-
የ Al2O3 የሴራሚክ ዋፈር ቻክ ብጁ ሂደት
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ST.CERA ብጁ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሴራሚክ ሳህን
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ለ300ሚሜ ዋፈር ማቀነባበሪያ የሚሆን 12 ኢንች የአሉሚና ቫክዩም ቻክ
የቅዱስ ሴራ 12 ኢንች የቫክዩም ክላች ለ300ሚሜ ዋፈር አያያዝ ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና አልሙኒየም (Al₂O₃) የተሰራ ነው። ክላቹ በጠቅላላው 300ሚሜ ዲያሜትር ላይ ወጥ የሆነ የቫክዩም ስርጭትን ለማረጋገጥ በጥሩ ሁኔታ የተቦረቦረ ወለል (የጉድጓድ ስፋት 0.5-1.0 ሚሜ፣ 2-3 ሚሜ) አለው። ጠፍጣፋነቱ በ5 μm ውስጥ ይጠበቃል፣ ይህም በመቁረጥ፣ በጀርባ መፍጨት እና በፍተሻ ወቅት ከዋርፕ-ነጻ የዋፈር ጥገና እንዲኖር ያስችላል። የቁሳቁሱ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa) እና ጠንካራነት (16 GPa) በተደጋጋሚ የቫክዩም ዑደቶች ውስጥ እንኳን የረጅም ጊዜ ልኬት መረጋጋትን ያረጋግጣሉ።
-
የተዋሃዱ የቫኩም ቻናሎች ያሉት የአሉሚና ሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ
የቅዱስ ሴራ የአልሙኒየም ቫክዩም መጨረሻ ኢፌክተር በትክክለኛነት የተሰሩ የቫክዩም ቻናሎችን እና የመምጠጥ ቀዳዳዎችን በቀጥታ ወደ 99.8% ከፍተኛ ንፅህና ባለው የአልሙኒየም አካል ውስጥ ያዋህዳል። ይህ ዲዛይን ውጫዊ የቫክዩም ፓዶችን ያስወግዳል፣ ይህም ቀጥተኛ የዋፈር ፒክአፕን በአንድ ወጥ የመያዣ ኃይል ያስችላል። የቁሱ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa) እና ጥንካሬ (16 GPaa) በተደጋጋሚ የቫክዩም ዑደቶች ውስጥ የረጅም ጊዜ ልኬት መረጋጋትን ያረጋግጣሉ። በፓድ አካባቢ ላይ ያለው ጠፍጣፋነት በ10 μm ውስጥ ይጠበቃል፣ ይህም የዋፈር ውጥረትን እና መሰበርን ይከላከላል። የቫክዩም ወደቦች ከኦሪጂናል ዕቃ አምራች ሮቦት ክንዶች ጋር በቀላሉ እንዲዋሃዱ ከኋላ መጫኛ ፍላንጅ ላይ ይገኛሉ።
-
ለቋሚ-ስሜታዊ ዋፈር አያያዝ ESD-አስተማማኝ የአሉሚና የሴራሚክ ክፍሎች
የቅዱስ ሴራ ESD (ኤሌክትሮስታቲክ ፈሳሽ) ደህንነቱ የተጠበቀ የአልሙኒየም ሴራሚክ ክፍሎች ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና Al₂O₃ የተመረቱ ሲሆን በባለቤትነት በተዘጋጀ የዶፒንግ ወይም የሽፋን ሂደት አማካኝነት የተስተካከሉ የገጽታ ተቃውሞዎች ናቸው። እነዚህ ክፍሎች የማይንቀሳቀስ ክፍያን በብቃት ያጠፋሉ፣ ይህም በስሱ ሴሚኮንዳክተር ዋፈሮች እና መሳሪያዎች ላይ የኤሌክትሮስታቲክ ጉዳትን ይከላከላል። የመሠረቱ ቁሳቁስ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬውን (361 MPa)፣ ጥንካሬውን (16 GPa) እና ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬውን (15×10⁶ V/m) ይይዛል። ESD-አስተማማኝ የሴራሚክ ክፍሎች የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎችን፣ የማንሳት ፒኖችን፣ የመሪ ሀዲዶችን እና ለFAB አውቶሜሽን ብጁ እቃዎችን ያካትታሉ።
-
ለሴሚኮንዳክተር ምርመራ መሳሪያዎች የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የሴራሚክ ሳህን ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ተሸካሚ
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ለከፍተኛ ሙቀት ክፍል ማሸጊያ የሚሆን ከፍተኛ ንፁህ የአሉሚና ሴራሚክ ማህተም ቀለበት
የቅዱስ ሴራሚክ ማኅተም ቀለበት ኤላስቶመሮች በሚበላሹባቸው በጣም አስቸጋሪ አካባቢዎች ውስጥ ከፖሊመር ኦ-ቀለበቶች አማራጭ ሆኖ የተነደፈ ነው። ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አሉሚና (Al₂O₃) የተሰራው ይህ ጠንካራ የማኅተም ቀለበት እስከ 800°ሴ ባለው የሙቀት መጠን እና በኃይለኛ ፕላዝማ ወይም ኬሚካላዊ አካባቢዎች አስተማማኝ የቫክዩም ወይም የጋዝ መከላከያ ለማቅረብ በማይንቀሳቀስ የማኅተም አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል። ቁሱ ዜሮ ጋዝ ማውጣት፣ ከፍተኛ የመጭመቂያ ጥንካሬ (ከታች ያለው የመተጣጠፍ ጥንካሬ 361 MPa) እና የኬሚካል ኢንተለጀንስ (ከ HF በስተቀር ለ halogens፣ አሲዶች እና አልካላይስ የሚቋቋም) ይሰጣል። በትክክል የተዘጉ የማኅተም ቦታዎች (ጠፍጣፋነት ≤5 μm፣ የገጽታ ሻካራነት Ra ≤0.2 μm) ከተጣመሩ የብረት ወይም የሴራሚክ ክፍሎች ጋር ፍሳሽ-ጥብቅ ግንኙነትን ያረጋግጣሉ።
-
ለፕላዝማ ኤች እና ሲቪዲ ሲስተሞች ከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ቻምበር የትኩረት ቀለበት
የቅዱስ ሴራ የክፍል ትኩረት ቀለበት በፕላዝማ ኢች፣ ሲቪዲ እና ፒቪዲ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ወሳኝ የሂደት ኪት አካል ነው። ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና አልሙኒየም (አል₂O₃) የተመረተው ቀለበት የዋፈር ጠርዝን በመክበብ የ ion አንግል ስርጭትን ያመቻቻል፣ በዚህም በዋፈር ወለል ላይ የኤች ወጥነት ያሻሽላል። ቁሱ ልዩ የሆነ የፕላዝማ መቋቋም፣ ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m) እና እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋትን ይሰጣል፣ ይህም በጠንካራ የፍሎሪን ወይም ክሎሪን ላይ በተመሰረቱ የፕላዝማ አካባቢዎች የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ያረጋግጣል። ትክክለኛ የመሬት መታወቂያ/OD እና ጠፍጣፋነት (≤10 μm) ትክክለኛ የዋፈር ጠርዝ አቀማመጥን ያስችላሉ፣ የጠርዝ ጉድለቶችን እና የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳሉ።
-
ለሲቪዲ/ፒቪዲ የሂደት ቻምበርስ ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአሉሚና ሴራሚክ ቀለበት
የቅዱስ ሴራሚክ ቀለበት በተለይ በሲቪዲ (ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን) እና በፒቪዲ (አካላዊ ትነት ዲፖዚሽን) የሂደት ክፍሎች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል የተነደፈ ነው። ከ99.8% ከፍተኛ ንፁህ አሉሚና (አል₂O₃) የተሰራው ይህ ቀለበት ፕላዝማውን ለመገደብ እና የክፍሉን ግድግዳዎች ከአፈር መሸርሸር ለመጠበቅ እንደ የክፍል ሽፋን፣ የትኩረት ቀለበት ወይም የሂደት ኪት አካል ሆኖ ያገለግላል። ቁሱ እጅግ በጣም ጥሩ የፕላዝማ መቋቋም፣ ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m) እና እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋትን ይሰጣል፣ ይህም በኃይለኛ ፍሎሪን ላይ በተመሰረቱ የፕላዝማ አካባቢዎች ረጅም የአገልግሎት ዘመንን ያረጋግጣል። ትክክለኛ የልኬት መቻቻል (±0.05 ሚሜ በID/OD ላይ) እና ጠፍጣፋነት (≤10 μm) ወጥ የሆነ የዋፈር ጠርዝ አቀማመጥን ያስችላሉ፣ የተከማቸ ወጥነትን ያሻሽላሉ እና የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳሉ።
-
የቤርኖሊ ሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ — ቀጭን እና በቀላሉ የሚሰበር ዋፈርን የማያገናኝ የዋፈር አያያዝ
የቅዱስ ሴራ የቤርኖሊ ሴራሚክ መጨረሻ ኢፌክተር ያለ አካላዊ ንክኪ ዋፈርዎችን ለማስተናገድ የአየር ዳይናሚክ ሊፍት ይጠቀማል። ከከፍተኛ ንፁህ 99.8% አሉሚና (Al₂O₃) ወይም ከሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) የተሰራ ሲሆን፣ በመጨረሻው ኢፌክተር እና በዋፈር መካከል ቀጭን የአየር ፊልም ለመፍጠር ግፊት ያለው ጋዝ የሚያወጡ ትክክለኛ ማሽን ያላቸው ኖዝሎችን ያሳያል። ይህ ንክኪ የሌለው መርህ የኋላ ብክለትን፣ የጠርዝ መቆራረጥን እና የገጽታ ጉዳትን ያስወግዳል፣ ይህም ለቀጭን (≤100 μm)፣ ለደካማ ወይም ለተዛቡ ዋፈርዎች ተስማሚ ያደርገዋል። የሴራሚክ ንጣፍ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (ለAl₂O₃ 361 MPa፤ እስከ 550–600 MPa ለSiC)፣ ዝቅተኛ ክብደት እና እጅግ በጣም ጥሩ የልኬት መረጋጋት ይሰጣል፣ ይህም በከፍተኛ ፍጥነት ባለው የዋፈር ማስተላለፊያ ሮቦቶች ውስጥ ተደጋጋሚ አቀማመጥን ያረጋግጣል።
