-
Prosesu wedi'i Addasu o Chuck Wafer Ceramig Al2O3
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Plât Ceramig Offer Lled-ddargludyddion wedi'i Addasu ST.CERA
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Chuck Gwactod Alwmina 12-Modfedd ar gyfer Prosesu Wafer 300mm
Mae ciwc gwactod 12 modfedd St.Cera wedi'i beiriannu'n fanwl gywir o alwmina purdeb uchel 99.8% (Al₂O₃) ar gyfer trin wafferi 300mm. Mae gan y ciwc arwyneb â rhigolau mân (lled y rhigol 0.5–1.0 mm, traw 2–3 mm) i sicrhau dosbarthiad gwactod unffurf ar draws y diamedr 300mm cyfan. Cynhelir gwastadrwydd o fewn 5 μm, gan alluogi gosod wafferi heb ystofio wrth ddisio, malu cefn ac archwilio. Mae cryfder plygu uchel y deunydd (361 MPa) a'i galedwch (16 GPa) yn gwarantu sefydlogrwydd dimensiynol hirdymor hyd yn oed o dan gylchoedd gwactod dro ar ôl tro.
-
Effeithydd Terfynol Ceramig Alwmina gyda Sianeli Gwactod Integredig
Mae effeithydd pen gwactod alwmina St.Cera yn integreiddio sianeli gwactod wedi'u peiriannu'n fanwl gywir a thyllau sugno yn uniongyrchol i'r corff alwmina purdeb uchel 99.8%. Mae'r dyluniad hwn yn dileu padiau gwactod allanol, gan alluogi codi waffer yn uniongyrchol gyda grym dal unffurf. Mae cryfder plygu uchel y deunydd (361 MPa) a'i galedwch (16 GPa) yn sicrhau sefydlogrwydd dimensiynol hirdymor o dan gylchoedd gwactod dro ar ôl tro. Cynhelir gwastadrwydd ar draws ardal y pad o fewn 10 μm, gan atal straen a thorri waffer. Mae porthladdoedd gwactod wedi'u lleoli yn y fflans mowntio cefn ar gyfer integreiddio hawdd â breichiau robot OEM.
-
Rhannau Ceramig Alwmina Diogel o ran ESD ar gyfer Trin Wafers Sensitif i Statig
Mae rhannau ceramig alwmina diogel ESD (rhyddhau electrostatig) St.Cera wedi'u cynhyrchu o 99.8% o Al₂O₃ purdeb uchel gyda gwrthiant arwyneb wedi'i deilwra o 10⁶–10⁹ Ω/sg, a gyflawnir trwy broses dopio neu orchuddio perchnogol. Mae'r rhannau hyn yn gwasgaru gwefr statig yn effeithiol, gan atal difrod electrostatig i wafferi a dyfeisiau lled-ddargludyddion sensitif. Mae'r deunydd sylfaen yn cadw ei gryfder plygu uchel (361 MPa), ei galedwch (16 GPa), a'i gryfder dielectrig (15×10⁶ V/m). Mae rhannau ceramig diogel ESD yn cynnwys effeithyddion diwedd, pinnau codi, rheiliau canllaw, a gosodiadau wedi'u teilwra ar gyfer awtomeiddio FAB.
-
Rhannau Sbâr Ceramig ar gyfer Offer Prob Lled-ddargludyddion
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Cludwr Offer Lled-ddargludyddion Plât Ceramig
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Rhannau Sbâr Cerameg Offer Lled-ddargludyddion
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Cylch Selio Ceramig Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Selio Siambr Tymheredd Uchel
Mae cylch selio ceramig St.Cera wedi'i gynllunio fel dewis arall yn lle cylchoedd-O polymer mewn amgylcheddau eithafol lle mae elastomerau'n diraddio. Wedi'i gynhyrchu o 99.8% o alwmina purdeb uchel (Al₂O₃), defnyddir y cylch selio anhyblyg hwn mewn cymwysiadau selio statig - fel arfer wedi'i baru â gasged metel meddal neu graffit - i ddarparu gwactod neu nwy dibynadwy ar dymheredd hyd at 800°C ac mewn amgylcheddau plasma neu gemegol ymosodol. Mae'r deunydd yn cynnig dim all-nwyo, cryfder cywasgol uchel (cryfder plygu sylfaenol 361 MPa), ac anadweithioldeb cemegol (sy'n gwrthsefyll halogenau, asidau ac alcalïau ac eithrio HF). Mae arwynebau selio wedi'u lapio'n fanwl gywir (gwastadrwydd ≤5 μm, garwedd arwyneb Ra ≤0.2 μm) yn sicrhau cyswllt sy'n dal gollyngiadau â chydrannau metel neu seramig sy'n paru.
-
Cylch Ffocws Siambr Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Systemau Ysgythru Plasma a CVD
Mae cylch ffocws siambr St.Cera yn gydran pecyn proses hanfodol a ddefnyddir mewn offer lled-ddargludyddion plasma, CVD, a PVD. Wedi'i gynhyrchu o 99.8% alwmina purdeb uchel (Al₂O₃), mae'r cylch yn amgylchynu ymyl y wafer i gyfyngu plasma ac optimeiddio dosbarthiad onglog ïon, a thrwy hynny wella unffurfiaeth yr ysgythriad ar draws wyneb y wafer. Mae'r deunydd yn cynnig ymwrthedd plasma eithriadol, cryfder dielectrig uchel (15 × 10⁶ V/m), a sefydlogrwydd thermol hyd at 1600°C, gan sicrhau dibynadwyedd hirdymor mewn amgylcheddau plasma ymosodol sy'n seiliedig ar fflworin neu glorin. Mae ID/OD wedi'i falu'n fanwl gywir a gwastadrwydd (≤10 μm) yn galluogi lleoli ymyl y wafer yn gywir, gan leihau diffygion ymyl a chynhyrchu gronynnau.
-
Cylch Ceramig Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Siambr Prosesu CVD / PVD
Mae modrwy serameg St.Cera wedi'i chynllunio'n benodol i'w defnyddio mewn siambrau prosesu CVD (Dyddodiad Anwedd Cemegol) a PVD (Dyddodiad Anwedd Ffisegol). Wedi'i gynhyrchu o 99.8% o alwmina purdeb uchel (Al₂O₃), mae'r fodrwy hon yn gwasanaethu fel leinin siambr, modrwy ffocws, neu gydran pecyn prosesu i gyfyngu plasma ac amddiffyn waliau'r siambr rhag erydiad. Mae'r deunydd yn cynnig ymwrthedd plasma rhagorol, cryfder dielectrig uchel (15×10⁶ V/m), a sefydlogrwydd thermol hyd at 1600°C, gan sicrhau oes gwasanaeth hir mewn amgylcheddau plasma ymosodol sy'n seiliedig ar fflworin. Mae goddefiannau dimensiynol manwl gywir (±0.05 mm ar ID/OD) a gwastadrwydd (≤10 μm) yn galluogi lleoli ymyl wafer yn gyson, gan wella unffurfiaeth dyddodiad a lleihau cynhyrchu gronynnau.
-
Effeithydd Pen Ceramig Bernoulli — Trin Wafers Di-gyswllt ar gyfer Wafers Tenau a Bregus
Mae effeithydd pen ceramig Bernoulli St.Cera yn defnyddio lifft aerodynamig i drin wafferi heb gyswllt corfforol. Wedi'i gynhyrchu o alwmina 99.8% purdeb uchel (Al₂O₃) neu silicon carbid (SiC), mae'n cynnwys ffroenellau wedi'u peiriannu'n fanwl gywir sy'n alldaflu nwy dan bwysau i greu ffilm aer denau rhwng yr effeithydd pen a'r waffer. Mae'r egwyddor ddi-gyswllt hon yn dileu halogiad cefn, naddu ymylon, a difrod i'r wyneb, gan ei wneud yn ddelfrydol ar gyfer wafferi tenau (≤100 μm), bregus, neu ystumiedig. Mae'r swbstrad ceramig yn darparu cryfder plygu uchel (361 MPa ar gyfer Al₂O₃; hyd at 550–600 MPa ar gyfer SiC), màs isel, a sefydlogrwydd dimensiwn rhagorol, gan sicrhau lleoli ailadroddadwy mewn robotiaid trosglwyddo wafferi cyflym.
