-
Oanpaste ferwurking fan Al2O3 keramyske waferchuck
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
ST.CERA oanpaste healgeleiderapparatuer keramyske plaat
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
12-inch aluminiumoxide fakuümchuck foar 300mm waferferwurking
De 12-inch fakuümklauw fan St.Cera is presyzje makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃) foar it behanneljen fan wafers fan 300 mm. De klauw hat in fyn groefd oerflak (groefbreedte 0,5–1,0 mm, steek 2–3 mm) om in unifoarme fakuümferdieling oer de hiele diameter fan 300 mm te garandearjen. De flakheid wurdt binnen 5 μm bewarre, wêrtroch't de wafers kromfrij fêstmakke wurde kinne by it snijden, slypjen oan 'e efterkant en ynspeksje. De hege bûgingssterkte (361 MPa) en hurdens (16 GPa) fan it materiaal garandearje lange-termyn dimensjonele stabiliteit, sels ûnder werhelle fakuümsyklusen.
-
Alumina Keramyske Eineffektor mei Yntegreare Fakuümkanalen
De alumina fakuüm-eindeffektor fan St.Cera yntegreart presyzje-bewurke fakuümkanalen en sûchgatten direkt yn 'e 99,8% hege suverens aluminiumoxide-lichem. Dit ûntwerp elimineert eksterne fakuümpads, wêrtroch direkte waferopname mei unifoarme hâldkrêft mooglik is. De hege bûgingssterkte (361 MPa) en hurdens (16 GPa) fan it materiaal soargje foar lange-termyn dimensjonele stabiliteit ûnder werhelle fakuümsyklusen. De flakheid oer it padgebiet wurdt binnen 10 μm hâlden, wêrtroch waferstress en brekken foarkomme. Fakuümpoarten binne oan 'e efterste montageflens pleatst foar maklike yntegraasje mei OEM-robotarmen.
-
ESD-feilige aluminiumoxide keramyske ûnderdielen foar statysk gefoelige waferbehanneling
De ESD-feilige aluminiumoxide keramyske ûnderdielen fan St.Cera wurde makke fan 99,8% hege suverens Al₂O₃ mei in oanpaste oerflakweerstand fan 10⁶–10⁹ Ω/sq, berikt troch in eigen doping- of coatingproses. Dizze ûnderdielen ferdriuwe effektyf statyske lading, wêrtroch elektrostatyske skea oan gefoelige healgeleiderwafers en apparaten foarkomt. It basismateriaal behâldt syn hege bûgingssterkte (361 MPa), hurdens (16 GPa) en diëlektryske sterkte (15×10⁶ V/m). ESD-feilige keramyske ûnderdielen omfetsje eineffektoren, liftpinnen, liedingsrails en oanpaste fixtures foar FAB-automatisearring.
-
Keramyske reserveûnderdielen foar healgeleidersonde-apparatuer
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Keramyske plaat healgeleider apparatuerdrager
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Keramyske reserveûnderdielen foar healgeleiderapparatuer
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Hege-suverens aluminiumoxide keramyske sealring foar hege-temperatuer keamerfersegeling
De keramyske sealingring fan St.Cera is ûntworpen as in alternatyf foar polymear O-ringen yn ekstreme omjouwings dêr't elastomeren ôfbrekke. Dizze stive sealingring, makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), wurdt brûkt yn statyske sealingtapassingen - typysk kombinearre mei in sêfte metalen of grafytpakking - om betroubere fakuüm- of gasynhâld te leverjen by temperatueren oant 800 °C en yn agressive plasma- of gemyske omjouwings. It materiaal biedt nul útgassing, hege druksterkte (ûnderlizzende bûgingssterkte 361 MPa), en gemyske inertheid (bestindich tsjin halogenen, soeren en alkaliën útsein HF). Presyzje-oerlappende sealingoerflakken (flakheid ≤5 μm, oerflakteruwheid Ra ≤0,2 μm) soargje foar lekdicht kontakt mei passende metalen of keramyske komponinten.
-
Fokusring foar keamer mei hege suverens fan aluminiumoxide foar plasma-ets- en CVD-systemen
De keamerfokusring fan St.Cera is in kritysk ûnderdiel fan 'e proseskit dat brûkt wurdt yn plasma-ets-, CVD- en PVD-healgeliederapparatuer. De ring, dy't makke is fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), omfiemet de waferrâne om it plasma te beheinen en de hoekferdieling fan 'e ionen te optimalisearjen, wêrtroch't de etsuniformiteit oer it waferoerflak ferbettere wurdt. It materiaal biedt útsûnderlike plasmaresistinsje, hege diëlektryske sterkte (15 × 10⁶ V/m) en termyske stabiliteit oant 1600 °C, wat soarget foar betrouberens op lange termyn yn agressive plasma-omjouwings op basis fan fluor of chloor. Presyzje-slypte ID/OD en flakheid (≤10 μm) meitsje krekte posysjonearring fan 'e waferrâne mooglik, wêrtroch rânedefekten en dieltsjegeneraasje wurde fermindere.
-
Heech-suvere aluminiumoxide keramyske ring foar CVD / PVD-proseskeamers
De keramyske ring fan St.Cera is spesifyk ûntworpen foar gebrûk yn CVD (Chemical Vapor Deposition) en PVD (Physical Vapor Deposition) proseskeamers. Dizze ring, makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), tsjinnet as in keamerfoering, fokusring of proseskitkomponint om plasma te beheinen en keamerwanden te beskermjen tsjin eroazje. It materiaal biedt poerbêste plasmaresistinsje, hege diëlektryske sterkte (15 × 10⁶ V/m), en termyske stabiliteit oant 1600 °C, wat soarget foar in lange libbensdoer yn agressive fluor-basearre plasma-omjouwings. Krekte dimensjonele tolerânsjes (± 0,05 mm op ID/OD) en flakheid (≤ 10 μm) meitsje in konsekwinte waferrâneposysje mooglik, wêrtroch't de ôfsettingsuniformiteit ferbettere wurdt en dieltsjegeneraasje fermindere wurdt.
-
Bernoulli Keramyske Eineffektor - Kontaktleaze waferbehanneling foar tinne en fragile wafers
De Bernoulli keramyske ein-effektor fan St.Cera brûkt aerodynamyske lift om wafers sûnder fysyk kontakt te behanneljen. Makke fan hege suverens 99,8% aluminiumoxide (Al₂O₃) of silisiumkarbid (SiC), hat it presyzje-bewurke nozzles dy't gas ûnder druk útstjitte om in tinne loftfilm te meitsjen tusken de ein-effektor en de wafer. Dit kontaktleaze prinsipe elimineert fersmoarging oan 'e efterkant, it ôfbrokkeljen fan rânen en oerflakskea, wêrtroch it ideaal is foar tinne (≤100 μm), kwetsbere of kromme wafers. It keramyske substraat biedt hege bûgingssterkte (361 MPa foar Al₂O₃; oant 550–600 MPa foar SiC), lege massa en poerbêste dimensjonele stabiliteit, wêrtroch werhelle posysjonearring yn hege-snelheid wafer-oerdrachtrobots mooglik is.
