-
Aluminiumoxid Keramik Scheiwen mat héijer Rengheet
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Aluminiumoxid Keramik Aarm
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Keramik Isolatiounsréng Keramik Fokuséierungsréng
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA Aluminiumoxid Keramik Klemmring Isolatiounsschutz
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Héichreine Aluminiumoxid Keramik Roboterarm fir Waferbehandlung
Den Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarm vu St.Cera ass präzis aus 99,8% héichreinegem Al₂O₃ (Aluminiumoxid) hiergestallt. Hie kombinéiert aussergewéinlech Biegefestigkeit (361 MPa), héich Häert (16 GPa) an eng niddreg Dicht (3,93 g/cm³), wat zu engem liichte awer steife Aarm fir den Transfer vu Hallefleederwafer féiert. Den thermeschen Ausdehnungskoeffizient vum Material (7,2×10⁻⁶/°C) passt gutt zum Silizium, wouduerch d'thermesch Ofwäichung während der Veraarbechtung miniméiert gëtt.
-
Aluminiumoxid Héichpräzisiouns Keramikring Keramikdeeler
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséiert Semiconductor Equipment Keramik Chucks
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Siliziumkarbid (SiC) Keramik-Endeffektor – Héich Steifheet fir d'Handhabung vu Waferen bei héijen Temperaturen
Den SiC Keramik-Endeffektor vu St.Cera gëtt aus héichreinem Siliziumcarbid (SiC-Gehalt 99,72%, fräit Si 0,05%) hiergestallt andeems en de S1111 Batchmaterial benotzt. En bitt aussergewéinlech mechanesch Eegeschaften: Biegefestigkeit 449 MPa (gemooss), Elastizitéitsmodul 457 GPa (gemooss) a Vickers-Härte 25–28 GPa (typesch). Déi niddreg Dicht (3,10–3,15 g/cm³, typesch) suergt fir eng héich spezifesch Steifheet, ideal fir Héichgeschwindegkeets-Wafer-Transferroboter. Mat enger thermescher Leetfäegkeet vun 120–150 W/m·K (typesch) an engem thermeschen Ausdehnungskoeffizient vu 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typesch) leet dësen Endeffektor effektiv d'Hëtzt of a behält seng dimensional Stabilitéit bei héijen Temperaturen (bis zu 1600–1700°C, ouni Belaaschtung). Déi schwaarz/gro Faarf an déi null Waasserabsorptioun garantéieren d'Kompatibilitéit mat proppere Raim.
-
Vakuumfutter op Basis vu Siliziumkarbid (SiC) fir Héichtemperatur- a Plasmaëmfeld
De SiC-baséierte Keramikfutter vu St.Cera gëtt aus héichreinem Siliziumcarbid (Charge S1111, SiC 99,72%, fräit Si 0,05%) hiergestallt. E liwwert eng gemoossen Biegefestigkeit vu 449 MPa, eng Bruchsehegkeet vun 3,12 MPa·m¹/² an en Elastizitéitsmodul vu 457 GPa. Déi typesch Wärmeleitfäegkeet vum Material (120–150 W/m·K) an déi niddreg thermesch Expansioun (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) erméiglechen eng séier Temperaturrampfung a minimal Wafer-Verzerrung während dem thermesche Zyklus. De Futter kann als poréise Vakuumfutter (gläichméissege Gasstroum) oder als gerillte Standardfutter konfiguréiert ginn. Mat enger maximaler Notzungstemperatur vun 1600–1700°C (ouni Belaaschtung) an aussergewéinlecher Plasmaerosiounsbeständegkeet ass dëse Futter ideal fir Héichtemperatur-Waferveraarbechtung (Glühen, RTP) an aggressiv Ätzkammeren, wou Aluminiumoxidfutter ofbauen.
-
Ersatzdeeler fir Hallefleiterausrüstung Keramikträger
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Metallgestëtzten Aluminiumoxid-Keramik-Schleifring fir héichsteif Läppungsapplikatiounen
De Schleifring aus Metallbaséiertem Aluminiumoxid vu St.Cera kombinéiert eng héichreine Aluminiumoxid (99,8% Al₂O₃) Keramikverschleissschicht mat enger präzisiounsbearbechter Metallträger (typescherweis Aluminium oder Edelstol). Dësen Hybriddesign bitt déi aussergewéinlech Verschleissbeständegkeet an d'chemesch Inertitéit vu Keramik op der Schleiffläch, während d'Metallbasis mechanesch Stäerkt, einfach Montage a Widderstand géint Bréchbroch bäidréit. D'Aluminiumoxidschicht bitt eng Biegefestigkeit vun 361 MPa, eng Vickers-Härkeet vun 16 GPa an eng thermesch Stabilitéit bis zu 800°C. D'Metallbasis ass mat Montagelächer, Positionéierungsstiften oder magnetesche Eegeschafte fir d'Integratioun a Läppmaschinnen, Planéiteschleifmaschinnen a CMP-Ausrüstung personaliséiert.
-
Keramik Ersatzdeeler fir Halbleiter-Sondestatiounsausrüstung
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
