-
Prilagojena obdelava keramične vpenjalne glave Al2O3
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagojena keramična plošča za polprevodniško opremo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
12-palčna vakuumska vpenjalna glava iz aluminijevega oksida za obdelavo 300 mm rezin
12-palčna vakuumska vpenjalna glava St.Cera je natančno izdelana iz 99,8-odstotnega visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃) za rokovanje s 300 mm rezinami. Vpenjalna glava ima fino rebrasto površino (širina utora 0,5–1,0 mm, korak 2–3 mm), ki zagotavlja enakomerno porazdelitev vakuuma po celotnem premeru 300 mm. Ravnost se ohranja znotraj 5 μm, kar omogoča pritrditev rezin brez upogibanja med rezanjem, brušenjem zadnje strani in pregledovanjem. Visoka upogibna trdnost (361 MPa) in trdota (16 GPa) materiala zagotavljata dolgoročno dimenzijsko stabilnost tudi pri ponavljajočih se vakuumskih ciklih.
-
Končni efektor iz aluminijevega keramičnega oksida z integriranimi vakuumskimi kanali
St.Cera vakuumski končni efektor iz aluminijevega oksida integrira natančno obdelane vakuumske kanale in sesalne odprtine neposredno v ohišje iz 99,8-odstotnega aluminijevega oksida visoke čistosti. Ta zasnova odpravlja zunanje vakuumske blazinice, kar omogoča neposredno zajemanje rezin z enakomerno silo držanja. Visoka upogibna trdnost (361 MPa) in trdota (16 GPa) materiala zagotavljata dolgoročno dimenzijsko stabilnost pri ponavljajočih se vakuumskih ciklih. Ravnost po površini blazinice se ohranja znotraj 10 μm, kar preprečuje napetost in lom rezin. Vakuumske odprtine se nahajajo na zadnji pritrdilni prirobnici za enostavno integracijo z robotskimi rokami proizvajalcev originalne opreme.
-
Keramični deli iz aluminijevega oksida, varni pred elektrostatično naelektritvijo, za ravnanje z rezinami, občutljivimi na statično elektriko
Keramični deli iz aluminijevega oksida, varni pred elektrostatično razelektritvijo (ESD), podjetja St.Cera so izdelani iz 99,8 % visoko čistega Al₂O₃ s prilagojeno površinsko upornostjo 10⁶–10⁹ Ω/m², doseženo z lastniškim postopkom dopiranja ali premazovanja. Ti deli učinkovito odvajajo statični naboj in preprečujejo elektrostatične poškodbe občutljivih polprevodniških rezin in naprav. Osnovni material ohranja visoko upogibno trdnost (361 MPa), trdoto (16 GPa) in dielektrično trdnost (15×10⁶ V/m). Med keramične dele, varne pred elektrostatično razelektritvijo, spadajo končni efektorji, dvižni zatiči, vodila in prilagojene napeljave za avtomatizacijo FAB.
-
Keramični rezervni deli za polprevodniško sondno opremo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Nosilec polprevodniške opreme s keramično ploščo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Keramični rezervni deli za polprevodniško opremo
Keramični rezervni deli, oblikovani s hladnim izostatičnim stiskanjem in sintrani pri visoki temperaturi, nato natančno obdelani in polirani, lahko izpolnjujejo vse stroge zahteve polprevodniške opreme s svojimi lastnostmi odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji, nizkega toplotnega raztezanja in izolacije. Keramika lahko deluje v številnih vrstah polprevodniške proizvodne opreme v pogojih visoke temperature, vakuuma ali korozivnega plina dlje časa.
Izdelan je iz visoko čistega aluminijevega prahu, obdelan s hladnim izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno dodelavo, lahko doseže toleranco dimenzij do ±0,001 mm, površinsko obdelavo Ra 0,1, temperaturno odpornost 1600 ℃.
-
Tesnilni obroč iz visoko čistega aluminijevega oksida iz keramike za tesnjenje visokotemperaturnih komor
Keramični tesnilni obroč St.Cera je zasnovan kot alternativa polimernim O-tesnilnim obročem v ekstremnih okoljih, kjer se elastomeri razgrajujejo. Ta togi tesnilni obroč, izdelan iz 99,8 % visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃), se uporablja v statičnih tesnilnih aplikacijah – običajno v kombinaciji z mehkim kovinskim ali grafitnim tesnilom – za zagotavljanje zanesljivega vakuuma ali zadrževanja plinov pri temperaturah do 800 °C in v agresivnih plazemskih ali kemičnih okoljih. Material ponuja ničelno sproščanje plinov, visoko tlačno trdnost (osnovna upogibna trdnost 361 MPa) in kemično inertnost (odporen na halogene, kisline in alkalije, razen HF). Natančno lepane tesnilne površine (ravnost ≤ 5 μm, hrapavost površine Ra ≤ 0,2 μm) zagotavljajo tesnilni stik s pripadajočimi kovinskimi ali keramičnimi komponentami.
-
Fokusni obroč iz visoko čistega aluminijevega oksida za sisteme plazemskega jedkanja in CVD
Fokusni obroč v komori podjetja St.Cera je ključna komponenta procesnega kompleta, ki se uporablja v polprevodniški opremi za plazemsko jedkanje, CVD in PVD. Obroč, izdelan iz 99,8-odstotnega aluminijevega oksida visoke čistosti (Al₂O₃), obdaja rob rezine, da omeji plazmo in optimizira kotno porazdelitev ionov, s čimer izboljša enakomernost jedkanja po površini rezine. Material ponuja izjemno plazemsko odpornost, visoko dielektrično trdnost (15×10⁶ V/m) in toplotno stabilnost do 1600 °C, kar zagotavlja dolgoročno zanesljivost v agresivnih plazemskih okoljih na osnovi fluora ali klora. Natančno brušen notranji/zunanji premer in ravnost (≤10 μm) omogočata natančno pozicioniranje robov rezine, kar zmanjšuje napake na robovih in nastajanje delcev.
-
Visoko čist keramični obroč iz aluminijevega oksida za procesne komore CVD/PVD
Keramični obroč St.Cera je posebej zasnovan za uporabo v procesnih komorah CVD (kemično nanašanje iz pare) in PVD (fizično nanašanje iz pare). Izdelan je iz 99,8 % visoko čistega aluminijevega oksida (Al₂O₃) in služi kot obloga komore, fokusni obroč ali komponenta procesnega kompleta za omejevanje plazme in zaščito sten komore pred erozijo. Material ponuja odlično odpornost na plazmo, visoko dielektrično trdnost (15×10⁶ V/m) in toplotno stabilnost do 1600 °C, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo v agresivnih plazemskih okoljih na osnovi fluora. Natančne dimenzijske tolerance (±0,05 mm na notranjem/zunanjem premeru) in ravnost (≤10 μm) omogočajo dosledno pozicioniranje robov rezine, kar izboljšuje enakomernost nanašanja in zmanjšuje nastajanje delcev.
-
Bernoullijev keramični končni efektor – brezkontaktno ravnanje s tankimi in krhkimi rezinami
Keramični končni efektor Bernoulli podjetja St.Cera uporablja aerodinamični vzgon za rokovanje z rezinami brez fizičnega stika. Izdelan je iz visoko čistega 99,8-odstotnega aluminijevega oksida (Al₂O₃) ali silicijevega karbida (SiC) in ima natančno obdelane šobe, ki izbrizgavajo stisnjen plin in ustvarijo tanek zračni film med končnim efektorjem in rezino. To načelo brez stika odpravlja kontaminacijo zadnje strani, krušenje robov in poškodbe površine, zaradi česar je idealen za tanke (≤100 μm), krhke ali ukrivljene rezine. Keramična podlaga zagotavlja visoko upogibno trdnost (361 MPa za Al₂O₃; do 550–600 MPa za SiC), majhno maso in odlično dimenzijsko stabilnost, kar zagotavlja ponovljivo pozicioniranje v robotih za prenos rezin z visoko hitrostjo.
