-
Përpunimi i personalizuar i çorapeve qeramike të pllakës Al2O3
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Pllakë qeramike për pajisje gjysmëpërçuese të personalizuara ST.CERA
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Mandrinë vakumi alumini 12-inç për përpunimin e pllakave 300 mm
Mandrina me vakum 12 inç e St.Cera është projektuar me precizion nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃) për trajtimin e pllakave 300 mm. Mandrina ka një sipërfaqe me kanale të holla (gjerësia e kanalit 0.5–1.0 mm, hapi 2–3 mm) për të siguruar shpërndarje uniforme të vakumit në të gjithë diametrin 300 mm. Rrafshësia ruhet brenda 5 μm, duke mundësuar fiksimin pa deformim të pllakave gjatë prerjes në kubikë, bluarjes nga ana e pasme dhe inspektimit. Rezistenca e lartë në përkulje e materialit (361 MPa) dhe fortësia (16 GPa) garantojnë stabilitet dimensional afatgjatë edhe nën cikle të përsëritura vakumi.
-
Efektor Fundor Qeramik Alumine me Kanale Vakumi të Integruara
Efektori fundor i vakumit të aluminit të St.Cera integron kanale vakumi të përpunuara me precizion dhe vrima thithjeje direkt në trupin e aluminit me pastërti të lartë prej 99.8%. Ky dizajn eliminon jastëkët e jashtëm të vakumit, duke mundësuar marrjen direkte të pllakës së pllakave me forcë mbajtëse uniforme. Rezistenca e lartë në përkulje e materialit (361 MPa) dhe fortësia (16 GPa) sigurojnë stabilitet dimensional afatgjatë nën cikle të përsëritura vakumi. Sheshësia në të gjithë zonën e pllakës mbahet brenda 10 μm, duke parandaluar stresin dhe thyerjen e pllakës së pllakave. Portat e vakumit janë të vendosura në flanxhën e pasme të montimit për integrim të lehtë me krahët e robotit OEM.
-
Pjesë qeramike alumine të sigurta ndaj ESD-së për trajtimin e pllakave të ndjeshme ndaj statikës
Pjesët qeramike të aluminit të sigurta ESD (shkarkimi elektrostatik) të St.Cera prodhohen nga 99.8% Al₂O₃ me pastërti të lartë me një rezistencë të përshtatur sipërfaqësore prej 10⁶–10⁹ Ω/sq, e arritur përmes një procesi të patentuar dopingu ose veshjeje. Këto pjesë shpërndajnë në mënyrë efektive ngarkesën statike, duke parandaluar dëmtimin elektrostatik të pllakave dhe pajisjeve gjysmëpërçuese të ndjeshme. Materiali bazë ruan forcën e tij të lartë në përkulje (361 MPa), fortësinë (16 GPa) dhe forcën dielektrike (15×10⁶ V/m). Pjesët qeramike të sigurta ESD përfshijnë efektorë fundorë, kunja ngritëse, shina udhëzuese dhe pajisje të personalizuara për automatizimin FAB.
-
Pjesë këmbimi qeramike për pajisje sondash gjysmëpërçuese
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Bartës i Pajisjeve Gjysmëpërçuese me Pllakë Qeramike
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Pjesë këmbimi qeramike për pajisje gjysmëpërçuese
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Unazë vulosjeje qeramike alumine me pastërti të lartë për vulosjen e dhomës në temperaturë të lartë
Unaza e vulosjes qeramike e St.Cera është projektuar si një alternativë ndaj unazave polimerike O në mjedise ekstreme ku elastomerët degradojnë. E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), kjo unazë e ngurtë vulosjeje përdoret në aplikime statike të vulosjes - zakonisht e shoqëruar me një guarnicion metali të butë ose grafiti - për të siguruar vakum të besueshëm ose përmbajtje gazi në temperatura deri në 800°C dhe në mjedise agresive plazme ose kimike. Materiali ofron zero çlirim gazrash, rezistencë të lartë ndaj kompresionit (rezistencë themelore në përkulje 361 MPa) dhe inertësi kimike (rezistente ndaj halogjeneve, acideve dhe alkaleve përveç HF). Sipërfaqet e vulosjes të lyera me precizion (rrafshësi ≤5 μm, vrazhdësi sipërfaqësore Ra ≤0.2 μm) sigurojnë kontakt të ngushtë me përbërësit metalikë ose qeramikë që bashkohen.
-
Unazë Fokusi e Dhomës së Aluminës me Pastërti të Lartë për Sistemet e Gdhendjes me Plazmë dhe CVD
Unaza e fokusit me dhomë e St.Cera është një komponent kritik i kompletit të procesit që përdoret në pajisjet gjysmëpërçuese të gdhendjes me plazmë, CVD dhe PVD. E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), unaza rrethon skajin e pllakës së gërryerjes për të kufizuar plazmën dhe për të optimizuar shpërndarjen këndore të joneve, duke përmirësuar kështu uniformitetin e gdhendjes në të gjithë sipërfaqen e pllakës. Materiali ofron rezistencë të jashtëzakonshme ndaj plazmës, forcë të lartë dielektrike (15×10⁶ V/m) dhe stabilitet termik deri në 1600°C, duke siguruar besueshmëri afatgjatë në mjedise agresive plazme me bazë fluori ose klori. ID/OD e bluar me saktësi dhe sheshtësia (≤10 μm) mundësojnë pozicionim të saktë të skajit të pllakës së gërryerjes, duke zvogëluar defektet e skajit dhe gjenerimin e grimcave.
-
Unazë qeramike alumine me pastërti të lartë për dhomat e procesit CVD / PVD
Unaza qeramike e St.Cera është projektuar posaçërisht për përdorim në dhomat e procesit CVD (Depozitimi Kimik i Avujve) dhe PVD (Depozitimi Fizik i Avujve). E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), kjo unazë shërben si një mbulesë dhome, unazë fokusimi ose përbërës i kompletit të procesit për të kufizuar plazmën dhe për të mbrojtur muret e dhomës nga erozioni. Materiali ofron rezistencë të shkëlqyer ndaj plazmës, forcë të lartë dielektrike (15×10⁶ V/m) dhe stabilitet termik deri në 1600°C, duke siguruar jetëgjatësi të gjatë shërbimi në mjedise agresive plazme me bazë fluori. Tolerancat e sakta dimensionale (±0.05 mm në ID/OD) dhe sheshtësia (≤10 μm) mundësojnë pozicionim të qëndrueshëm të skajit të pllakës, duke përmirësuar uniformitetin e depozitimit dhe duke zvogëluar gjenerimin e grimcave.
-
Efektori i Fundit Qeramik Bernoulli — Trajtimi pa Kontakt i Napolit për Napolita të Holla dhe të Brishta
Efektori fundor qeramik Bernoulli i St.Cera përdor ngritje aerodinamike për të trajtuar pllakat pa kontakt fizik. I prodhuar nga aluminë (Al₂O₃) me pastërti të lartë 99.8% ose karbit silikoni (SiC), ai përmban gryka të përpunuara me precizion që nxjerrin gaz nën presion për të krijuar një film ajri të hollë midis efektorit fundor dhe pllakave. Ky parim pa kontakt eliminon ndotjen e pjesës së pasme, copëtimin e skajeve dhe dëmtimin e sipërfaqes, duke e bërë atë ideal për pllaka të holla (≤100 μm), të brishta ose të deformuara. Substrati qeramik ofron rezistencë të lartë në përkulje (361 MPa për Al₂O₃; deri në 550–600 MPa për SiC), masë të ulët dhe stabilitet dimensional të shkëlqyer, duke siguruar pozicionim të përsëritshëm në robotët e transferimit të pllakave me shpejtësi të lartë.
