-
Al2O3 keramikas vafeļu patronas pielāgota apstrāde
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
ST.CERA pielāgota pusvadītāju iekārtu keramikas plāksne
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
12 collu alumīnija vakuuma patrona 300 mm vafeļu apstrādei
St.Cera 12 collu vakuuma patrona ir precīzi izgatavota no 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (Al₂O₃) 300 mm plākšņu apstrādei. Patronai ir smalki rievota virsma (rievas platums 0,5–1,0 mm, solis 2–3 mm), lai nodrošinātu vienmērīgu vakuuma sadalījumu visā 300 mm diametrā. Plakanums tiek saglabāts 5 μm robežās, nodrošinot plākšņu fiksāciju bez deformācijas griešanas, aizmugures slīpēšanas un pārbaudes laikā. Materiāla augstā lieces izturība (361 MPa) un cietība (16 GPa) garantē ilgtermiņa izmēru stabilitāti pat atkārtotu vakuuma ciklu laikā.
-
Alumīnija keramikas gala efektors ar integrētiem vakuuma kanāliem
St.Cera alumīnija oksīda vakuuma gala efektors integrē precīzi apstrādātus vakuuma kanālus un iesūkšanas atveres tieši 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda korpusā. Šī konstrukcija novērš ārējos vakuuma spilventiņus, nodrošinot tiešu vafeļu uzņemšanu ar vienmērīgu noturēšanas spēku. Materiāla augstā lieces izturība (361 MPa) un cietība (16 GPa) nodrošina ilgtermiņa izmēru stabilitāti atkārtotos vakuuma ciklos. Spilventiņu laukuma līdzenums tiek saglabāts 10 μm robežās, novēršot vafeļu spriegumu un lūzumu. Vakuuma porti atrodas aizmugurējā montāžas atlokā, lai nodrošinātu ērtu integrāciju ar OEM robotu rokām.
-
ESD drošas alumīnija oksīda keramikas detaļas statiski jutīgu vafeļu apstrādei
St.Cera ESD (elektrostatiskās izlādes) drošas alumīnija oksīda keramikas detaļas ir izgatavotas no 99,8 % augstas tīrības pakāpes Al₂O₃ ar pielāgotu virsmas pretestību 10⁶–10⁹ Ω/kv., kas panākta, izmantojot patentētu dopinga vai pārklāšanas procesu. Šīs detaļas efektīvi izkliedē statisko lādiņu, novēršot elektrostatiskos bojājumus jutīgām pusvadītāju plāksnēm un ierīcēm. Pamatmateriāls saglabā savu augsto lieces izturību (361 MPa), cietību (16 GPa) un dielektrisko izturību (15 × 10⁶ V/m). ESD drošas keramikas detaļas ietver gala efektorus, pacelšanas tapas, vadotnes un pielāgotus stiprinājumus FAB automatizācijai.
-
Keramikas rezerves daļas pusvadītāju zondes iekārtām
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
Keramikas plākšņu pusvadītāju iekārtu pārvadātājs
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
Pusvadītāju iekārtu keramikas rezerves daļas
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
Augstas tīrības pakāpes alumīnija keramikas blīvgredzens augstas temperatūras kameras blīvēšanai
St.Cera keramikas blīvgredzens ir izstrādāts kā alternatīva polimēru O veida gredzeniem ekstremālos apstākļos, kur elastomēri degradējas. Šis stingrais blīvgredzens, kas izgatavots no 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (Al₂O₃), tiek izmantots statiskās blīvēšanas pielietojumos — parasti kopā ar mīksta metāla vai grafīta blīvi —, lai nodrošinātu uzticamu vakuuma vai gāzes izolāciju temperatūrā līdz 800 °C un agresīvā plazmas vai ķīmiskā vidē. Materiāls neizdala gāzes, tam ir augsta spiedes izturība (pamatnes lieces izturība 361 MPa) un ķīmiskā inertitāte (izturīgs pret halogēniem, skābēm un sārmiem, izņemot HF). Precīzi slīpētas blīvēšanas virsmas (plakanums ≤5 μm, virsmas raupjums Ra ≤0,2 μm) nodrošina hermētisku kontaktu ar atbilstošajiem metāla vai keramikas komponentiem.
-
Augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda kameras fokusēšanas gredzens plazmas kodināšanas un CVD sistēmām
St.Cera kameras fokusēšanas gredzens ir kritiski svarīga procesa komplekta sastāvdaļa, ko izmanto plazmas kodināšanas, CVD un PVD pusvadītāju iekārtās. Gredzens, kas izgatavots no 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (Al₂O₃), ieskauj plāksnes malu, lai ierobežotu plazmu un optimizētu jonu leņķisko sadalījumu, tādējādi uzlabojot kodināšanas vienmērīgumu visā plāksnes virsmā. Materiāls piedāvā izcilu plazmas pretestību, augstu dielektrisko izturību (15 × 10⁶ V/m) un termisko stabilitāti līdz 1600 °C, nodrošinot ilgtermiņa uzticamību agresīvā fluora vai hlora plazmas vidē. Precīzi slīpēts iekšējais/ārējais diametrs un līdzenums (≤10 μm) nodrošina precīzu plāksnes malas pozicionēšanu, samazinot malu defektus un daļiņu veidošanos.
-
Augstas tīrības pakāpes alumīnija keramikas gredzens CVD/PVD procesa kamerām
St.Cera keramikas gredzens ir īpaši izstrādāts izmantošanai CVD (ķīmiskās tvaiku pārklāšanas) un PVD (fizikālās tvaiku pārklāšanas) procesa kamerās. Šis gredzens ir izgatavots no 99,8 % augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (Al₂O₃), un tas kalpo kā kameras oderējums, fokusēšanas gredzens vai procesa komplekta sastāvdaļa, lai ierobežotu plazmu un aizsargātu kameras sienas no erozijas. Materiāls piedāvā izcilu plazmas izturību, augstu dielektrisko izturību (15×10⁶ V/m) un termisko stabilitāti līdz 1600 °C, nodrošinot ilgu kalpošanas laiku agresīvā fluora bāzes plazmas vidē. Precīzas izmēru pielaides (±0,05 mm uz iekšējā/ārējā diametra) un līdzenums (≤10 μm) nodrošina vienmērīgu vafeļu malu pozicionēšanu, uzlabojot nogulsnēšanās vienmērīgumu un samazinot daļiņu veidošanos.
-
Bernoulli keramikas efektors — bezkontakta plākšņu apstrāde plānām un trauslām plāksnēm
St.Cera Bernoulli keramikas gala efektors izmanto aerodinamisko celtspēju, lai apstrādātu vafeļus bez fiziska kontakta. Tas ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes 99,8 % alumīnija oksīda (Al₂O₃) vai silīcija karbīda (SiC), un tam ir precīzi apstrādātas sprauslas, kas izsmidzina spiediena gāzi, lai izveidotu plānu gaisa plēvi starp gala efektoru un vafeļu. Šis bezkontakta princips novērš piesārņojumu aizmugurē, malu šķembām un virsmas bojājumiem, padarot to ideāli piemērotu plānām (≤100 μm), trauslām vai deformētām vafeļu plāksnēm. Keramikas substrāts nodrošina augstu lieces izturību (361 MPa Al₂O₃; līdz 550–600 MPa SiC), mazu masu un izcilu izmēru stabilitāti, nodrošinot atkārtojamu pozicionēšanu ātrgaitas vafeļu pārneses robotos.
