-
Al2O3 keramiki wafer çarhynyň ýörite işlenilişi
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
ST.CERA Ýarymgeçiriji enjamlarynyň ýöriteleşdirilen keramiki plastinasy
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
300 mm plitalary gaýtadan işlemek üçin 12 dýuýmlyk alýumin wakuum patrony
St.Cera-nyň 12 dýuýmlyk wakuum patrony 300 mm wafer bilen işlemek üçin 99,8% ýokary arassa alýumin oksidinden (Al₂O₃) takyklyk bilen işlenip düzüldi. Patron wakuumyň tutuş 300 mm diametr boýunça deň paýlanyşyny üpjün etmek üçin inçe oýukly ýüze eýedir (oýuk ini 0,5–1,0 mm, ädimi 2–3 mm). Tekizlik 5 μm aralygynda saklanýar, bu bolsa waferiň dogralanda, arka tarapy üwelende we barlagda egriliksiz berkidilmegine mümkinçilik berýär. Materialyň ýokary egilme güýji (361 MPa) we gatylygy (16 GPa) gaýtalanýan wakuum sikllerinde hem uzak möhletli ölçegli durnuklylygy kepillendirýär.
-
Integrasiýa edilen wakuum kanallary bolan alýumin oksidi keramiki uç effektory
St.Cera-nyň alýumin wakuum effektory takyk işlenen wakuum kanallaryny we sorujy deşikleri gönüden-göni 99,8% ýokary arassa alýumin okis göwresine birleşdirýär. Bu dizaýn daşarky wakuum ýastykçalaryny aradan aýyrýar, bu bolsa birmeňzeş saklamak güýji bilen waferiň gönüden-göni alynmagyny üpjün edýär. Materialyň ýokary egilme güýji (361 MPa) we gatylygy (16 GPa) gaýtalanýan wakuum sikllerinde uzak möhletli ölçegli durnuklylygy üpjün edýär. Ýastykça meýdanynyň tekizligi 10 μm aralygynda saklanýar, bu bolsa waferiň stresiniň we döwülmeginiň öňüni alýar. Wakuum portlary OEM robot gollary bilen aňsat integrasiýa üçin arka montaj flanşynda ýerleşýär.
-
Statik duýgur plitalary ulanmak üçin ESD-Howpsuz alýumin oksidi keramiki bölekleri
St.Cera-nyň ESD (elektrostatik boşalma) üçin howpsuz alýumin oksidi keramiki bölekleri 99,8% ýokary arassalykdaky Al₂O₃-dan öndürilýär, bu bolsa hususy lehimleme ýa-da örtük prosesi arkaly gazanylýar. Bu bölekler statik zarýady netijeli dargadýar we duýgur ýarymgeçiriji plastinkalara we enjamlara elektrostatik zyýanyň öňüni alýar. Esasy material ýokary egilme güýjüni (361 MPa), gatylygyny (16 GPa) we dielektrik güýjüni (15 × 10⁶ V/m) saklaýar. ESD üçin howpsuz keramiki böleklere FAB awtomatlaşdyrmasy üçin uç effektorlary, göteriji ştiftleri, ýol görkeziji reýkalary we ýörite enjamlar girýär.
-
Ýarymgeçirijili zond enjamlary üçin keramiki ätiýaçlyk şaýlary
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Keramik plastinka ýarymgeçiriji enjam daşaýjy
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Ýarymgeçiriji enjamlarynyň keramiki ätiýaçlyk bölekleri
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Ýokary temperatura kamerasynyň möhürlenmegi üçin ýokary arassalykly alýumin oksidi keramiki möhür halkasy
St.Cera-nyň keramiki möhür halkasy elastomerleriň dargaýan ekstremal gurşawlarda polimer O-halkalaryna alternatiwa hökmünde döredildi. 99,8% ýokary arassa alýumin oksidinden (Al₂O₃) öndürilen bu berk möhür halkasy statik möhürleme ulanylyşlarynda - adatça ýumşak metal ýa-da grafit prokladkasy bilen birleşdirilende - 800°C-a çenli temperaturada we agressiw plazma ýa-da himiki gurşawlarda ygtybarly wakuum ýa-da gaz saklamasyny üpjün etmek üçin ulanylýar. Material nol gaz çykarma, ýokary basyş güýji (esasy egilme güýji 361 MPa) we himiki inertligi (HF-den başga galogenlere, kislotalara we alkalilere çydamly) hödürleýär. Takyk örtülen möhürleme ýüzleri (tekizligi ≤5 μm, ýüzüniň büdür-büdürligi Ra ≤0,2 μm) birleşýän metal ýa-da keramiki bölekler bilen syzmanyň öňüni almagy üpjün edýär.
-
Plazma aşındyryş we ýürek-damar ulgamlary üçin ýokary arassalykly alýumin kamerasynyň fokus halkasy
St.Cera-nyň kamera fokus halkasy plazma aşgarlamasynda, CVD we PVD ýarymgeçiriji enjamlarda ulanylýan möhüm proses toplumydyr. 99,8% ýokary arassa alýumin oksidinden (Al₂O₃) öndürilen halka plazma çäklendirmek we ion burç paýlanyşyny optimizirlemek üçin plastinkanyň gyrasyny gurşap alýar, şeýlelik bilen plastinkanyň ýüzünde aşgarlama deňligini ýokarlandyrýar. Material ajaýyp plazma garşylygyny, ýokary dielektrik güýjüni (15 × 10⁶ V/m) we 1600°C çenli termal durnuklylygy üpjün edýär, bu bolsa agressiw ftor ýa-da hlor esasly plazma gurşawlarynda uzak möhletli ygtybarlylygy üpjün edýär. Takyk topraklama ID/OD we tekizlik (≤10 μm) plastinkanyň gyrasyny takyk ýerleşdirmäge mümkinçilik berýär, gyra kemçiliklerini we bölejikleriň döremegini azaldýar.
-
CVD / PVD proses kameralary üçin ýokary arassalykly alýumin keramiki halka
St.Cera-nyň keramiki halkasy, CVD (Himiki bug çökündisi) we PVD (Fiziki bug çökündisi) proses kameralarynda ulanmak üçin ýörite dizaýn edildi. 99,8% ýokary arassa alýumin oksidinden (Al₂O₃) öndürilen bu halka, plazmany çäklendirmek we kamera diwarlaryny eroziýadan goramak üçin kameranyň astar, fokus halkasy ýa-da proses toplumynyň bölegi hökmünde hyzmat edýär. Material ajaýyp plazma garşylygyny, ýokary dielektrik berkligini (15 × 10⁶ V/m) we 1600°C çenli termal durnuklylygy üpjün edýär, bu bolsa agressiw ftor esasly plazma gurşawlarynda uzak hyzmat möhletini üpjün edýär. Takyk ölçegli çydamlylyklar (ID/OD-da ± 0,05 mm) we tekizlik (≤10 μm) wafer gyralarynyň yzygiderli ýerleşmegini üpjün edýär, çökündileriň deňligini gowulandyrýar we bölejikleriň döremegini azaldýar.
-
Bernoulli keramiki uç effektory — Inçe we döwülen wafllar üçin kontaktsyz wafli işlemegi
St.Cera-nyň Bernoulli keramiki uç effektory fiziki gatnaşyksyz waferleri dolandyrmak üçin aerodinamik göteriji ulanýar. Ýokary arassalykly 99,8% alýumin oksidinden (Al₂O₃) ýa-da kremniý karbidinden (SiC) öndürilen bu enjam, uç effektor bilen waferiň arasynda inçe howa plýonkasyny döretmek üçin basyşly gaz çykarýan takyk işlenen nozullary öz içine alýar. Bu gatnaşyksyz prinsip arka tarapdaky hapalanmany, gyralaryň döwülmegini we ýüziň zeperlenmegini aradan aýyrýar, bu bolsa ony inçe (≤100 μm), ejiz ýa-da egri waferler üçin amatly edýär. Keramiki substrat ýokary egilme güýjüni (Al₂O₃ üçin 361 MPa; SiC üçin 550–600 MPa çenli), pes massany we ajaýyp ölçegli durnuklylygy üpjün edýär, ýokary tizlikli wafer geçiriji robotlarynda gaýtalanýan ýerleşdirilişi üpjün edýär.
