-
მაღალი სისუფთავის ალუმინის კერამიკული დისკები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
ალუმინის კერამიკული მკლავი
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
კერამიკული საიზოლაციო რგოლები კერამიკული ფოკუსირების რგოლები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
ST.CERA ალუმინის კერამიკული დამჭერი რგოლის იზოლაციის დაცვა
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
მაღალი სისუფთავის ალუმინის კერამიკული რობოტის მკლავი ვაფლის დასამუშავებლად
St.Cera-ს ალუმინის კერამიკული რობოტის მკლავი ზუსტად არის დამზადებული 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის Al₂O₃-სგან (ალუმინისგან). ის აერთიანებს განსაკუთრებულ მოხრის სიმტკიცეს (361 მპა), მაღალ სიმტკიცეს (16 გპა) და დაბალ სიმკვრივეს (3.93 გ/სმ³), რაც იწვევს ნახევარგამტარული ვაფლის გადასატანად მსუბუქ, მაგრამ მყარ მკლავს. მასალის თერმული გაფართოების კოეფიციენტი (7.2×10⁻⁶/°C) მჭიდროდ ემთხვევა სილიციუმს, რაც მინიმუმამდე ამცირებს თერმულ შეუსაბამობას დამუშავების დროს.
-
ალუმინის მაღალი სიზუსტის კერამიკული რგოლის კერამიკული ნაწილები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
ST.CERA-ს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის კერამიკული ჩამკეტები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
სილიციუმის კარბიდის (SiC) კერამიკული ბოლო ეფექტორი - მაღალი სიმტკიცე მაღალტემპერატურულ ვაფლებთან მუშაობისთვის
St.Cera-ს SiC კერამიკული ბოლო ეფექტორი დამზადებულია მაღალი სისუფთავის სილიციუმის კარბიდისგან (SiC შემცველობა 99.72%, თავისუფალი Si 0.05%), S1111 პარტიის მასალის გამოყენებით. ის გამოირჩევა განსაკუთრებული მექანიკური თვისებებით: მოხრის სიმტკიცე 449 მპა (გაზომილი), ელასტიურობის მოდული 457 გპა (გაზომილი) და ვიკერსის სიმტკიცე 25–28 გპა (ტიპიური). დაბალი სიმკვრივე (3.10–3.15 გ/სმ³, ტიპიური) უზრუნველყოფს მაღალ სპეციფიკურ სიმტკიცეს, რაც იდეალურია მაღალსიჩქარიანი ვაფლის გადამცემი რობოტებისთვის. 120–150 W/m·K (ტიპიური) თბოგამტარობით და 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ თერმული გაფართოების კოეფიციენტით (ტიპიური), ეს ბოლო ეფექტორი ეფექტურად აფრქვევს სითბოს და ინარჩუნებს განზომილებიან სტაბილურობას მაღალ ტემპერატურაზე დამუშავების დროს (1600–1700°C-მდე, დატვირთვის გარეშე). შავი/ნაცრისფერი ფერი და წყლის ნულოვანი შთანთქმა უზრუნველყოფს თავსებადობას სუფთა ოთახთან.
-
სილიციუმის კარბიდის (SiC) ბაზაზე დამზადებული ვაკუუმური ჩაქუჩი მაღალი ტემპერატურისა და პლაზმური გარემოსთვის
St.Cera-ს SiC-ზე დაფუძნებული კერამიკული ჩამკეტი დამზადებულია მაღალი სისუფთავის სილიციუმის კარბიდისგან (პარტია S1111, SiC 99.72%, თავისუფალი Si 0.05%). იგი უზრუნველყოფს 449 მპა-ს გაზომილ მოღუნვის სიმტკიცეს, 3.12 მპა·მ¹/²-ს მსხვრევისადმი სიმტკიცეს და 457 გპა-ს ელასტიურობის მოდულს. მასალის ტიპიური თბოგამტარობა (120–150 W/m·K) და დაბალი თერმული გაფართოება (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) უზრუნველყოფს ტემპერატურის სწრაფ მატებას და ვაფლის მინიმალურ დეფორმაციას თერმული ციკლის დროს. ჩამკეტის კონფიგურაცია შესაძლებელია როგორც ფოროვანი ვაკუუმური ჩამკეტის (ერთგვაროვანი გაზის ნაკადი) ან ღარიანი სტანდარტული ჩამკეტის სახით. მაქსიმალური გამოყენების ტემპერატურა 1600–1700°C (დატვირთვის გარეშე) და პლაზმური ეროზიისადმი განსაკუთრებული წინააღმდეგობით, ეს ჩამკეტი იდეალურია მაღალტემპერატურული ვაფლის დამუშავებისთვის (გახურება, RTP) და აგრესიული გრავირების კამერებისთვის, სადაც ალუმინის ჩამკეტები დეგრადირდება.
-
ნახევარგამტარული აღჭურვილობა კერამიკული სათადარიგო ნაწილები კერამიკული მატარებლები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
ლითონის საყრდენი ალუმინის კერამიკული სახეხი რგოლი მაღალი სიხისტის დამუშავების აპლიკაციებისთვის
St.Cera-ს ლითონის ბაზაზე დამზადებული ალუმინის რგოლი აერთიანებს მაღალი სისუფთავის ალუმინის (99.8% Al₂O₃) კერამიკულ ცვეთის ფენას ზუსტად დამუშავებულ ლითონის საყრდენთან (როგორც წესი, ალუმინი ან უჟანგავი ფოლადი). ეს ჰიბრიდული დიზაინი უზრუნველყოფს კერამიკის განსაკუთრებულ ცვეთისადმი მდგრადობას და ქიმიურ ინერტულობას სახეხ ზედაპირზე, ხოლო ლითონის ფუძე ზრდის მექანიკურ სიმტკიცეს, მარტივ მონტაჟს და მყიფე მოტეხილობისადმი მდგრადობას. ალუმინის ფენა გთავაზობთ 361 მპა მოხრის სიმტკიცეს, 16 გპა ვიკერსის სიმტკიცეს და 800°C-მდე თერმულ სტაბილურობას. ლითონის ფუძე მორგებულია სამონტაჟო ხვრელებით, განმსაზღვრელი ქინძისთავებით ან მაგნიტური თვისებებით, რათა ინტეგრირდეს სალეს მანქანებში, პლანეტარულ საფქვავებში და CMP აღჭურვილობაში.
-
ნახევარგამტარული ზონდის სადგურის აღჭურვილობის კერამიკული სათადარიგო ნაწილები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
