-
Al2O3 კერამიკული ვაფლის ჩაკის მორგებული დამუშავება
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
ST.CERA-ს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის კერამიკული ფირფიტა
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
12-დიუმიანი ალუმინის ვაკუუმური ჩაკი 300 მმ ვაფლის დამუშავებისთვის
St.Cera-ს 12 დიუმიანი ვაკუუმური ჩაქუჩი 300 მმ ვაფლის დასამუშავებლად 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდისგან (Al₂O₃) ზუსტი ინჟინერიით არის დამზადებული. ჩაქუჩს აქვს წვრილღარებიანი ზედაპირი (ღარის სიგანე 0.5–1.0 მმ, დახრილობა 2–3 მმ), რათა უზრუნველყოფილი იყოს ვაკუუმის ერთგვაროვანი განაწილება მთელ 300 მმ დიამეტრზე. სიბრტყე შენარჩუნებულია 5 μm-ის ფარგლებში, რაც საშუალებას იძლევა ვაფლის დაფიქსირება დეფორმაციის გარეშე დაჭრის, უკანა მხრიდან დაფქვისა და შემოწმების დროს. მასალის მაღალი მოღუნვის სიმტკიცე (361 მპა) და სიმტკიცე (16 გპა) გარანტიას იძლევა ხანგრძლივ განზომილებიან სტაბილურობაზე, განმეორებითი ვაკუუმური ციკლების დროსაც კი.
-
ალუმინის კერამიკული ბოლო ეფექტორი ინტეგრირებული ვაკუუმური არხებით
St.Cera-ს ალუმინის ვაკუუმის ბოლო ეფექტორი ზუსტად დამუშავებულ ვაკუუმურ არხებსა და შემწოვ ხვრელებს პირდაპირ 99.8%-ით მაღალი სისუფთავის ალუმინის კორპუსში აერთიანებს. ეს დიზაინი გამორიცხავს გარე ვაკუუმურ ბალიშებს, რაც უზრუნველყოფს ვაფლის პირდაპირ აღებას ერთგვაროვანი დაჭერის ძალით. მასალის მაღალი მოხრის სიმტკიცე (361 მპა) და სიმტკიცე (16 გპა) უზრუნველყოფს ხანგრძლივ განზომილებიან სტაბილურობას განმეორებითი ვაკუუმური ციკლების დროს. ბალიშის ფართობზე სიბრტყე შენარჩუნებულია 10 μm-ის ფარგლებში, რაც ხელს უშლის ვაფლის დაძაბულობას და მსხვრევას. ვაკუუმის პორტები განლაგებულია უკანა სამონტაჟო ფლანგზე, რათა მარტივი ინტეგრაცია მოხდეს OEM რობოტის მკლავებთან.
-
ელექტროსტატიკური ძაბვისადმი მგრძნობიარე ვაფლების დამუშავებისთვის განკუთვნილი ESD-უსაფრთხო ალუმინის კერამიკული ნაწილები
St.Cera-ს ელექტროსტატიკური განმუხტვისთვის უსაფრთხო ალუმინის კერამიკული ნაწილები დამზადებულია 99.8% მაღალი სისუფთავის Al₂O₃-სგან, რომლის ზედაპირის წინაღობა 10⁶–10⁹ Ω/კვ.მ.-ია, რაც მიიღწევა საკუთრების მიერ შექმნილი დოპინგის ან საფარის პროცესის მეშვეობით. ეს ნაწილები ეფექტურად ანაწილებენ სტატიკურ მუხტს, რაც ხელს უშლის მგრძნობიარე ნახევარგამტარული ვაფლებისა და მოწყობილობების ელექტროსტატიკურ დაზიანებას. ძირითადი მასალა ინარჩუნებს მაღალ მოხრის სიმტკიცეს (361 მპა), სიმტკიცეს (16 გპა) და დიელექტრიკულ სიმტკიცეს (15×10⁶ ვ/მ). ელექტროსტატიკური განმუხტვისთვის უსაფრთხო კერამიკული ნაწილები მოიცავს ბოლო ეფექტორებს, ამწევ ქინძისთავებს, სახელმძღვანელო რელსებს და FAB ავტომატიზაციისთვის განკუთვნილ მორგებულ ფიქსატორებს.
-
ნახევარგამტარული ზონდის აღჭურვილობის კერამიკული სათადარიგო ნაწილები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
კერამიკული ფირფიტის ნახევარგამტარული აღჭურვილობის მატარებელი
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
ნახევარგამტარული აღჭურვილობის კერამიკული სათადარიგო ნაწილები
ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით და მაღალი ტემპერატურის პირობებში შედუღებით, შემდეგ ზუსტი დამუშავებითა და გაპრიალებით, კერამიკული სათადარიგო ნაწილები აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ნებისმიერ მკაცრ მოთხოვნას ცვეთამედეგობის, კოროზიისადმი მდგრადობის, დაბალი თერმული გაფართოებისა და იზოლაციის მახასიათებლებით. კერამიკას შეუძლია დიდი ხნის განმავლობაში იმუშაოს ნახევარგამტარული წარმოების მრავალი სახის მოწყობილობაში მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის ან კოროზიული აირის პირობებში.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის ალუმინის ფხვნილისგან, დამუშავებულია ცივი იზოსტატიკური დაწნეხვით, მაღალტემპერატურული სინთეზირებით და ზუსტი დამუშავებით, მას შეუძლია მიაღწიოს განზომილებების ტოლერანტობას ±0.001 მმ-მდე, ზედაპირის დამუშავების Ra 0.1-მდე, ტემპერატურის წინააღმდეგობას 1600℃-მდე.
-
მაღალი სისუფთავის ალუმინის კერამიკული დალუქვის რგოლი მაღალი ტემპერატურის კამერის დალუქვისთვის
St.Cera-ს კერამიკული დალუქვის რგოლი შექმნილია პოლიმერული O-რგოლების ალტერნატივად ექსტრემალურ გარემოში, სადაც ელასტომერები დეგრადირდებიან. დამზადებულია 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდისგან (Al₂O₃), ეს ხისტი დალუქვის რგოლი გამოიყენება სტატიკურ დალუქვის აპლიკაციებში — როგორც წესი, შეწყვილებულია რბილ მეტალთან ან გრაფიტის შუასადებასთან — საიმედო ვაკუუმის ან გაზის შეკავების უზრუნველსაყოფად 800°C-მდე ტემპერატურაზე და აგრესიულ პლაზმურ ან ქიმიურ გარემოში. მასალა უზრუნველყოფს ნულოვან გამოყოფას, მაღალ შეკუმშვის სიმტკიცეს (ძირითადი მოღუნვის სიმტკიცე 361 MPa) და ქიმიურ ინერტულობას (ჰალოგენების, მჟავების და ტუტეების მიმართ მდგრადია, გარდა HF-ისა). ზუსტად დამუშავებული დალუქვის ზედაპირები (სიბრტყე ≤5 μm, ზედაპირის უხეშობა Ra ≤0.2 μm) უზრუნველყოფს ჰერმეტულ კონტაქტს შერწყმული ლითონის ან კერამიკული კომპონენტების მიმართ.
-
მაღალი სისუფთავის ალუმინის კამერის ფოკუსირების რგოლი პლაზმური გრავირებისა და გულ-სისხლძარღვთა დაავადებების სისტემებისთვის
St.Cera-ს კამერული ფოკუსირების რგოლი წარმოადგენს კრიტიკული პროცესის ნაკრების კომპონენტს, რომელიც გამოიყენება პლაზმური გრავირების, CVD და PVD ნახევარგამტარული მოწყობილობებისთვის. დამზადებულია 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდისგან (Al₂O₃), რგოლი გარს აკრავს ვაფლის კიდეს პლაზმის შესაზღუდად და იონების კუთხური განაწილების ოპტიმიზაციისთვის, რითაც აუმჯობესებს გრავირების ერთგვაროვნებას ვაფლის ზედაპირზე. მასალა გთავაზობთ გამორჩეულ პლაზმურ წინააღმდეგობას, მაღალ დიელექტრიკულ სიმტკიცეს (15×10⁶ V/m) და თერმულ სტაბილურობას 1600°C-მდე, რაც უზრუნველყოფს ხანგრძლივ საიმედოობას აგრესიულ ფტორზე ან ქლორზე დაფუძნებულ პლაზმურ გარემოში. ზუსტი დამუშავების ID/OD და სიბრტყე (≤10 μm) საშუალებას იძლევა ვაფლის კიდის ზუსტი პოზიციონირება, კიდის დეფექტების და ნაწილაკების წარმოქმნის შემცირება.
-
მაღალი სისუფთავის ალუმინის კერამიკული რგოლი CVD / PVD პროცესის კამერებისთვის
St.Cera-ს კერამიკული რგოლი სპეციალურად შექმნილია CVD (ქიმიური ორთქლის დეპონირება) და PVD (ფიზიკური ორთქლის დეპონირება) დამუშავების კამერებში გამოსაყენებლად. დამზადებულია 99.8%-იანი მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდისგან (Al₂O₃), ეს რგოლი ემსახურება როგორც კამერის ლაინერს, ფოკუსირების რგოლს ან დამუშავების ნაკრების კომპონენტს პლაზმის შესაკავებლად და კამერის კედლების ეროზიისგან დასაცავად. მასალა გთავაზობთ შესანიშნავ პლაზმურ წინააღმდეგობას, მაღალ დიელექტრიკულ სიმტკიცეს (15×10⁶ V/m) და თერმულ სტაბილურობას 1600°C-მდე, რაც უზრუნველყოფს ხანგრძლივ მომსახურებას აგრესიულ ფტორზე დაფუძნებულ პლაზმურ გარემოში. ზუსტი განზომილებიანი ტოლერანტობა (±0.05 მმ ID/OD-ზე) და სიბრტყე (≤10 μm) უზრუნველყოფს ვაფლის კიდის თანმიმდევრულ პოზიციონირებას, აუმჯობესებს დეპონირების ერთგვაროვნებას და ამცირებს ნაწილაკების წარმოქმნას.
-
ბერნულის კერამიკული ბოლო ეფექტორი — უკონტაქტო ვაფლის დამუშავება თხელი და მყიფე ვაფლებისთვის
St.Cera-ს Bernoulli-ს კერამიკული ბოლო ეფექტორი იყენებს აეროდინამიკურ ამწევ ძალას ვაფლების ფიზიკური კონტაქტის გარეშე დასამუშავებლად. დამზადებულია მაღალი სისუფთავის 99.8%-იანი ალუმინის (Al₂O₃) ან სილიციუმის კარბიდისგან (SiC), მას აქვს ზუსტად დამუშავებული საქშენები, რომლებიც გამოყოფენ წნევით გაზის ფენას ბოლო ეფექტორსა და ვაფლს შორის თხელი ჰაერის ფენის შესაქმნელად. ეს უკონტაქტო პრინციპი გამორიცხავს უკანა მხარის დაბინძურებას, კიდის ნაპრალებს და ზედაპირის დაზიანებას, რაც მას იდეალურს ხდის თხელი (≤100 μm), მყიფე ან დეფორმირებული ვაფლებისთვის. კერამიკული სუბსტრატი უზრუნველყოფს მაღალ მოხრის სიმტკიცეს (361 მპა Al₂O₃-სთვის; 550–600 მპა-მდე SiC-სთვის), დაბალ მასას და შესანიშნავ განზომილებიან სტაბილურობას, რაც უზრუნველყოფს განმეორებად პოზიციონირებას მაღალსიჩქარიან ვაფლის გადამცემ რობოტებში.
