-
Diosgan ceirmeag alùmana le fìor-ghlanachd àrd
Air an cruthachadh le brùthadh isostatach fuar agus air an sintearachd fo theodhachd àrd, an uairsin air an innealachadh gu mionaideach agus air an snasadh, faodaidh na pàirtean a bharrachd ceirmeag coinneachadh ri riatanasan teann uidheamachd leth-chonnsachaidh leis na feartan aige de strì an aghaidh caitheamh, strì an aghaidh creimeadh, leudachadh teirmeach ìosal, agus insulation. Faodaidh ceirmeag obrachadh ann an iomadh seòrsa uidheamachd cinneasachaidh leth-chonnsachaidh le suidheachadh teòthachd àrd, falamh no gas creimneach airson ùine mhòr.
Air a dhèanamh à pùdar alumina àrd-ghlanachd, air a phròiseasadh le brùthadh isostatach fuar, sintering aig teòthachd àrd agus crìochnachadh mionaideach, dh’ fhaodadh e fulangas meud a ruighinn gu ± 0.001 mm, crìochnachadh uachdar Ra 0.1, strì an aghaidh teòthachd 1600 ℃.
-
gàirdean ceirmeag alumina
Air an cruthachadh le brùthadh isostatach fuar agus air an sintearachd fo theodhachd àrd, an uairsin air an innealachadh gu mionaideach agus air an snasadh, faodaidh na pàirtean a bharrachd ceirmeag coinneachadh ri riatanasan teann uidheamachd leth-chonnsachaidh leis na feartan aige de strì an aghaidh caitheamh, strì an aghaidh creimeadh, leudachadh teirmeach ìosal, agus insulation. Faodaidh ceirmeag obrachadh ann an iomadh seòrsa uidheamachd cinneasachaidh leth-chonnsachaidh le suidheachadh teòthachd àrd, falamh no gas creimneach airson ùine mhòr.
Air a dhèanamh à pùdar alumina àrd-ghlanachd, air a phròiseasadh le brùthadh isostatach fuar, sintering aig teòthachd àrd agus crìochnachadh mionaideach, dh’ fhaodadh e fulangas meud a ruighinn gu ± 0.001 mm, crìochnachadh uachdar Ra 0.1, strì an aghaidh teòthachd 1600 ℃.
-
Fàinnean Insaladh Ceirmeach Fàinnean Fòcas Ceirmeach
Air an cruthachadh le brùthadh isostatach fuar agus air an sintearachd fo theodhachd àrd, an uairsin air an innealachadh gu mionaideach agus air an snasadh, faodaidh na pàirtean a bharrachd ceirmeag coinneachadh ri riatanasan teann uidheamachd leth-chonnsachaidh leis na feartan aige de strì an aghaidh caitheamh, strì an aghaidh creimeadh, leudachadh teirmeach ìosal, agus insulation. Faodaidh ceirmeag obrachadh ann an iomadh seòrsa uidheamachd cinneasachaidh leth-chonnsachaidh le suidheachadh teòthachd àrd, falamh no gas creimneach airson ùine mhòr.
Air a dhèanamh à pùdar alumina àrd-ghlanachd, air a phròiseasadh le brùthadh isostatach fuar, sintering aig teòthachd àrd agus crìochnachadh mionaideach, dh’ fhaodadh e fulangas meud a ruighinn gu ± 0.001 mm, crìochnachadh uachdar Ra 0.1, strì an aghaidh teòthachd 1600 ℃.
-
Dìon Insaladh Fàinne Clamp Ceirmeach Alumina ST.CERA
Air an cruthachadh le brùthadh isostatach fuar agus air an sintearachd fo theodhachd àrd, an uairsin air an innealachadh gu mionaideach agus air an snasadh, faodaidh na pàirtean a bharrachd ceirmeag coinneachadh ri riatanasan teann uidheamachd leth-chonnsachaidh leis na feartan aige de strì an aghaidh caitheamh, strì an aghaidh creimeadh, leudachadh teirmeach ìosal, agus insulation. Faodaidh ceirmeag obrachadh ann an iomadh seòrsa uidheamachd cinneasachaidh leth-chonnsachaidh le suidheachadh teòthachd àrd, falamh no gas creimneach airson ùine mhòr.
Air a dhèanamh à pùdar alumina àrd-ghlanachd, air a phròiseasadh le brùthadh isostatach fuar, sintering aig teòthachd àrd agus crìochnachadh mionaideach, dh’ fhaodadh e fulangas meud a ruighinn gu ± 0.001 mm, crìochnachadh uachdar Ra 0.1, strì an aghaidh teòthachd 1600 ℃.
-
Gàirdean Robot Ceirmeag Alumina Àrd-ghlanachd airson Làimhseachadh Wafer
Tha gàirdean robotach ceirmeag alumina St.Cera air a dhèanamh gu mionaideach bho 99.8% Al₂O₃ (alumina) àrd-ghlan. Tha e a’ cothlamadh neart lùbadh air leth (361 MPa), cruas àrd (16 GPa), agus dùmhlachd ìosal (3.93 g/cm³), agus mar thoradh air sin tha gàirdean aotrom ach cruaidh airson gluasad wafer leth-chonnsachaidh. Tha co-èifeachd leudachaidh teirmeach an stuth (7.2 × 10⁻⁶/°C) a’ freagairt gu dlùth ri silicon, a’ lughdachadh mì-chothromachadh teirmeach rè giollachd.
-
Pàirtean Ceirmeag Fàinne Ceirmeag Àrd-chruinneas Alumina
Air an cruthachadh le brùthadh isostatach fuar agus air an sintearachd fo theodhachd àrd, an uairsin air an innealachadh gu mionaideach agus air an snasadh, faodaidh na pàirtean a bharrachd ceirmeag coinneachadh ri riatanasan teann uidheamachd leth-chonnsachaidh leis na feartan aige de strì an aghaidh caitheamh, strì an aghaidh creimeadh, leudachadh teirmeach ìosal, agus insulation. Faodaidh ceirmeag obrachadh ann an iomadh seòrsa uidheamachd cinneasachaidh leth-chonnsachaidh le suidheachadh teòthachd àrd, falamh no gas creimneach airson ùine mhòr.
Air a dhèanamh à pùdar alumina àrd-ghlanachd, air a phròiseasadh le brùthadh isostatach fuar, sintering aig teòthachd àrd agus crìochnachadh mionaideach, dh’ fhaodadh e fulangas meud a ruighinn gu ± 0.001 mm, crìochnachadh uachdar Ra 0.1, strì an aghaidh teòthachd 1600 ℃.
-
Chucks Ceirmeach Uidheam Semiconductor Gnàthaichte ST.CERA
Air an cruthachadh le brùthadh isostatach fuar agus air an sintearachd fo theodhachd àrd, an uairsin air an innealachadh gu mionaideach agus air an snasadh, faodaidh na pàirtean a bharrachd ceirmeag coinneachadh ri riatanasan teann uidheamachd leth-chonnsachaidh leis na feartan aige de strì an aghaidh caitheamh, strì an aghaidh creimeadh, leudachadh teirmeach ìosal, agus insulation. Faodaidh ceirmeag obrachadh ann an iomadh seòrsa uidheamachd cinneasachaidh leth-chonnsachaidh le suidheachadh teòthachd àrd, falamh no gas creimneach airson ùine mhòr.
Air a dhèanamh à pùdar alumina àrd-ghlanachd, air a phròiseasadh le brùthadh isostatach fuar, sintering aig teòthachd àrd agus crìochnachadh mionaideach, dh’ fhaodadh e fulangas meud a ruighinn gu ± 0.001 mm, crìochnachadh uachdar Ra 0.1, strì an aghaidh teòthachd 1600 ℃.
-
Èifeachdaiche Deireadh Ceirmeach Silicon Carbide (SiC) – Stiùireachd Àrd airson Làimhseachadh Wafer aig Teòthachd Àrd
Tha buaidh-crìche ceirmeag SiC St.Cera air a dhèanamh à carbide silicon àrd-ghlanachd (susbaint SiC 99.72%, Si saor 0.05%) a’ cleachdadh stuth baidse S1111. Tha feartan meacanaigeach air leth aige: neart lùbadh 449 MPa (air a thomhas), modulas leaghan 457 GPa (air a thomhas), agus cruas Vickers 25–28 GPa (àbhaisteach). Tha an dùmhlachd ìosal (3.10–3.15 g/cm³, àbhaisteach) a’ toirt seachad stiffness sònraichte àrd, air leth freagarrach airson robotaichean gluasaid wafer aig astar luath. Le seoltachd teirmeach de 120–150 W/m·K (àbhaisteach) agus co-èifeachd leudachaidh teirmeach de 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ (àbhaisteach), bidh an buaidh-crìche seo a’ sgaoileadh teas gu h-èifeachdach agus a’ cumail seasmhachd tomhasach rè làimhseachadh aig teòthachd àrd (suas gu 1600–1700 ° C, gun luchd). Tha an dath dubh/liath agus neoni gabhail a-steach uisge a’ dèanamh cinnteach gu bheil e co-chòrdalach ri seòmraichean glan.
-
Chuck falamh stèidhichte air sileacon carbide (SiC) airson àrainneachdan àrd-teòthachd & plasma
Tha an chuck ceirmeag stèidhichte air SiC aig St.Cera air a dhèanamh à carbide silicon àrd-ghlanachd (baidse S1111, SiC 99.72%, Si saor 0.05%). Tha e a’ lìbhrigeadh neart lùbadh tomhaiste de 449 MPa, cruas brisidh de 3.12 MPa·m¹/², agus modúl leaghan de 457 GPa. Tha an giùlan teirmeach àbhaisteach aig an stuth (120–150 W/m·K) agus leudachadh teirmeach ìosal (4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃) a’ comasachadh rampadh teòthachd luath agus glè bheag de lùbadh wafer rè cearcall teirmeach. Faodar an chuck a rèiteachadh mar chuck falamh porous (sruthadh gas aonfhoirmeil) no chuck àbhaisteach grooved. Le teòthachd cleachdaidh as àirde de 1600–1700°C (gun luchd) agus strì an aghaidh bleith plasma air leth, tha an chuck seo air leth freagarrach airson giullachd wafer aig teòthachd àrd (annealing, RTP) agus seòmraichean etch ionnsaigheach far a bheil chucks alumina a’ crìonadh.
-
Pàirtean a bharrachd ceirmeag uidheamachd leth-sheoltaiche giùlan ceirmeag
Air an cruthachadh le brùthadh isostatach fuar agus air an sintearachd fo theodhachd àrd, an uairsin air an innealachadh gu mionaideach agus air an snasadh, faodaidh na pàirtean a bharrachd ceirmeag coinneachadh ri riatanasan teann uidheamachd leth-chonnsachaidh leis na feartan aige de strì an aghaidh caitheamh, strì an aghaidh creimeadh, leudachadh teirmeach ìosal, agus insulation. Faodaidh ceirmeag obrachadh ann an iomadh seòrsa uidheamachd cinneasachaidh leth-chonnsachaidh le suidheachadh teòthachd àrd, falamh no gas creimneach airson ùine mhòr.
Air a dhèanamh à pùdar alumina àrd-ghlanachd, air a phròiseasadh le brùthadh isostatach fuar, sintering aig teòthachd àrd agus crìochnachadh mionaideach, dh’ fhaodadh e fulangas meud a ruighinn gu ± 0.001 mm, crìochnachadh uachdar Ra 0.1, strì an aghaidh teòthachd 1600 ℃.
-
Fàinne Bleith Ceirmeag Alumina le Cùl-taic Meatailt airson Tagraidhean Lapadh Àrd-Chruaidheachd
Tha fàinne bleith alumina stèidhichte air meatailt St.Cera a’ cothlamadh sreath caitheamh ceirmeag alumina àrd-ghlanachd (99.8% Al₂O₃) le cùl-taic meatailt air a innealachadh gu mionaideach (mar as trice alùmanum no stàilinn gun smal). Tha an dealbhadh measgaichte seo a’ toirt seachad an aghaidh caitheamh agus neo-sheasmhachd cheimigeach sònraichte a tha aig ceirmeag air an uachdar bleith, agus tha am bonn meatailt a’ cur neart meacanaigeach, stàladh furasta, agus strì an aghaidh brisidh brisg ris. Tha an sreath alumina a’ tabhann neart lùbadh de 361 MPa, cruas Vickers de 16 GPa, agus seasmhachd teirmeach suas gu 800°C. Tha am bonn meatailt air a ghnàthachadh le tuill sreap, prìnichean suidheachaidh, no feartan magnetach airson amalachadh ann an innealan lapaidh, bleithichean planaid, agus uidheamachd CMP.
-
Pàirtean a bharrachd ceirmeag airson uidheamachd stèisean sgrùdaidh leth-chonnsachaidh
Air an cruthachadh le brùthadh isostatach fuar agus air an sintearachd fo theodhachd àrd, an uairsin air an innealachadh gu mionaideach agus air an snasadh, faodaidh na pàirtean a bharrachd ceirmeag coinneachadh ri riatanasan teann uidheamachd leth-chonnsachaidh leis na feartan aige de strì an aghaidh caitheamh, strì an aghaidh creimeadh, leudachadh teirmeach ìosal, agus insulation. Faodaidh ceirmeag obrachadh ann an iomadh seòrsa uidheamachd cinneasachaidh leth-chonnsachaidh le suidheachadh teòthachd àrd, falamh no gas creimneach airson ùine mhòr.
Air a dhèanamh à pùdar alumina àrd-ghlanachd, air a phròiseasadh le brùthadh isostatach fuar, sintering aig teòthachd àrd agus crìochnachadh mionaideach, dh’ fhaodadh e fulangas meud a ruighinn gu ± 0.001 mm, crìochnachadh uachdar Ra 0.1, strì an aghaidh teòthachd 1600 ℃.
