-
קאַסטאַמייזד פּראַסעסינג פון Al2O3 קעראַמיש וואַפער טשאַק
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
ST.CERA קאַסטאַמייזד האַלבקאָנדוקטאָר עקוויפּמענט קעראַמיק פּלאַטע
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
12-אינטש אַלומינאַ וואַקוום טשאַק פֿאַר 300 מם וואַפער פּראַסעסינג
סט. סעראַ'ס 12-אינטש וואַקוום טשאַק איז פּרעציזיע-אינזשענירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃) פֿאַר 300 מם וועיפער האַנדלינג. דער טשאַק פֿאַרמאָגט אַ פייַן-גרובעד ייבערפלאַך (גרוב ברייט 0.5-1.0 מם, פּיטש 2-3 מם) צו ענשור מונדיר וואַקוום פאַרשפּרייטונג איבער די גאנצע 300 מם דיאַמעטער. פלאַכקייט איז מיינטיינד ין 5 μm, וואָס אַלאַוז וואָרפּ-פֿרייַ וועיפער פיקסיישאַן בעשאַס דייסינג, באַקסייד גרינדינג, און דורכקוק. די מאַטעריאַל ס הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa) און כאַרדנאַס (16 GPa) גאַראַנטירן לאַנג-טערמין דימענשאַנאַל פעסטקייַט אפילו אונטער ריפּיטיד וואַקוום סייקאַלז.
-
אַלומינאַ קעראַמיש ענד עפֿעקטאָר מיט אינטעגרירטע וואַקוום קאַנאַלן
סט. סעראַ'ס אַלומינאַ וואַקוום ענד עפֿעקטאָר אינטעגרירט פּרעציזיע-מאַשינד וואַקוום קאַנאַלן און סאַקשאַן לעכער גלייך אין די 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ גוף. דעם פּלאַן עלימינירט פונדרויסנדיק וואַקוום פּאַדס, וואָס ערמעגליכט דירעקט וועיפער פּיקאַפּ מיט מונדיר האַלטן קראַפט. די מאַטעריאַל ס הויך בייגן שטאַרקייט (361 MPa) און כאַרדנאַס (16 GPa) ענשור לאַנג-טערמין דימענשאַנאַל פעסטקייַט אונטער ריפּיטיד וואַקוום סייקאַלז. פלאַכקייט אַריבער די פּאַד געגנט איז מיינטיינד ין 10 μm, פּרעווענטינג וועיפער דרוק און ברייקידזש. וואַקוום פּאָרץ זענען ליגן אין די הינטערשטע מאַונטינג פלאַנדזש פֿאַר גרינג ינטאַגריישאַן מיט OEM ראָבאָט געווער.
-
ESD-זיכערע אַלומינאַ קעראַמישע טיילן פֿאַר סטאַטיק-סענסיטיוו וועיפער האַנדלינג
סט. סעראַ'ס ESD (עלעקטראָסטאַטיש אָפּזאָגן) זיכערע אַלומינאַ קעראַמיק טיילן זענען פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט Al₂O₃ מיט אַ פּאַסיק ייבערפלאַך קעגנשטעל פון 10⁶–10⁹ Ω/קוואדראט, דערגרייכט דורך אַ פּראַפּרייאַטערי דאָפּינג אָדער קאָוטינג פּראָצעס. די טיילן יפעקטיוולי דיסיפּירן סטאַטיק אָפּצאָל, פּרעווענטינג עלעקטראָסטאַטיש שעדיקן צו סענסיטיוו האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפערז און דעוויסעס. די באַזע מאַטעריאַל ריטיינז זייַן הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa), כאַרדנאַס (16 GPa), און דיעלעקטריק שטאַרקייַט (15×10⁶ V/m). ESD-זיכער קעראַמיק טיילן אַרייַננעמען ענד עפעקטאָרס, ליפט פּינס, גייד רעלס, און מנהג פיקסטשערז פֿאַר FAB אָטאַמאַציע.
-
קעראַמישע רעזערוו טיילן פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָבע עקוויפּמענט
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
קעראַמיש פּלאַטע האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט טרעגער
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט קעראַמיש ספּער טיילן
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קעראַמיש סילינג רינג פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור קאַמער סילינג
סט. סעראַ'ס קעראַמישער פאַרזיגלונג רינג איז דיזיינד ווי אַן אָלטערנאַטיוו צו פּאָלימער אָ-רינגס אין עקסטרעמע סביבות וואו עלאַסטאָמערס צעברעכן. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דעם שטרענגן פאַרזיגלונג רינג ווערט גענוצט אין סטאַטישע פאַרזיגלונג אַפּלאַקיישאַנז - טיפּיש געפּאָרט מיט אַ ווייך מעטאַל אָדער גראַפיט גאַסקעט - צו צושטעלן פאַרלאָזלעך וואַקוום אָדער גאַז קאַנטיינמאַנט ביי טעמפּעראַטורן ביז 800°C און אין אַגרעסיוו פּלאַזמע אָדער כעמישע סביבות. דער מאַטעריאַל אָפפערס נול אַוטגאַסינג, הויך קאַמפּרעסיוו שטאַרקייט (אונטערלייגנדיק בייגן שטאַרקייט 361 MPa), און כעמישע ינערטנאַס (קעגנשטעליק צו האַלאָגענס, זויערן און אַלקאַליס אַחוץ HF). פּרעציזיע-געלאַפּט פאַרזיגלונג סערפאַסיז (פלאַטנאַס ≤5 μm, ייבערפלאַך ראַפנאַס Ra ≤0.2 μm) ענשור ליק-טייט קאָנטאַקט מיט פּאַסיק מעטאַל אָדער קעראַמיש קאַמפּאָונאַנץ.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קאַמער פאָקוס רינג פֿאַר פּלאַזמע עטש און CVD סיסטעמען
סט. סעראַ'ס קאַמער פאָקוס רינג איז אַ קריטישער פּראָצעס קיט קאָמפּאָנענט געניצט אין פּלאַזמע עטש, CVD, און PVD האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דער רינג אַרומרינגלט די וועיפער ברעג צו באַגרענעצן פּלאַזמע און אָפּטימיזירן יאָן ווינקל פאַרשפּרייטונג, דערמיט פֿאַרבעסערן עטש יוניפאָרמאַטי אַריבער די וועיפער ייבערפלאַך. דער מאַטעריאַל אָפפערס אויסערגעוויינלעך פּלאַזמע קעגנשטעל, הויך דיעלעקטריק שטאַרקייט (15×10⁶ V/m), און טערמישע פעסטקייט ביז 1600°C, וואָס ענשורז לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי אין אַגרעסיוו פלאָרין- אָדער קלאָרין-באַזירט פּלאַזמע ינווייראַנמאַנץ. פּרעציזשאַן-גראַונד ID/OD און פלאַךקייט (≤10 μm) געבן פּינטלעך וועיפער ברעג פּאַזישאַנינג, רעדוצירן ברעג חסרונות און פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קעראַמיש רינג פֿאַר CVD / PVD פּראָצעס קאַמערן
סט. סעראַ'ס קעראַמישער רינג איז ספּעציעל דיזיינד פֿאַר נוצן אין CVD (כעמישע דאַמפער דעפּאַזישאַן) און PVD (פיזישע דאַמפער דעפּאַזישאַן) פּראָצעס קאַמערן. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דינט דער רינג ווי אַ קאַמער ליינער, פאָקוס רינג, אָדער פּראָצעס קיט קאָמפּאָנענט צו באַגרענעצן פּלאַזמע און באַשיצן קאַמער ווענט פון עראָוזיע. דער מאַטעריאַל אָפפערס ויסגעצייכנט פּלאַזמע קעגנשטעל, הויך דיעלעקטריק שטאַרקייט (15×10⁶ V/m), און טערמישע פעסטקייט ביז 1600°C, וואָס ענשורז אַ לאַנג דינסט לעבן אין אַגרעסיוו פלאָרין-באַזירט פּלאַזמע ינווייראַנמאַנץ. פּינטלעכע דימענשאַנאַל טאָלעראַנסעס (±0.05 מם אויף ID/OD) און פלאַךקייט (≤10 μm) געבן קאָנסיסטענט וועיפער ברעג פּאַזישאַנינג, פֿאַרבעסערן דעפּאַזישאַן יונאַפאָרמאַטי און רעדוצירן פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.
-
בערנולי קעראַמיש ענד עפֿעקטאָר — ניט-קאָנטאַקט וועיפֿער האַנדלינג פֿאַר דין און שוואַך וועיפֿערס
סט. סעראַ'ס בערנולי קעראַמישער ענד עפעקטאָר ניצט אַעראָדינאַמישן ליפט צו שעפּן וועיפערס אָן גשמיותן קאָנטאַקט. פאַבריצירט פון הויך-ריינקייט 99.8% אַלומינאַ (Al₂O₃) אָדער סיליקאָן קאַרבייד (SiC), עס פֿעיִקייטן פּרעציזיע-מאַשינד נאַזאַלז וואָס אַרויסוואַרפן דרוק גאַז צו שאַפֿן אַ דין לופט פילם צווישן דעם ענד עפעקטאָר און די וועיפער. דעם ניט-קאָנטאַקט פּרינציפּ עלימינירט הינטערשטן קאַנטאַמאַניישאַן, קאַנט טשיפּינג, און ייבערפלאַך שעדיקן, מאכן עס ידעאַל פֿאַר דין (≤100 μm), שוואַך, אָדער וואָרפּט וועיפערס. די קעראַמישע סאַבסטראַט גיט הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa פֿאַר Al₂O₃; אַרויף צו 550–600 MPa פֿאַר SiC), נידעריק מאַסע, און ויסגעצייכנט דימענשאַנאַל פעסטקייַט, ינשורינג ריפּיטאַבאַל פּאַזישאַנינג אין הויך-גיכקייַט וועיפער אַריבערפירן ראָבאָץ.
