-
Al2O3 керамик ваферийн чакийг захиалгаар боловсруулах
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
ST.CERA Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн захиалгат керамик хавтан
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
300 мм-ийн вафер боловсруулах зориулалттай 12 инчийн хөнгөн цагаан вакуум патч
St.Cera-ийн 12 инчийн вакуум патроныг 300 мм-ийн вафертай харьцах зориулалттай 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан исэл (Al₂O₃)-аар нарийн инженерчлэлээр хийсэн. Патроны онцлог нь нарийн ховилтой гадаргуутай (ховилын өргөн 0.5–1.0 мм, алхам 2–3 мм) бөгөөд 300 мм-ийн диаметрийн дагуу вакуум жигд тархалтыг баталгаажуулдаг. Хавтгай байдлыг 5 μм дотор хадгалдаг бөгөөд энэ нь хэрчих, ар талын нунтаглах, шалгах явцад ваферийг гажуудалгүй бэхлэх боломжийг олгодог. Материалын өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа) болон хатуулаг (16 ГПа) нь давтан вакуум циклийн үед ч урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдлыг баталгаажуулдаг.
-
Нэгдсэн вакуум сувагтай хөнгөн цагааны исэлтэй керамик төгсгөлийн эффектор
St.Cera-ийн хөнгөн цагааны ислийн вакуум төгсгөлийн эффектор нь нарийн боловсруулсан вакуум суваг болон сорох нүхийг 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны ислийн биед шууд нэгтгэдэг. Энэхүү загвар нь гаднах вакуум дэвсгэрийг арилгаж, жигд барих хүчээр шууд вафли авах боломжийг олгодог. Материалын өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа) болон хатуулаг (16 ГПа) нь давтагдсан вакуум циклийн үед урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг. Дэвсгэрийн талбайн тэгш байдлыг 10 мкм дотор хадгалж, вафлины стресс болон эвдрэлээс сэргийлдэг. OEM роботын гартай хялбар нэгтгэхийн тулд вакуум портууд нь арын бэхэлгээний фланц дээр байрладаг.
-
Статик мэдрэмтгий вафлитай харьцах зориулалттай ESD-аюулгүй хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик эд ангиуд
St.Cera-ийн ESD (цахилгаан статик цэнэг алдалт)-д аюулгүй хөнгөн цагааны исэл керамик эд ангиудыг 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оос үйлдвэрлэдэг бөгөөд 10⁶–10⁹ Ω/кв гадаргуугийн эсэргүүцэл нь өөрийн гэсэн допинг эсвэл бүрэх процессоор бий болдог. Эдгээр эд ангиуд нь статик цэнэгийг үр дүнтэйгээр сарниулж, мэдрэмтгий хагас дамжуулагч хавтан болон төхөөрөмжүүдэд электростатик гэмтлээс сэргийлдэг. Үндсэн материал нь өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа), хатуулаг (16 ГПа), диэлектрик бат бэх (15×10⁶ В/м)-ээ хадгалдаг. ESD-д аюулгүй керамик эд ангиудад төгсгөлийн эффектор, өргөгч зүү, чиглүүлэгч төмөр зам, FAB автоматжуулалтад зориулсан захиалгат бэхэлгээ багтдаг.
-
Хагас дамжуулагч датчикийн тоног төхөөрөмжийн керамик сэлбэг хэрэгсэл
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Керамик хавтан хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж зөөгч
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн керамик сэлбэг хэрэгсэл
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Өндөр температурын камер битүүмжлэх зориулалттай өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик битүүмжлэх цагираг
St.Cera-ийн керамик битүүмжлэх цагираг нь эластомерууд задалдаг онцгой орчинд полимер О-цагирагны оронд ашиглагдахаар бүтээгдсэн. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэсэн энэхүү хатуу битүүмжлэх цагиргийг 800°C хүртэлх температурт болон түрэмгий плазм эсвэл химийн орчинд найдвартай вакуум эсвэл хийн хамгаалалтыг хангахын тулд статик битүүмжлэх хэрэглээнд ашигладаг. Энэ материал нь хийн ялгаралтгүй, өндөр шахалтын бат бэх (суурь гулзайлтын бат бэх 361 МПа), химийн идэвхгүй байдал (HF-ээс бусад галоген, хүчил, шүлтэд тэсвэртэй) зэрэг давуу талуудтай. Нарийвчлалтай битүүмжлэх гадаргуу (хавтгай ≤5 μм, гадаргуугийн барзгаржилт Ra ≤0.2 μм) нь металл эсвэл керамик эд ангиудтай нэвчихээс хамгаалсан холбоо барих боломжийг олгодог.
-
Плазмын сийлбэр болон зүрх судасны системийн өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны камерын фокусын цагираг
St.Cera-ийн камерын фокусын цагираг нь плазмын сийлбэр, CVD болон PVD хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг чухал процессын хэрэгслийн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃)-ээр үйлдвэрлэсэн цагираг нь плазмыг хязгаарлаж, ионы өнцгийн тархалтыг оновчтой болгож, улмаар сийлбэрийн гадаргуу дээрх жигд байдлыг сайжруулдаг. Энэхүү материал нь онцгой плазмын эсэргүүцэл, өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангаж, түрэмгий фтор эсвэл хлор дээр суурилсан плазмын орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг. Нарийвчлалтай газардуулгын ID/OD болон тэгш байдал (≤10 μm) нь сийлбэрийн ирмэгийг нарийвчлалтай байрлуулах боломжийг олгодог бөгөөд ирмэгийн согог болон бөөмсийн үүсэлтийг бууруулдаг.
-
CVD / PVD процессын камерт зориулсан өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик цагираг
St.Cera-ийн керамик цагираг нь CVD (Химийн уурын тунадас) болон PVD (Физик уурын тунадас) процессын камерт ашиглахад зориулагдсан. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэсэн энэхүү цагираг нь плазмыг хязгаарлаж, камерын ханыг элэгдэлээс хамгаалах камерын доторлогоо, фокусын цагираг эсвэл процессын хэрэгслийн бүрэлдэхүүн хэсэг болж үйлчилдэг. Энэхүү материал нь маш сайн плазмын эсэргүүцэл, өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангаж, фтор дээр суурилсан түрэмгий плазмын орчинд удаан эдэлгээтэй ажиллах боломжийг олгодог. Нарийн хэмжээст хүлцэл (ID/OD дээр ±0.05 мм) болон хавтгай байдал (≤10 μm) нь вафлийн ирмэгийг тогтвортой байрлуулах боломжийг олгож, тунадасны жигд байдлыг сайжруулж, бөөмсийн үүсэлтийг бууруулдаг.
-
Бернулли керамик төгсгөлийн эффектор — Нимгэн ба хэврэг вафлинд зориулсан контактгүй вафли боловсруулах
St.Cera-ийн Бернулли керамик төгсгөлийн эффектор нь физик хүрэлцэхгүйгээр вафлитай харьцахдаа аэродинамик өргөлтийг ашигладаг. Өндөр цэвэршилттэй 99.8% хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) эсвэл цахиурын карбид (SiC)-ээр үйлдвэрлэсэн бөгөөд энэ нь төгсгөлийн эффектор болон вафли хооронд нимгэн агаарын хальс үүсгэхийн тулд даралттай хий ялгаруулдаг нарийн боловсруулсан цорготой. Энэхүү хүрэлцэхгүй зарчим нь ар талын бохирдол, ирмэгийн хагарал, гадаргуугийн гэмтлийг арилгадаг тул нимгэн (≤100 μм), хэврэг эсвэл муруй вафлитай харьцуулахад тохиромжтой. Керамик суурь нь өндөр гулзайлтын бат бэх (Al₂O₃-ийн хувьд 361 МПа; SiC-ийн хувьд 550–600 МПа хүртэл), бага масстай, маш сайн хэмжээст тогтвортой байдлыг хангаж, өндөр хурдтай вафли дамжуулах роботуудад давтагдах боломжтой байрлалыг баталгаажуулдаг.
