-
Habaynta Habaysan ee Al2O3 Wafer Ceramic Chuck
Iyada oo lagu sameeyay cadaadis qabow oo isostatic ah oo lagu dhex shubay heerkul sare, ka dibna si sax ah loo farsameeyay oo loo safeeyey, qaybaha dayactirka dhoobada ah waxay buuxin karaan shuruudaha adag ee qalabka semiconductor-ka iyadoo leh astaamo u gaar ah iska caabbinta xirashada, iska caabbinta daxalka, ballaarinta kulaylka oo hooseeya, iyo dahaarka. Dhoobada waxay ka shaqayn kartaa noocyo badan oo qalabka wax soo saarka semiconductor-ka ah oo leh heerkul sare, faakiyuum ama gaas daxalaysan muddo dheer.
Waxaa laga sameeyay budada alumina saafi ah oo sareysa, oo lagu farsameeyay cadaadis isostatic qabow, sintering heerkul sare iyo dhammaystir sax ah, waxay gaari kartaa dulqaad cabbir ilaa ± 0.001 mm, dhammaystirka dusha sare Ra 0.1, iska caabbinta heerkulka 1600℃.
-
Qalabka Semiconductor-ka ee gaarka loo leeyahay ee ST.CERA Saxanka Dhoobada
Iyada oo lagu sameeyay cadaadis qabow oo isostatic ah oo lagu dhex shubay heerkul sare, ka dibna si sax ah loo farsameeyay oo loo safeeyey, qaybaha dayactirka dhoobada ah waxay buuxin karaan shuruudaha adag ee qalabka semiconductor-ka iyadoo leh astaamo u gaar ah iska caabbinta xirashada, iska caabbinta daxalka, ballaarinta kulaylka oo hooseeya, iyo dahaarka. Dhoobada waxay ka shaqayn kartaa noocyo badan oo qalabka wax soo saarka semiconductor-ka ah oo leh heerkul sare, faakiyuum ama gaas daxalaysan muddo dheer.
Waxaa laga sameeyay budada alumina saafi ah oo sareysa, oo lagu farsameeyay cadaadis isostatic qabow, sintering heerkul sare iyo dhammaystir sax ah, waxay gaari kartaa dulqaad cabbir ilaa ± 0.001 mm, dhammaystirka dusha sare Ra 0.1, iska caabbinta heerkulka 1600℃.
-
12-Inch Alumina Vacuum Chuck oo loogu talagalay 300mm Wafer Processing
Qalabka faakiyuumka ee St.Cera oo ah 12-inji ayaa si sax ah loo farsameeyay laga bilaabo 99.8% alumina saafi ah oo sareysa (Al₂O₃) si loogu maareeyo 300mm wafer. Qalabka faakiyuumka wuxuu leeyahay dusha sare oo jeexan (ballaca godka 0.5–1.0 mm, dhererka 2–3 mm) si loo hubiyo qaybinta faakiyuumka oo isku mid ah dhexroorka 300mm oo dhan. Fidsanaantiisa waxaa lagu hayaa 5 μm gudahood, taasoo suurtogalinaysa in la hagaajiyo wafer aan lahayn wafer inta lagu jiro jarista, shiidida gadaal, iyo kormeerka. Xoogga dabacsanaanta sare ee walxaha (361 MPa) iyo adkaanta (16 GPa) waxay dammaanad qaadayaan xasillooni cabbir muddo dheer ah xitaa marka lagu jiro wareegyada faakiyuumka ee soo noqnoqda.
-
Waxyeelaha Dhammaadka Dhoobada Alumina oo leh Kanaallo Faakiyuum oo Isku-dhafan
Qalabka wax soo saarka faakiyuumka ee alumina ee St.Cera wuxuu si toos ah ugu daraa kanaallada faakiyuumka ee saxda ah iyo godadka nuugista jirka alumina ee saafiga sare leh ee 99.8%. Naqshaddani waxay meesha ka saartaa faakiyuumka dibadda, taasoo suurtogalinaysa in si toos ah loo qaado wafer iyadoo la adeegsanayo xoog isku mid ah. Xoogga dabacsanaanta sare ee walaxda (361 MPa) iyo adkaanta (16 GPa) waxay hubiyaan xasilloonida cabbirka muddada dheer iyadoo la raacayo wareegyada faakiyuumka ee soo noqnoqda. Fidsanaanta aagga faakiyuumka waxaa lagu hayaa gudaha 10 μm, taasoo ka hortagaysa walbahaarka wafer iyo jabka. Dekedaha faakiyuumka waxay ku yaalliin flange-ka dambe si loogu fududeeyo isku-dhafka gacmaha robot-ka OEM.
-
Qaybaha Dhoobada ee Alumina ee Alumina ee ESD-Amaan ah ee Maareynta Wafer-ka Xasaasiga ah ee Joogtada ah
Qaybaha dhoobada ee alumina ee St.Cera ee ESD (daadinta elektrostatic) ee badbaadada leh waxaa laga soo saaray 99.8% nadiifnimo sare leh oo Al₂O₃ ah iyadoo leh iska caabin dusha sare ah oo loo habeeyey oo ah 10⁶–10⁹ Ω/sq, oo lagu gaaro habka dahaadhka gaarka ah ama dahaarka. Qaybahani si wax ku ool ah ayay u baabi'iyaan kharashka taagan, iyagoo ka hortagaya waxyeelada elektrostatic-ka ee waferada iyo aaladaha xasaasiga ah ee semiconductor-ka. Qalabka salka ah wuxuu hayaa xooggiisa dabacsan ee sare (361 MPa), adkaanta (16 GPa), iyo xoogga dielectric (15×10⁶ V/m). Qaybaha dhoobada ee ESD ee badbaadada leh waxaa ka mid ah kuwa wax ka beddela dhammaadka, biinanka kor u qaada, biinanka hagaha, iyo qalabka gaarka ah ee otomaatiga FAB.
-
Qaybaha Dayactirka Dhoobada ee Qalabka Baaritaanka Semiconductor
Iyada oo lagu sameeyay cadaadis qabow oo isostatic ah oo lagu dhex shubay heerkul sare, ka dibna si sax ah loo farsameeyay oo loo safeeyey, qaybaha dayactirka dhoobada ah waxay buuxin karaan shuruudaha adag ee qalabka semiconductor-ka iyadoo leh astaamo u gaar ah iska caabbinta xirashada, iska caabbinta daxalka, ballaarinta kulaylka oo hooseeya, iyo dahaarka. Dhoobada waxay ka shaqayn kartaa noocyo badan oo qalabka wax soo saarka semiconductor-ka ah oo leh heerkul sare, faakiyuum ama gaas daxalaysan muddo dheer.
Waxaa laga sameeyay budada alumina saafi ah oo sareysa, oo lagu farsameeyay cadaadis isostatic qabow, sintering heerkul sare iyo dhammaystir sax ah, waxay gaari kartaa dulqaad cabbir ilaa ± 0.001 mm, dhammaystirka dusha sare Ra 0.1, iska caabbinta heerkulka 1600℃.
-
Qalabka Qalabka Semiconductor-ka ee Saxanka Dhoobada
Iyada oo lagu sameeyay cadaadis qabow oo isostatic ah oo lagu dhex shubay heerkul sare, ka dibna si sax ah loo farsameeyay oo loo safeeyey, qaybaha dayactirka dhoobada ah waxay buuxin karaan shuruudaha adag ee qalabka semiconductor-ka iyadoo leh astaamo u gaar ah iska caabbinta xirashada, iska caabbinta daxalka, ballaarinta kulaylka oo hooseeya, iyo dahaarka. Dhoobada waxay ka shaqayn kartaa noocyo badan oo qalabka wax soo saarka semiconductor-ka ah oo leh heerkul sare, faakiyuum ama gaas daxalaysan muddo dheer.
Waxaa laga sameeyay budada alumina saafi ah oo sareysa, oo lagu farsameeyay cadaadis isostatic qabow, sintering heerkul sare iyo dhammaystir sax ah, waxay gaari kartaa dulqaad cabbir ilaa ± 0.001 mm, dhammaystirka dusha sare Ra 0.1, iska caabbinta heerkulka 1600℃.
-
Qalabka Semiconductor Qaybaha Dayactirka Dhoobada
Iyada oo lagu sameeyay cadaadis qabow oo isostatic ah oo lagu dhex shubay heerkul sare, ka dibna si sax ah loo farsameeyay oo loo safeeyey, qaybaha dayactirka dhoobada ah waxay buuxin karaan shuruudaha adag ee qalabka semiconductor-ka iyadoo leh astaamo u gaar ah iska caabbinta xirashada, iska caabbinta daxalka, ballaarinta kulaylka oo hooseeya, iyo dahaarka. Dhoobada waxay ka shaqayn kartaa noocyo badan oo qalabka wax soo saarka semiconductor-ka ah oo leh heerkul sare, faakiyuum ama gaas daxalaysan muddo dheer.
Waxaa laga sameeyay budada alumina saafi ah oo sareysa, oo lagu farsameeyay cadaadis isostatic qabow, sintering heerkul sare iyo dhammaystir sax ah, waxay gaari kartaa dulqaad cabbir ilaa ± 0.001 mm, dhammaystirka dusha sare Ra 0.1, iska caabbinta heerkulka 1600℃.
-
Giraangiraha Shaabadda Ceramic-ka ee Alumina ee Nadiifka Sare leh ee Shaabadda Qolka Heerkulka Sare leh
Giraanta shaabadda dhoobada ah ee St.Cera waxaa loogu talagalay inay beddel u noqoto giraanta O-polymer-ka ee ku jirta deegaannada aadka u daran halkaas oo elastomers-ku ay burburaan. Waxaa laga sameeyay 99.8% alumina saafi ah oo sareysa (Al₂O₃), giraanta shaabadda adag waxaa loo isticmaalaa codsiyada shaabadda taagan - badanaa waxaa lagu lamaaniyaa gaaska birta jilicsan ama graphite - si loo bixiyo haynta faakuumka ama gaaska oo la isku halleyn karo heerkulka ilaa 800°C iyo deegaannada daran ee plasma ama kiimikada. Maaddadu waxay bixisaa gaas eber ah, xoog cadaadis sare leh (xoogga dabacsan ee salka ku jira 361 MPa), iyo firfircooni la'aan kiimiko ah (u adkaysta halogens, asiidhyo, iyo alkali marka laga reebo HF). Meelaha shaabadda ee si sax ah loo daboolay (fidsanaan ≤5 μm, qallafsanaanta dusha sare Ra ≤0.2 μm) waxay hubisaa in si adag loo taabto qaybaha birta ama dhoobada isku dhafan.
-
Giraanta Diiradda Sare ee Alumina Chamber ee loogu talagalay Nidaamyada Plasma Etch & CVD
Giraanta diiradda saarta qolka St.Cera waa qayb muhiim ah oo qalabka habka loo isticmaalo qalabka plasma etch, CVD, iyo PVD semiconductor. Waxaa laga soo saaray 99.8% alumina saafi ah oo sare (Al₂O₃), giraantu waxay ku wareegsan tahay geeska wafer si ay u xaddido balaasmaha una wanaajiso qaybinta xagasha ion, taasoo hagaajinaysa isku-dhafka etch ee dusha sare ee wafer-ka. Maaddadu waxay bixisaa iska caabin balaasma oo heer sare ah, xoog dielectric sare (15×10⁶ V/m), iyo xasillooni kuleyl ilaa 1600°C, taasoo hubinaysa isku hallayn muddo dheer ah oo ku jirta jawi balaasma oo ku salaysan fluorine ama chlorine. Aqoonsiga dhulka saxda ah iyo fidsanaanta (≤10 μm) waxay suurtogalinaysaa meelaynta geeska wafer sax ah, yareynta cilladaha geeska iyo soo saarista walxaha.
-
Giraan Dhoobada Alumina ee Nadiifka Sare leh ee loogu talagalay Qolalka Habka CVD / PVD
Giraangiraha dhoobada ah ee St.Cera waxaa si gaar ah loogu talagalay in loogu isticmaalo qolalka habka CVD (Kiimikada Uumiga Kala-bixinta) iyo PVD (Qalabka Kala-bixinta Uumiga Jirka). Waxaa laga soo saaray 99.8% alumina saafi ah oo sareysa (Al₂O₃), giraantani waxay u adeegtaa sidii dahaarka qolka, giraanta diiradda saarta, ama qaybta qalabka habka si loo xaddido balaasmaha loona ilaaliyo derbiyada qolka nabaad-guurka. Maaddadu waxay bixisaa iska caabin balaasmaha oo aad u fiican, xoog dielectric sare (15×10⁶ V/m), iyo xasillooni kuleyl ilaa 1600°C, taasoo hubinaysa cimri dheer oo adeeg ah oo ku jira jawi balaasmaha ku salaysan fluorine oo gardarro leh. Dulqaad cabbir oo sax ah (±0.05 mm oo ku saabsan ID/OD) iyo fidsanaan (≤10 μm) waxay suurtogal ka dhigaysaa booska geeska wafer ee joogtada ah, hagaajinta isku-dhafka dhigista iyo yaraynta soo saarista walxaha.
-
Waxyeelaha Dhammaadka Dhoobada ee Bernoulli — Maareynta Wafer-ka Aan Taabashada Lahayn ee Wafer-ka Khafiifka ah iyo kuwa Jilicsan
Qalabka wax soo saarka dhammaadka dhoobada ee St.Cera's Bernoulli wuxuu adeegsadaa kor u qaadis hawo-qaadis ah si uu u maareeyo buskudka iyada oo aan la taaban jirka. Waxaa laga sameeyay 99.8% alumina (Al₂O₃) ama silicon carbide (SiC), waxay leedahay tuubooyin si sax ah loo farsameeyay oo soo saara gaaska cadaadiska leh si loo abuuro filim hawo khafiif ah oo u dhexeeya qalabka wax soo saarka dhammaadka iyo buskudka. Mabda'an aan taabashada lahayn wuxuu baabi'iyaa wasakhda dhabarka, jajabka geeska, iyo dhaawaca dusha sare, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon buskudka khafiifka ah (≤100 μm), buskudka jilicsan, ama qalloocan. Substrate-ka dhoobada ah wuxuu bixiyaa xoog dabacsan oo sare (361 MPa ee Al₂O₃; ilaa 550–600 MPa ee SiC), cufnaan hooseeya, iyo xasillooni cabbir oo aad u fiican, taasoo hubinaysa meelaynta lagu celin karo ee robotyada wareejinta buskudka xawaaraha sare leh.
