-
ઉચ્ચ શુદ્ધતા સાથે એલ્યુમિના સિરામિક ડિસ્ક
ઠંડા આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ દ્વારા બનાવવામાં આવે છે અને ઉચ્ચ તાપમાન હેઠળ સિન્ટર કરવામાં આવે છે, પછી ચોકસાઇથી મશીન અને પોલિશ્ડ કરવામાં આવે છે, સિરામિક સ્પેરપાર્ટ્સ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની કોઈપણ કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે જેમાં વસ્ત્રો પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ અને ઇન્સ્યુલેશનની સુવિધાઓ છે. સિરામિક્સ ઘણા પ્રકારના સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં લાંબા સમય સુધી ઉચ્ચ તાપમાન, વેક્યુમ અથવા કાટ લાગતા ગેસની સ્થિતિમાં કામ કરી શકે છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના પાવડરમાંથી બનાવેલ, કોલ્ડ આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ, ઉચ્ચ તાપમાન સિન્ટરિંગ અને ચોકસાઇ ફિનિશિંગ દ્વારા પ્રક્રિયા કરાયેલ, તે પરિમાણ સહિષ્ણુતા ±0.001 મીમી, સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra 0.1, તાપમાન પ્રતિકાર 1600℃ સુધી પહોંચી શકે છે.
-
એલ્યુમિના સિરામિક આર્મ
ઠંડા આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ દ્વારા બનાવવામાં આવે છે અને ઉચ્ચ તાપમાન હેઠળ સિન્ટર કરવામાં આવે છે, પછી ચોકસાઇથી મશીન અને પોલિશ્ડ કરવામાં આવે છે, સિરામિક સ્પેરપાર્ટ્સ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની કોઈપણ કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે જેમાં વસ્ત્રો પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ અને ઇન્સ્યુલેશનની સુવિધાઓ છે. સિરામિક્સ ઘણા પ્રકારના સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં લાંબા સમય સુધી ઉચ્ચ તાપમાન, વેક્યુમ અથવા કાટ લાગતા ગેસની સ્થિતિમાં કામ કરી શકે છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના પાવડરમાંથી બનાવેલ, કોલ્ડ આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ, ઉચ્ચ તાપમાન સિન્ટરિંગ અને ચોકસાઇ ફિનિશિંગ દ્વારા પ્રક્રિયા કરાયેલ, તે પરિમાણ સહિષ્ણુતા ±0.001 મીમી, સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra 0.1, તાપમાન પ્રતિકાર 1600℃ સુધી પહોંચી શકે છે.
-
સિરામિક ઇન્સ્યુલેશન રિંગ્સ સિરામિક ફોકસિંગ રિંગ્સ
ઠંડા આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ દ્વારા બનાવવામાં આવે છે અને ઉચ્ચ તાપમાન હેઠળ સિન્ટર કરવામાં આવે છે, પછી ચોકસાઇથી મશીન અને પોલિશ્ડ કરવામાં આવે છે, સિરામિક સ્પેરપાર્ટ્સ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની કોઈપણ કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે જેમાં વસ્ત્રો પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ અને ઇન્સ્યુલેશનની સુવિધાઓ છે. સિરામિક્સ ઘણા પ્રકારના સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં લાંબા સમય સુધી ઉચ્ચ તાપમાન, વેક્યુમ અથવા કાટ લાગતા ગેસની સ્થિતિમાં કામ કરી શકે છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના પાવડરમાંથી બનાવેલ, કોલ્ડ આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ, ઉચ્ચ તાપમાન સિન્ટરિંગ અને ચોકસાઇ ફિનિશિંગ દ્વારા પ્રક્રિયા કરાયેલ, તે પરિમાણ સહિષ્ણુતા ±0.001 મીમી, સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra 0.1, તાપમાન પ્રતિકાર 1600℃ સુધી પહોંચી શકે છે.
-
ST.CERA એલ્યુમિના સિરામિક ક્લેમ્પ રીંગ ઇન્સ્યુલેશન પ્રોટેક્શન
ઠંડા આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ દ્વારા બનાવવામાં આવે છે અને ઉચ્ચ તાપમાન હેઠળ સિન્ટર કરવામાં આવે છે, પછી ચોકસાઇથી મશીન અને પોલિશ્ડ કરવામાં આવે છે, સિરામિક સ્પેરપાર્ટ્સ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની કોઈપણ કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે જેમાં વસ્ત્રો પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ અને ઇન્સ્યુલેશનની સુવિધાઓ છે. સિરામિક્સ ઘણા પ્રકારના સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં લાંબા સમય સુધી ઉચ્ચ તાપમાન, વેક્યુમ અથવા કાટ લાગતા ગેસની સ્થિતિમાં કામ કરી શકે છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના પાવડરમાંથી બનાવેલ, કોલ્ડ આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ, ઉચ્ચ તાપમાન સિન્ટરિંગ અને ચોકસાઇ ફિનિશિંગ દ્વારા પ્રક્રિયા કરાયેલ, તે પરિમાણ સહિષ્ણુતા ±0.001 મીમી, સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra 0.1, તાપમાન પ્રતિકાર 1600℃ સુધી પહોંચી શકે છે.
-
વેફર હેન્ડલિંગ માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના સિરામિક રોબોટ આર્મ
સેન્ટ.સેરાનો એલ્યુમિના સિરામિક રોબોટ આર્મ 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા Al₂O₃ (એલ્યુમિના) થી ચોકસાઇ-એન્જિનિયર્ડ છે. તે અસાધારણ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361 MPa), ઉચ્ચ કઠિનતા (16 GPa) અને ઓછી ઘનતા (3.93 g/cm³) ને જોડે છે, જેના પરિણામે સેમિકન્ડક્ટર વેફર ટ્રાન્સફર માટે હળવા છતાં કઠોર આર્મ બને છે. સામગ્રીનો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક (7.2×10⁻⁶/°C) સિલિકોન સાથે નજીકથી મેળ ખાય છે, પ્રક્રિયા દરમિયાન થર્મલ મેળ ખાતો નથી.
-
એલ્યુમિના હાઇ-પ્રિસિઝન સિરામિક રીંગ સિરામિક ભાગો
ઠંડા આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ દ્વારા બનાવવામાં આવે છે અને ઉચ્ચ તાપમાન હેઠળ સિન્ટર કરવામાં આવે છે, પછી ચોકસાઇથી મશીન અને પોલિશ્ડ કરવામાં આવે છે, સિરામિક સ્પેરપાર્ટ્સ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની કોઈપણ કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે જેમાં વસ્ત્રો પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ અને ઇન્સ્યુલેશનની સુવિધાઓ છે. સિરામિક્સ ઘણા પ્રકારના સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં લાંબા સમય સુધી ઉચ્ચ તાપમાન, વેક્યુમ અથવા કાટ લાગતા ગેસની સ્થિતિમાં કામ કરી શકે છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના પાવડરમાંથી બનાવેલ, કોલ્ડ આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ, ઉચ્ચ તાપમાન સિન્ટરિંગ અને ચોકસાઇ ફિનિશિંગ દ્વારા પ્રક્રિયા કરાયેલ, તે પરિમાણ સહિષ્ણુતા ±0.001 મીમી, સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra 0.1, તાપમાન પ્રતિકાર 1600℃ સુધી પહોંચી શકે છે.
-
ST.CERA કસ્ટમાઇઝ્ડ સેમિકન્ડક્ટર ઇક્વિપમેન્ટ સિરામિક ચક્સ
ઠંડા આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ દ્વારા બનાવવામાં આવે છે અને ઉચ્ચ તાપમાન હેઠળ સિન્ટર કરવામાં આવે છે, પછી ચોકસાઇથી મશીન અને પોલિશ્ડ કરવામાં આવે છે, સિરામિક સ્પેરપાર્ટ્સ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની કોઈપણ કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે જેમાં વસ્ત્રો પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ અને ઇન્સ્યુલેશનની સુવિધાઓ છે. સિરામિક્સ ઘણા પ્રકારના સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં લાંબા સમય સુધી ઉચ્ચ તાપમાન, વેક્યુમ અથવા કાટ લાગતા ગેસની સ્થિતિમાં કામ કરી શકે છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના પાવડરમાંથી બનાવેલ, કોલ્ડ આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ, ઉચ્ચ તાપમાન સિન્ટરિંગ અને ચોકસાઇ ફિનિશિંગ દ્વારા પ્રક્રિયા કરાયેલ, તે પરિમાણ સહિષ્ણુતા ±0.001 મીમી, સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra 0.1, તાપમાન પ્રતિકાર 1600℃ સુધી પહોંચી શકે છે.
-
સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર - ઉચ્ચ-તાપમાન વેફર હેન્ડલિંગ માટે ઉચ્ચ કઠિનતા
સેન્ટ.સેરાનું SiC સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર S1111 બેચ મટિરિયલનો ઉપયોગ કરીને ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC સામગ્રી 99.72%, મુક્ત Si 0.05%) માંથી બનાવવામાં આવે છે. તે અસાધારણ યાંત્રિક ગુણધર્મો પ્રદાન કરે છે: ફ્લેક્સરલ તાકાત 449 MPa (માપાયેલ), સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ 457 GPa (માપાયેલ), અને વિકર્સ કઠિનતા 25–28 GPa (લાક્ષણિક). ઓછી ઘનતા (3.10–3.15 g/cm³, લાક્ષણિક) ઉચ્ચ ચોક્કસ કઠિનતા પ્રદાન કરે છે, જે હાઇ-સ્પીડ વેફર ટ્રાન્સફર રોબોટ્સ માટે આદર્શ છે. 120–150 W/m·K (લાક્ષણિક) ની થર્મલ વાહકતા અને 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (લાક્ષણિક) ના થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક સાથે, આ એન્ડ ઇફેક્ટર અસરકારક રીતે ગરમીને દૂર કરે છે અને ઉચ્ચ-તાપમાન હેન્ડલિંગ દરમિયાન પરિમાણીય સ્થિરતા જાળવી રાખે છે (1600–1700°C સુધી, કોઈ ભાર નથી). કાળો/ગ્રે રંગ અને શૂન્ય પાણી શોષણ સ્વચ્છ રૂમ સુસંગતતા સુનિશ્ચિત કરે છે.
-
ઉચ્ચ-તાપમાન અને પ્લાઝ્મા વાતાવરણ માટે સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) આધારિત વેક્યુમ ચક
સેન્ટ.સેરાનું SiC-આધારિત સિરામિક ચક ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ (બેચ S1111, SiC 99.72%, મફત Si 0.05%) માંથી બનાવવામાં આવે છે. તે 449 MPa ની માપેલ ફ્લેક્સરલ તાકાત, 3.12 MPa·m¹/² ની ફ્રેક્ચર ટફનેસ અને 457 GPa નું સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ પ્રદાન કરે છે. સામગ્રીની લાક્ષણિક થર્મલ વાહકતા (120–150 W/m·K) અને ઓછી થર્મલ વિસ્તરણ (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) થર્મલ સાયકલિંગ દરમિયાન ઝડપી તાપમાન રેમ્પિંગ અને ન્યૂનતમ વેફર વોરપેજને સક્ષમ કરે છે. ચકને છિદ્રાળુ વેક્યુમ ચક (યુનિફોર્મ ગેસ ફ્લો) અથવા ગ્રુવ્ડ સ્ટાન્ડર્ડ ચક તરીકે ગોઠવી શકાય છે. 1600–1700°C (લોડ વિના) ના મહત્તમ ઉપયોગ તાપમાન અને અપવાદરૂપ પ્લાઝ્મા ઇરોશન પ્રતિકાર સાથે, આ ચક ઉચ્ચ-તાપમાન વેફર પ્રોસેસિંગ (એનિલિંગ, RTP) અને આક્રમક એચ ચેમ્બર માટે આદર્શ છે જ્યાં એલ્યુમિના ચક ડિગ્રેડ થાય છે.
-
સેમિકન્ડક્ટર સાધનો સિરામિક સ્પેર પાર્ટ્સ સિરામિક કેરિયર્સ
ઠંડા આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ દ્વારા બનાવવામાં આવે છે અને ઉચ્ચ તાપમાન હેઠળ સિન્ટર કરવામાં આવે છે, પછી ચોકસાઇથી મશીન અને પોલિશ્ડ કરવામાં આવે છે, સિરામિક સ્પેરપાર્ટ્સ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની કોઈપણ કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે જેમાં વસ્ત્રો પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ અને ઇન્સ્યુલેશનની સુવિધાઓ છે. સિરામિક્સ ઘણા પ્રકારના સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં લાંબા સમય સુધી ઉચ્ચ તાપમાન, વેક્યુમ અથવા કાટ લાગતા ગેસની સ્થિતિમાં કામ કરી શકે છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના પાવડરમાંથી બનાવેલ, કોલ્ડ આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ, ઉચ્ચ તાપમાન સિન્ટરિંગ અને ચોકસાઇ ફિનિશિંગ દ્વારા પ્રક્રિયા કરાયેલ, તે પરિમાણ સહિષ્ણુતા ±0.001 મીમી, સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra 0.1, તાપમાન પ્રતિકાર 1600℃ સુધી પહોંચી શકે છે.
-
ઉચ્ચ-કઠોરતાવાળા લેપિંગ એપ્લિકેશનો માટે મેટલ-બેક્ડ એલ્યુમિના સિરામિક ગ્રાઇન્ડીંગ રિંગ
સેન્ટ સેરાની ધાતુ આધારિત એલ્યુમિના ગ્રાઇન્ડીંગ રીંગ ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના (99.8% Al₂O₃) સિરામિક વસ્ત્રોના સ્તરને ચોકસાઇ-મશીનવાળા મેટલ બેકિંગ (સામાન્ય રીતે એલ્યુમિનિયમ અથવા સ્ટેનલેસ સ્ટીલ) સાથે જોડે છે. આ હાઇબ્રિડ ડિઝાઇન ગ્રાઇન્ડીંગ સપાટી પર સિરામિકની અસાધારણ વસ્ત્રો પ્રતિકાર અને રાસાયણિક જડતા પ્રદાન કરે છે, જ્યારે મેટલ બેઝ યાંત્રિક શક્તિ, સરળ માઉન્ટિંગ અને બરડ ફ્રેક્ચર સામે પ્રતિકાર ઉમેરે છે. એલ્યુમિના લેયર 361 MPa ની ફ્લેક્સરલ તાકાત, 16 GPa ની વિકર્સ કઠિનતા અને 800°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. લેપિંગ મશીનો, પ્લેનેટરી ગ્રાઇન્ડર્સ અને CMP સાધનોમાં એકીકરણ માટે મેટલ બેઝને માઉન્ટિંગ હોલ્સ, લોકેટિંગ પિન અથવા ચુંબકીય ગુણધર્મો સાથે કસ્ટમાઇઝ કરવામાં આવે છે.
-
સેમિકન્ડક્ટર પ્રોબ સ્ટેશન સાધનો માટે સિરામિક સ્પેરપાર્ટ્સ
ઠંડા આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ દ્વારા બનાવવામાં આવે છે અને ઉચ્ચ તાપમાન હેઠળ સિન્ટર કરવામાં આવે છે, પછી ચોકસાઇથી મશીન અને પોલિશ્ડ કરવામાં આવે છે, સિરામિક સ્પેરપાર્ટ્સ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની કોઈપણ કડક જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે જેમાં વસ્ત્રો પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ અને ઇન્સ્યુલેશનની સુવિધાઓ છે. સિરામિક્સ ઘણા પ્રકારના સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં લાંબા સમય સુધી ઉચ્ચ તાપમાન, વેક્યુમ અથવા કાટ લાગતા ગેસની સ્થિતિમાં કામ કરી શકે છે.
ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના પાવડરમાંથી બનાવેલ, કોલ્ડ આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ, ઉચ્ચ તાપમાન સિન્ટરિંગ અને ચોકસાઇ ફિનિશિંગ દ્વારા પ્રક્રિયા કરાયેલ, તે પરિમાણ સહિષ્ણુતા ±0.001 મીમી, સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra 0.1, તાપમાન પ્રતિકાર 1600℃ સુધી પહોંચી શકે છે.
