुकूलित सेमीकंडक्टर उपकरण सिरेमिक चक
कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे आकार देऊन आणि उच्च तापमानात सिंटर करून, त्यानंतर अचूक मशीनिंग व पॉलिशिंग केलेले सिरॅमिकचे सुटे भाग, त्यांच्या झीज-प्रतिरोध, गंज-प्रतिरोध, कमी औष्णिक प्रसरण आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कोणत्याही कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. सिरॅमिक्स अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, व्हॅक्यूम किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकतात.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
-
सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक एंड इफेक्टर – उच्च तापमानात वेफर हाताळणीसाठी उच्च दृढता
सेंट.सेराचा SiC सिरेमिक एंड इफेक्टर, S1111 बॅच मटेरियल वापरून उच्च-शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइडपासून (SiC प्रमाण ९९.७२%, मुक्त Si ०.०५%) तयार केला जातो. तो उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म प्रदान करतो: लवचिक शक्ती ४४९ MPa (मोजलेले), लवचिक मापांक ४५७ GPa (मोजलेले), आणि विकर्स कठीणता २५–२८ GPa (सामान्य). कमी घनता (३.१०–३.१५ g/cm³, सामान्य) उच्च विशिष्ट कडकपणा प्रदान करते, जे हाय-स्पीड वेफर ट्रान्सफर रोबोट्ससाठी आदर्श आहे. १२०–१५० W/m·K (सामान्य) औष्णिक वाहकता आणि ४.०–४.५×१०⁻⁶/℃ (सामान्य) औष्णिक प्रसरण गुणांकासह, हा एंड इफेक्टर उच्च-तापमान हाताळणी दरम्यान (१६००–१७००°C पर्यंत, भाराशिवाय) प्रभावीपणे उष्णता विसर्जित करतो आणि आकारमान स्थिरता राखतो. काळा/राखाडी रंग आणि शून्य पाणी शोषण क्षमता क्लीनरूमसाठी अनुकूलता सुनिश्चित करतात.
-
उच्च तापमान आणि प्लाझ्मा वातावरणासाठी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) आधारित व्हॅक्यूम चक
सेंट.सेराचा SiC-आधारित सिरेमिक चक उच्च-शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइडपासून (बॅच S1111, SiC ९९.७२%, मुक्त Si ०.०५%) तयार केला जातो. याची मोजलेली लवचिक शक्ती ४४९ MPa, फ्रॅक्चर टफनेस ३.१२ MPa·m¹/² आणि इलास्टिक मॉड्युलस ४५७ GPa आहे. या मटेरियलची वैशिष्ट्यपूर्ण औष्णिक वाहकता (१२०–१५० W/m·K) आणि कमी औष्णिक प्रसरण (४.०–४.५×१०⁻⁶/℃) यामुळे तापमानात जलद वाढ करणे आणि थर्मल सायकलिंग दरम्यान वेफरचे कमीत कमी विरूपण होणे शक्य होते. हा चक पोरस व्हॅक्यूम चक (एकसमान वायू प्रवाह) किंवा ग्रूव्ह्ड स्टँडर्ड चक म्हणून कॉन्फिगर केला जाऊ शकतो. 1600–1700°C (नो लोड) च्या कमाल वापर तापमानासह आणि अपवादात्मक प्लाझ्मा इरोजन प्रतिरोधामुळे, हा चक उच्च-तापमान वेफर प्रोसेसिंग (ॲनीलिंग, आरटीपी) आणि ॲल्युमिना चक्स खराब होणाऱ्या आक्रमक एच चेंबर्ससाठी आदर्श आहे.
-
सेमीकंडक्टर उपकरणे सिरॅमिक सुटे भाग सिरॅमिक कॅरियर्स
कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे आकार देऊन आणि उच्च तापमानात सिंटर करून, त्यानंतर अचूक मशीनिंग व पॉलिशिंग केलेले सिरॅमिकचे सुटे भाग, त्यांच्या झीज-प्रतिरोध, गंज-प्रतिरोध, कमी औष्णिक प्रसरण आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कोणत्याही कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. सिरॅमिक्स अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, व्हॅक्यूम किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकतात.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
-
उच्च-कठोरता लॅपिंग अनुप्रयोगांसाठी धातू-समर्थित ॲल्युमिना सिरेमिक ग्राइंडिंग रिंग
सेंट.सेराच्या धातू-आधारित ॲल्युमिना ग्राइंडिंग रिंगमध्ये उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना (९९.८% Al₂O₃) सिरॅमिक वेअर लेयरला अचूकपणे मशीन केलेल्या धातूच्या बॅकिंगसोबत (सामान्यतः ॲल्युमिनियम किंवा स्टेनलेस स्टील) जोडलेले असते. ही हायब्रीड रचना ग्राइंडिंग पृष्ठभागावर सिरॅमिकचा अपवादात्मक झीज-प्रतिरोध आणि रासायनिक निष्क्रियता प्रदान करते, तर धातूचा बेस यांत्रिक मजबुती, सहज माउंटिंग आणि ठिसूळ फ्रॅक्चरला प्रतिकारशक्ती प्रदान करतो. ॲल्युमिना लेयर ३६१ MPa ची फ्लेक्झुरल स्ट्रेंथ, १६ GPa ची विकर्स हार्डनेस आणि ८००°C पर्यंत थर्मल स्थिरता प्रदान करतो. लॅपिंग मशीन्स, प्लॅनेटरी ग्राइंडर्स आणि CMP उपकरणांमध्ये एकत्रीकरणासाठी मेटल बेसला माउंटिंग होल्स, लोकेटिंग पिन्स किंवा चुंबकीय गुणधर्मांसह सानुकूलित केले जाते.
-
सेमीकंडक्टर प्रोब स्टेशन उपकरणांसाठी सिरॅमिक सुटे भाग
कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे आकार देऊन आणि उच्च तापमानात सिंटर करून, त्यानंतर अचूक मशीनिंग व पॉलिशिंग केलेले सिरॅमिकचे सुटे भाग, त्यांच्या झीज-प्रतिरोध, गंज-प्रतिरोध, कमी औष्णिक प्रसरण आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कोणत्याही कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. सिरॅमिक्स अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, व्हॅक्यूम किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकतात.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
