-
د Al2O3 سیرامیک ویفر چک دودیز پروسس کول
د سړې ایزوسټیټیک فشار په واسطه جوړ شوی او د لوړې تودوخې لاندې سینټر شوی، بیا په دقت سره ماشین شوی او پالش شوی، د سیرامیک پرزې کولی شي د سیمیکمډکټر تجهیزاتو هر ډول سخت اړتیاوې پوره کړي د اغوستلو مقاومت، د زنګ مقاومت، ټیټ حرارتي پراختیا، او موصلیت ځانګړتیاو سره. سیرامیک کولی شي د اوږدې مودې لپاره د لوړې تودوخې، ویکیوم یا زنګ وهونکي ګاز حالت سره د ډیری ډوله سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو کې کار وکړي.
د لوړ پاکوالي الومینا پوډر څخه جوړ شوی، د سړې ایزوسټیټیک فشار، لوړ تودوخې سینټرینګ او دقیق پای ته رسولو سره پروسس شوی، دا کولی شي د ابعاد زغم ±0.001 ملي میتر، د سطحې پای Ra 0.1، د تودوخې مقاومت 1600 ℃ ته ورسیږي.
-
د ST.CERA دودیز سیمیکمډکټر تجهیزات سیرامیک پلیټ
د سړې ایزوسټیټیک فشار په واسطه جوړ شوی او د لوړې تودوخې لاندې سینټر شوی، بیا په دقت سره ماشین شوی او پالش شوی، د سیرامیک پرزې کولی شي د سیمیکمډکټر تجهیزاتو هر ډول سخت اړتیاوې پوره کړي د اغوستلو مقاومت، د زنګ مقاومت، ټیټ حرارتي پراختیا، او موصلیت ځانګړتیاو سره. سیرامیک کولی شي د اوږدې مودې لپاره د لوړې تودوخې، ویکیوم یا زنګ وهونکي ګاز حالت سره د ډیری ډوله سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو کې کار وکړي.
د لوړ پاکوالي الومینا پوډر څخه جوړ شوی، د سړې ایزوسټیټیک فشار، لوړ تودوخې سینټرینګ او دقیق پای ته رسولو سره پروسس شوی، دا کولی شي د ابعاد زغم ±0.001 ملي میتر، د سطحې پای Ra 0.1، د تودوخې مقاومت 1600 ℃ ته ورسیږي.
-
د 300 ملي میتر ویفر پروسس کولو لپاره 12 انچه ایلومینا ویکیوم چک
د سینټ سیرا ۱۲ انچه ویکیوم چک د ۳۰۰ ملي میتر ویفر اداره کولو لپاره د ۹۹.۸٪ لوړ پاکوالي ایلومینا (Al₂O₃) څخه دقیق انجینر شوی دی. چک یو ښه نالی شوی سطح (د نالی پلنوالی ۰.۵-۱.۰ ملي میتر، پیچ ۲-۳ ملي میتر) لري ترڅو د ټول ۳۰۰ ملي میتر قطر کې د ویکیوم یونیفورم ویش ډاډمن کړي. فلیټنس د ۵ μm دننه ساتل کیږي، چې د ډایسینګ، شاته اړخ ګرینډینګ، او تفتیش په جریان کې د وارپ فری ویفر فکسیشن فعالوي. د موادو لوړ انعطاف ځواک (۳۶۱ MPa) او سختۍ (۱۶ GPa) حتی د تکراري ویکیوم دورې لاندې اوږدمهاله ابعادي ثبات تضمینوي.
-
د مدغم ویکیوم چینلونو سره د ایلومینا سیرامیک پای اغیز کوونکی
د سینټ سیرا د ایلومینا ویکیوم پای اغیز کوونکی د دقیق ماشین شوي ویکیوم چینلونه او سکشن سوري په مستقیم ډول د 99.8٪ لوړ پاکوالي ایلومینا بدن کې مدغم کوي. دا ډیزاین بهرني ویکیوم پیډونه له مینځه وړي، د یونیفورم ساتلو ځواک سره مستقیم ویفر راټولولو ته اجازه ورکوي. د موادو لوړ انعطاف ځواک (361 MPa) او سختۍ (16 GPa) د تکراري ویکیوم دورې لاندې اوږدمهاله ابعادي ثبات تضمینوي. د پیډ ساحې په اوږدو کې فلیټنس د 10 μm دننه ساتل کیږي، د ویفر فشار او ماتیدو مخه نیسي. ویکیوم پورټونه د OEM روبوټ وسلو سره د اسانه ادغام لپاره د شا نصب کولو فلینج کې موقعیت لري.
-
د جامد-حساس ویفر اداره کولو لپاره د ESD-خوندي الومینا سیرامیک برخې
د سینټ سیرا د ESD (الیکټرو سټیټیک خارجیدو) خوندي ایلومینا سیرامیک برخې د 99.8٪ لوړ پاکوالي Al₂O₃ څخه جوړ شوي چې د 10⁶–10⁹ Ω/مربع د سطحې مقاومت سره، د ملکیت ډوپینګ یا کوټینګ پروسې له لارې ترلاسه کیږي. دا برخې په مؤثره توګه جامد چارج له مینځه وړي، حساس سیمیکمډکټر ویفرونو او وسیلو ته د الکترو سټیټیک زیان مخه نیسي. اساس مواد خپل لوړ انعطاف ځواک (361 MPa)، سختۍ (16 GPa)، او ډایالټریک ځواک (15×10⁶ V/m) ساتي. د ESD خوندي سیرامیک برخو کې د پای اغیز کونکي، د لفټ پنونه، لارښود ریلونه، او د FAB اتومات کولو لپاره دودیز فکسچر شامل دي.
-
د سیمیکمډکټر تحقیقاتو تجهیزاتو لپاره د سیرامیک اضافي پرزې
د سړې ایزوسټیټیک فشار په واسطه جوړ شوی او د لوړې تودوخې لاندې سینټر شوی، بیا په دقت سره ماشین شوی او پالش شوی، د سیرامیک پرزې کولی شي د سیمیکمډکټر تجهیزاتو هر ډول سخت اړتیاوې پوره کړي د اغوستلو مقاومت، د زنګ مقاومت، ټیټ حرارتي پراختیا، او موصلیت ځانګړتیاو سره. سیرامیک کولی شي د اوږدې مودې لپاره د لوړې تودوخې، ویکیوم یا زنګ وهونکي ګاز حالت سره د ډیری ډوله سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو کې کار وکړي.
د لوړ پاکوالي الومینا پوډر څخه جوړ شوی، د سړې ایزوسټیټیک فشار، لوړ تودوخې سینټرینګ او دقیق پای ته رسولو سره پروسس شوی، دا کولی شي د ابعاد زغم ±0.001 ملي میتر، د سطحې پای Ra 0.1، د تودوخې مقاومت 1600 ℃ ته ورسیږي.
-
د سیرامیک پلیټ سیمیکمډکټر تجهیزاتو وړونکی
د سړې ایزوسټیټیک فشار په واسطه جوړ شوی او د لوړې تودوخې لاندې سینټر شوی، بیا په دقت سره ماشین شوی او پالش شوی، د سیرامیک پرزې کولی شي د سیمیکمډکټر تجهیزاتو هر ډول سخت اړتیاوې پوره کړي د اغوستلو مقاومت، د زنګ مقاومت، ټیټ حرارتي پراختیا، او موصلیت ځانګړتیاو سره. سیرامیک کولی شي د اوږدې مودې لپاره د لوړې تودوخې، ویکیوم یا زنګ وهونکي ګاز حالت سره د ډیری ډوله سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو کې کار وکړي.
د لوړ پاکوالي الومینا پوډر څخه جوړ شوی، د سړې ایزوسټیټیک فشار، لوړ تودوخې سینټرینګ او دقیق پای ته رسولو سره پروسس شوی، دا کولی شي د ابعاد زغم ±0.001 ملي میتر، د سطحې پای Ra 0.1، د تودوخې مقاومت 1600 ℃ ته ورسیږي.
-
د سیمیکمډکټر تجهیزات د سیرامیک اضافي پرزې
د سړې ایزوسټیټیک فشار په واسطه جوړ شوی او د لوړې تودوخې لاندې سینټر شوی، بیا په دقت سره ماشین شوی او پالش شوی، د سیرامیک پرزې کولی شي د سیمیکمډکټر تجهیزاتو هر ډول سخت اړتیاوې پوره کړي د اغوستلو مقاومت، د زنګ مقاومت، ټیټ حرارتي پراختیا، او موصلیت ځانګړتیاو سره. سیرامیک کولی شي د اوږدې مودې لپاره د لوړې تودوخې، ویکیوم یا زنګ وهونکي ګاز حالت سره د ډیری ډوله سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو کې کار وکړي.
د لوړ پاکوالي الومینا پوډر څخه جوړ شوی، د سړې ایزوسټیټیک فشار، لوړ تودوخې سینټرینګ او دقیق پای ته رسولو سره پروسس شوی، دا کولی شي د ابعاد زغم ±0.001 ملي میتر، د سطحې پای Ra 0.1، د تودوخې مقاومت 1600 ℃ ته ورسیږي.
-
د لوړ حرارت خونې سیل کولو لپاره د لوړ پاکوالي الومینا سیرامیک مهر حلقه
د سینټ سیرا د سیرامیک مهر حلقه په سختو چاپیریالونو کې د پولیمر O- حلقو لپاره د بدیل په توګه ډیزاین شوې چیرې چې ایلسټومرونه تخریب کیږي. د 99.8٪ لوړ پاکوالي الومینا (Al₂O₃) څخه جوړ شوی، دا سخت مهر حلقه د جامد مهر کولو غوښتنلیکونو کې کارول کیږي - معمولا د نرم فلز یا ګرافایټ ګاسکیټ سره جوړه شوې - ترڅو د 800 درجو سانتي ګراد پورې تودوخې او په تیریدونکي پلازما یا کیمیاوي چاپیریال کې د باور وړ خلا یا ګاز کنټرول چمتو کړي. مواد صفر ګازینګ، لوړ فشاري ځواک (اصلي انعطاف وړ ځواک 361 MPa)، او کیمیاوي غیر فعالتیا (د هالوجن، اسیدونو او الکلیس په وړاندې مقاومت پرته د HF) وړاندې کوي. د دقیق لیپ شوي مهر کولو سطحې (چپتیا ≤5 μm، د سطحې ناهموارتیا Ra ≤0.2 μm) د میټینګ فلز یا سیرامیک اجزاو سره د لیک-ټیټ تماس ډاډمن کوي.
-
د پلازما ایچ او CVD سیسټمونو لپاره د لوړ پاکوالي الومینا چیمبر فوکس حلقه
د سینټ سیرا د چیمبر فوکس حلقه د پروسې کټ یوه مهمه برخه ده چې د پلازما ایچ، CVD، او PVD سیمیکمډکټر تجهیزاتو کې کارول کیږي. د 99.8٪ لوړ پاکوالي الومینا (Al₂O₃) څخه جوړ شوی، حلقه د ویفر څنډه محاصره کوي ترڅو پلازما محدود کړي او د ایون زاویه ویش غوره کړي، په دې توګه د ویفر سطحې په اوږدو کې د ایچ یووالي ښه کوي. دا مواد استثنایی پلازما مقاومت، لوړ ډایالټریک ځواک (15×10⁶ V/m)، او تر 1600 ° C پورې حرارتي ثبات وړاندې کوي، چې په تیریدونکي فلورین- یا کلورین- پر بنسټ پلازما چاپیریال کې اوږدمهاله اعتبار تضمینوي. دقیق ځمکني ID/OD او فلیټنس (≤10 μm) د ویفر څنډې دقیق موقعیت فعالوي، د څنډې نیمګړتیاوې او ذرې تولید کموي.
-
د CVD / PVD پروسس چیمبرونو لپاره د لوړ پاکوالي الومینا سیرامیک حلقه
د سینټ سیرا سیرامیک حلقه په ځانګړي ډول د CVD (کیمیاوي بخار زیرمه) او PVD (فزیکي بخار زیرمه) پروسس چیمبرونو کې د کارولو لپاره ډیزاین شوې. د 99.8٪ لوړ پاکوالي الومینا (Al₂O₃) څخه جوړ شوی، دا حلقه د چیمبر لاینر، فوکس حلقه، یا د پروسس کټ برخې په توګه کار کوي ترڅو پلازما محدود کړي او د چیمبر دیوالونه له تخریب څخه خوندي کړي. دا مواد غوره پلازما مقاومت، لوړ ډایالټریک ځواک (15×10⁶ V/m)، او تر 1600 ° C پورې حرارتي ثبات وړاندې کوي، چې په تیریدونکي فلورین پر بنسټ پلازما چاپیریال کې اوږد خدمت ژوند تضمینوي. دقیق ابعادي زغم (±0.05 ملي میتر په ID/OD) او فلیټنس (≤10 μm) د ویفر څنډې دوامداره موقعیت فعالوي، د زیرمو یووالي ښه کوي او د ذراتو تولید کموي.
-
د برنولي سیرامیک پای اغیز کوونکی - د پتلو او نازکو ویفرونو لپاره د غیر تماس ویفر اداره کول
د سینټ سیرا برنولي سیرامیک پای اغیز کوونکی د فزیکي تماس پرته د ویفرونو اداره کولو لپاره ایروډینامیک لفټ کاروي. د لوړ پاکوالي 99.8٪ ایلومینا (Al₂O₃) یا سیلیکون کاربایډ (SiC) څخه جوړ شوی، دا دقیق ماشین شوي نوزلونه لري چې فشار شوي ګاز خارجوي ترڅو د پای اغیز کوونکی او ویفر ترمنځ یو پتلی هوایی فلم رامینځته کړي. دا غیر تماس اصل د شا ککړتیا، د څنډې چپ کول، او د سطحې زیان له منځه وړي، دا د پتلو (≤100 μm)، نازک، یا خراب شوي ویفرونو لپاره مثالی کوي. د سیرامیک سبسټریټ لوړ انعطاف وړ ځواک (د Al₂O₃ لپاره 361 MPa؛ د SiC لپاره تر 550-600 MPa پورې)، ټیټ ډله، او غوره ابعادي ثبات چمتو کوي، د لوړ سرعت ویفر لیږد روبوټونو کې د تکرار وړ موقعیت ډاډمن کوي.
