-
Dyski ceramiczne z tlenku glinu o wysokiej czystości
Formowane metodą prasowania izostatycznego na zimno i spiekane w wysokiej temperaturze, a następnie precyzyjnie obrabiane i polerowane, ceramiczne części zamienne spełniają wszelkie rygorystyczne wymagania stawiane urządzeniom półprzewodnikowym, dzięki odporności na zużycie, odporności na korozję, niskiej rozszerzalności cieplnej i izolacji. Ceramika może pracować w wielu rodzajach urządzeń do produkcji półprzewodników przez długi czas w warunkach wysokiej temperatury, próżni lub gazów korozyjnych.
Wykonany z proszku tlenku glinu o wysokiej czystości, przetwarzanego metodą zimnego prasowania izostatycznego, spiekania w wysokiej temperaturze i precyzyjnego wykończenia, może osiągnąć tolerancję wymiarów do ±0,001 mm, wykończenie powierzchni Ra 0,1 i odporność na temperaturę 1600℃.
-
ramię ceramiczne z tlenku glinu
Formowane metodą prasowania izostatycznego na zimno i spiekane w wysokiej temperaturze, a następnie precyzyjnie obrabiane i polerowane, ceramiczne części zamienne spełniają wszelkie rygorystyczne wymagania stawiane urządzeniom półprzewodnikowym, dzięki odporności na zużycie, odporności na korozję, niskiej rozszerzalności cieplnej i izolacji. Ceramika może pracować w wielu rodzajach urządzeń do produkcji półprzewodników przez długi czas w warunkach wysokiej temperatury, próżni lub gazów korozyjnych.
Wykonany z proszku tlenku glinu o wysokiej czystości, przetwarzanego metodą zimnego prasowania izostatycznego, spiekania w wysokiej temperaturze i precyzyjnego wykończenia, może osiągnąć tolerancję wymiarów do ±0,001 mm, wykończenie powierzchni Ra 0,1 i odporność na temperaturę 1600℃.
-
Ceramiczne pierścienie izolacyjne Ceramiczne pierścienie ogniskujące
Formowane metodą prasowania izostatycznego na zimno i spiekane w wysokiej temperaturze, a następnie precyzyjnie obrabiane i polerowane, ceramiczne części zamienne spełniają wszelkie rygorystyczne wymagania stawiane urządzeniom półprzewodnikowym, dzięki odporności na zużycie, odporności na korozję, niskiej rozszerzalności cieplnej i izolacji. Ceramika może pracować w wielu rodzajach urządzeń do produkcji półprzewodników przez długi czas w warunkach wysokiej temperatury, próżni lub gazów korozyjnych.
Wykonany z proszku tlenku glinu o wysokiej czystości, przetwarzanego metodą zimnego prasowania izostatycznego, spiekania w wysokiej temperaturze i precyzyjnego wykończenia, może osiągnąć tolerancję wymiarów do ±0,001 mm, wykończenie powierzchni Ra 0,1 i odporność na temperaturę 1600℃.
-
Pierścień zaciskowy ceramiczny ST.CERA z tlenku glinu, ochrona izolacji
Formowane metodą prasowania izostatycznego na zimno i spiekane w wysokiej temperaturze, a następnie precyzyjnie obrabiane i polerowane, ceramiczne części zamienne spełniają wszelkie rygorystyczne wymagania stawiane urządzeniom półprzewodnikowym, dzięki odporności na zużycie, odporności na korozję, niskiej rozszerzalności cieplnej i izolacji. Ceramika może pracować w wielu rodzajach urządzeń do produkcji półprzewodników przez długi czas w warunkach wysokiej temperatury, próżni lub gazów korozyjnych.
Wykonany z proszku tlenku glinu o wysokiej czystości, przetwarzanego metodą zimnego prasowania izostatycznego, spiekania w wysokiej temperaturze i precyzyjnego wykończenia, może osiągnąć tolerancję wymiarów do ±0,001 mm, wykończenie powierzchni Ra 0,1 i odporność na temperaturę 1600℃.
-
Ramię robota z ceramiki glinowej o wysokiej czystości do obsługi płytek
Ceramiczne ramię robota firmy St.Cera z tlenku glinu zostało precyzyjnie zaprojektowane z 99,8% Al₂O₃ (tlenku glinu). Łączy ono wyjątkową wytrzymałość na zginanie (361 MPa), wysoką twardość (16 GPa) i niską gęstość (3,93 g/cm³), co pozwala na uzyskanie lekkiego, a jednocześnie sztywnego ramienia do transferu płytek półprzewodnikowych. Współczynnik rozszerzalności cieplnej tego materiału (7,2×10⁻⁶/°C) jest zbliżony do współczynnika rozszerzalności cieplnej krzemu, minimalizując niedopasowanie termiczne podczas obróbki.
-
Pierścienie ceramiczne o wysokiej precyzji z tlenku glinu, części ceramiczne
Formowane metodą prasowania izostatycznego na zimno i spiekane w wysokiej temperaturze, a następnie precyzyjnie obrabiane i polerowane, ceramiczne części zamienne spełniają wszelkie rygorystyczne wymagania stawiane urządzeniom półprzewodnikowym, dzięki odporności na zużycie, odporności na korozję, niskiej rozszerzalności cieplnej i izolacji. Ceramika może pracować w wielu rodzajach urządzeń do produkcji półprzewodników przez długi czas w warunkach wysokiej temperatury, próżni lub gazów korozyjnych.
Wykonany z proszku tlenku glinu o wysokiej czystości, przetwarzanego metodą zimnego prasowania izostatycznego, spiekania w wysokiej temperaturze i precyzyjnego wykończenia, może osiągnąć tolerancję wymiarów do ±0,001 mm, wykończenie powierzchni Ra 0,1 i odporność na temperaturę 1600℃.
-
Uchwyty ceramiczne ST.CERA do urządzeń półprzewodnikowych na zamówienie
Formowane metodą prasowania izostatycznego na zimno i spiekane w wysokiej temperaturze, a następnie precyzyjnie obrabiane i polerowane, ceramiczne części zamienne spełniają wszelkie rygorystyczne wymagania stawiane urządzeniom półprzewodnikowym, dzięki odporności na zużycie, odporności na korozję, niskiej rozszerzalności cieplnej i izolacji. Ceramika może pracować w wielu rodzajach urządzeń do produkcji półprzewodników przez długi czas w warunkach wysokiej temperatury, próżni lub gazów korozyjnych.
Wykonany z proszku tlenku glinu o wysokiej czystości, przetwarzanego metodą zimnego prasowania izostatycznego, spiekania w wysokiej temperaturze i precyzyjnego wykończenia, może osiągnąć tolerancję wymiarów do ±0,001 mm, wykończenie powierzchni Ra 0,1 i odporność na temperaturę 1600℃.
-
Ceramiczny efektor końcowy z węglika krzemu (SiC) – wysoka sztywność do obróbki płytek w wysokiej temperaturze
Ceramiczny efektor końcowy SiC firmy St.Cera jest wytwarzany z węglika krzemu o wysokiej czystości (zawartość SiC 99,72%, wolny Si 0,05%) z materiału wsadowego S1111. Oferuje on wyjątkowe właściwości mechaniczne: wytrzymałość na zginanie 449 MPa (zmierzona), moduł sprężystości 457 GPa (zmierzony) i twardość Vickersa 25–28 GPa (typowa). Niska gęstość (typowa 3,10–3,15 g/cm³) zapewnia wysoką sztywność właściwą, idealną dla szybkich robotów do transferu płytek. Dzięki przewodności cieplnej 120–150 W/m·K (typowo) i współczynnikowi rozszerzalności cieplnej 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typowo), ten efektor końcowy skutecznie rozprasza ciepło i zachowuje stabilność wymiarową podczas pracy w wysokich temperaturach (do 1600–1700°C bez obciążenia). Czarno-szary kolor i zerowa absorpcja wody gwarantują kompatybilność z pomieszczeniami czystymi.
-
Uchwyt próżniowy na bazie węglika krzemu (SiC) do środowisk o wysokiej temperaturze i plazmie
Ceramiczny uchwyt wiertniczy St.Cera na bazie SiC jest wytwarzany z węglika krzemu o wysokiej czystości (partia S1111, SiC 99,72%, wolny Si 0,05%). Charakteryzuje się wytrzymałością na zginanie 449 MPa, odpornością na pękanie 3,12 MPa·m¹/² i modułem sprężystości 457 GPa. Typowa przewodność cieplna materiału (120–150 W/m·K) i niska rozszerzalność cieplna (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) umożliwiają szybkie narastanie temperatury i minimalne odkształcenia płytki podczas cykli termicznych. Uchwyt może być skonfigurowany jako porowaty uchwyt próżniowy (równomierny przepływ gazu) lub standardowy uchwyt rowkowany. Maksymalna temperatura użytkowania wynosząca 1600–1700°C (bez obciążenia) i wyjątkowa odporność na erozję plazmową sprawiają, że uchwyt ten idealnie nadaje się do obróbki płytek w wysokiej temperaturze (wyżarzanie, RTP) oraz do agresywnych komór trawienia, w których uchwyty z tlenku glinu ulegają degradacji.
-
Sprzęt półprzewodnikowy Części zamienne ceramiczne Nośniki ceramiczne
Formowane metodą prasowania izostatycznego na zimno i spiekane w wysokiej temperaturze, a następnie precyzyjnie obrabiane i polerowane, ceramiczne części zamienne spełniają wszelkie rygorystyczne wymagania stawiane urządzeniom półprzewodnikowym, dzięki odporności na zużycie, odporności na korozję, niskiej rozszerzalności cieplnej i izolacji. Ceramika może pracować w wielu rodzajach urządzeń do produkcji półprzewodników przez długi czas w warunkach wysokiej temperatury, próżni lub gazów korozyjnych.
Wykonany z proszku tlenku glinu o wysokiej czystości, przetwarzanego metodą zimnego prasowania izostatycznego, spiekania w wysokiej temperaturze i precyzyjnego wykończenia, może osiągnąć tolerancję wymiarów do ±0,001 mm, wykończenie powierzchni Ra 0,1 i odporność na temperaturę 1600℃.
-
Pierścień szlifierski z ceramiki aluminiowej z metalowym podkładem do zastosowań w docieraniu o wysokiej sztywności
Pierścień mielący z tlenku glinu na bazie metalu firmy St.Cera łączy ceramiczną warstwę ścierną z tlenku glinu o wysokiej czystości (99,8% Al₂O₃) z precyzyjnie obrobionym metalowym podkładem (zazwyczaj z aluminium lub stali nierdzewnej). Ta hybrydowa konstrukcja zapewnia wyjątkową odporność na zużycie i obojętność chemiczną ceramiki na powierzchni mielącej, a metalowa podstawa zwiększa wytrzymałość mechaniczną, łatwość montażu i odporność na kruche pękanie. Warstwa tlenku glinu oferuje wytrzymałość na zginanie 361 MPa, twardość Vickersa 16 GPa i stabilność termiczną do 800°C. Metalowa podstawa jest dostosowana do montażu z otworami montażowymi, kołkami ustalającymi lub właściwościami magnetycznymi, co umożliwia jej integrację z docierarkami, szlifierkami planetarnymi i urządzeniami CMP.
-
Ceramiczne części zamienne do urządzeń stacji sond półprzewodnikowych
Formowane metodą prasowania izostatycznego na zimno i spiekane w wysokiej temperaturze, a następnie precyzyjnie obrabiane i polerowane, ceramiczne części zamienne spełniają wszelkie rygorystyczne wymagania stawiane urządzeniom półprzewodnikowym, dzięki odporności na zużycie, odporności na korozję, niskiej rozszerzalności cieplnej i izolacji. Ceramika może pracować w wielu rodzajach urządzeń do produkcji półprzewodników przez długi czas w warunkach wysokiej temperatury, próżni lub gazów korozyjnych.
Wykonany z proszku tlenku glinu o wysokiej czystości, przetwarzanego metodą zimnego prasowania izostatycznego, spiekania w wysokiej temperaturze i precyzyjnego wykończenia, może osiągnąć tolerancję wymiarów do ±0,001 mm, wykończenie powierzchni Ra 0,1 i odporność na temperaturę 1600℃.
