-
Прилагодена обработка на керамички вафл чак од Al2O3
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
ST.CERA Полупроводничка опрема за прилагодена керамичка плоча
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
12-инчен вакуумски стегач од алуминиум за обработка на плочки од 300 mm
Вакуум стегалката од 12 инчи на St.Cera е прецизно изработена од 99,8% алумина со висока чистота (Al₂O₃) за ракување со плочки од 300 mm. Стегалката има фино жлебеста површина (ширина на жлебот 0,5–1,0 mm, чекор 2–3 mm) за да се обезбеди рамномерна распределба на вакуумот низ целиот дијаметар од 300 mm. Рамноста се одржува во рамките на 5 μm, овозможувајќи фиксирање на плочките без искривување за време на сечење, брусење одзади и инспекција. Високата цврстина на свиткување (361 MPa) и тврдост (16 GPa) на материјалот гарантираат долгорочна димензионална стабилност дури и при повторени вакуумски циклуси.
-
Краен ефектор од алуминиумска керамика со интегрирани вакуумски канали
Вакуумскиот краен ефектор од алуминиум од St.Cera интегрира прецизно обработени вакуумски канали и вшмукувачки отвори директно во телото од алуминиум од 99,8% висока чистота. Овој дизајн ги елиминира надворешните вакуумски перничиња, овозможувајќи директно собирање на плочките со униформна сила на држење. Високата цврстина на свиткување (361 MPa) и тврдоста (16 GPa) на материјалот обезбедуваат долгорочна димензионална стабилност при повторени вакуумски циклуси. Рамноста низ површината на плочките се одржува во рамките на 10 μm, спречувајќи стрес и кршење на плочките. Вакуумските отвори се наоѓаат на задната монтажна прирабница за лесна интеграција со OEM роботските раце.
-
ESD-безбедни алуминиумски керамички делови за ракување со плочки чувствителни на статички електрицитет
Деловите од алуминиумска керамика безбедни за ESD (електростатско празнење) на St.Cera се произведени од 99,8% Al₂O₃ со висока чистота со прилагодена површинска отпорност од 10⁶–10⁹ Ω/м², постигната преку патентиран процес на допирање или премачкување. Овие делови ефикасно го распрснуваат статичкиот полнеж, спречувајќи електростатско оштетување на чувствителните полупроводнички плочки и уреди. Основниот материјал ја задржува својата висока цврстина на свиткување (361 MPa), тврдост (16 GPa) и диелектрична цврстина (15×10⁶ V/m). Керамичките делови безбедни за ESD вклучуваат крајни ефектори, иглички за подигнување, водилки и прилагодени прицврстувачи за автоматизација на FAB.
-
Керамички резервни делови за полупроводничка опрема за сонди
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
Носач на опрема од керамички плочи со полупроводнички елементи
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
Полупроводничка опрема Керамички резервни делови
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
Керамички прстен за заптивање од алуминиум оксид со висока чистота за заптивање на комора на висока температура
Керамичкиот заптивен прстен на St.Cera е дизајниран како алтернатива на полимерните О-прстени во екстремни средини каде што еластомерите се распаѓаат. Изработен од 99,8% алуминиум оксид со висока чистота (Al₂O₃), овој цврст заптивен прстен се користи во статички апликации за заптивање - обично поврзан со мек метал или графитна заптивка - за да обезбеди сигурно вакуумско или гасно задржување на температури до 800°C и во агресивни плазма или хемиски средини. Материјалот нуди нула испуштање гасови, висока компресивна цврстина (основна цврстина на свиткување 361 MPa) и хемиска инертност (отпорен на халогени, киселини и алкалии освен HF). Прецизно обложените површини за заптивање (рамност ≤5 μm, површинска грубост Ra ≤0,2 μm) обезбедуваат непропустлив контакт со спојните метални или керамички компоненти.
-
Фокусен прстен од комора со висока чистота од алуминиум оксид за системи со плазматско гравирање и CVD
Фокусниот коморен прстен на St.Cera е критична компонента на комплетот за процесирање што се користи во опрема за плазматско јодирање, CVD и PVD полупроводничка опрема. Изработен од 99,8% високочистота алумина (Al₂O₃), прстенот го опкружува работ на плочката за да ја ограничи плазмата и да ја оптимизира аголната распределба на јоните, со што се подобрува униформноста на јодирањето низ површината на плочката. Материјалот нуди исклучителна отпорност на плазма, висока диелектрична цврстина (15×10⁶ V/m) и термичка стабилност до 1600°C, обезбедувајќи долгорочна сигурност во агресивни средини со плазма базирана на флуор или хлор. Прецизното заземјување на ID/OD и рамноста (≤10 μm) овозможуваат прецизно позиционирање на работ на плочката, намалувајќи ги дефектите на работ и генерирањето на честички.
-
Керамички прстен од алумина со висока чистота за CVD / PVD процесни комори
Керамичкиот прстен на St.Cera е специјално дизајниран за употреба во процесни комори со CVD (хемиско таложење на пареа) и PVD (физичко таложење на пареа). Изработен од 99,8% алуминиум оксид со висока чистота (Al₂O₃), овој прстен служи како облога на комората, фокусен прстен или компонента на комплетот за процесирање за ограничување на плазмата и заштита на ѕидовите на комората од ерозија. Материјалот нуди одлична отпорност на плазма, висока диелектрична цврстина (15×10⁶ V/m) и термичка стабилност до 1600°C, обезбедувајќи долг работен век во агресивни средини со плазма базирана на флуор. Прецизните димензионални толеранции (±0,05 mm на ID/OD) и рамноста (≤10 μm) овозможуваат конзистентно позиционирање на работ на плочата, подобрувајќи ја униформноста на таложењето и намалувајќи го генерирањето на честички.
-
Керамички ефектор на крај Bernoulli — безконтактно ракување со плочки за тенки и кршливи плочки
Керамичкиот краен ефектор Bernoulli од St.Cera користи аеродинамичен лифт за ракување со плочки без физички контакт. Изработен од високочистота од 99,8% алумина (Al₂O₃) или силициум карбид (SiC), има прецизно обработени млазници кои исфрлаат гас под притисок за да создадат тенок воздушен филм помеѓу крајниот ефектор и плочките. Овој принцип на бесконтакт ја елиминира контаминацијата на задната страна, кршењето на рабовите и оштетувањето на површината, што го прави идеален за тенки (≤100 μm), кршливи или искривени плочки. Керамичката подлога обезбедува висока цврстина на свиткување (361 MPa за Al₂O₃; до 550–600 MPa за SiC), мала маса и одлична димензионална стабилност, обезбедувајќи повторливо позиционирање во роботи за пренос на плочки со голема брзина.
