-
Al2O3 సిరామిక్ వేఫర్ చక్ యొక్క అనుకూలీకరించిన ప్రాసెసింగ్
కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ ద్వారా ఏర్పడి, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద సింటరింగ్ చేయబడి, ఆపై ఖచ్చితత్వంతో మెషీనింగ్ మరియు పాలిషింగ్ చేయబడిన సిరామిక్ విడి భాగాలు, వాటి అరుగుదల నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచం మరియు ఇన్సులేషన్ వంటి లక్షణాలతో సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క ఎలాంటి కఠినమైన అవసరాలనైనా తీర్చగలవు. సిరామిక్స్ అధిక ఉష్ణోగ్రత, వాక్యూమ్ లేదా క్షయకారక వాయువు వంటి పరిస్థితులలో అనేక రకాల సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి పరికరాలలో ఎక్కువ కాలం పనిచేయగలవు.
అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా పౌడర్‌తో తయారుచేసి, కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్, అధిక ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ మరియు ప్రెసిషన్ ఫినిషింగ్ ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడిన ఇది, ±0.001 మిమీ వరకు డైమెన్షన్ టాలరెన్స్, Ra 0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్, 1600℃ ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను చేరుకోగలదు.
-
ST.CERA అనుకూలీకరించిన సెమీకండక్టర్ పరికరాల సిరామిక్ ప్లేట్
కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ ద్వారా ఏర్పడి, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద సింటరింగ్ చేయబడి, ఆపై ఖచ్చితత్వంతో మెషీనింగ్ మరియు పాలిషింగ్ చేయబడిన సిరామిక్ విడి భాగాలు, వాటి అరుగుదల నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచం మరియు ఇన్సులేషన్ వంటి లక్షణాలతో సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క ఎలాంటి కఠినమైన అవసరాలనైనా తీర్చగలవు. సిరామిక్స్ అధిక ఉష్ణోగ్రత, వాక్యూమ్ లేదా క్షయకారక వాయువు వంటి పరిస్థితులలో అనేక రకాల సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి పరికరాలలో ఎక్కువ కాలం పనిచేయగలవు.
అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా పౌడర్‌తో తయారుచేసి, కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్, అధిక ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ మరియు ప్రెసిషన్ ఫినిషింగ్ ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడిన ఇది, ±0.001 మిమీ వరకు డైమెన్షన్ టాలరెన్స్, Ra 0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్, 1600℃ ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను చేరుకోగలదు.
-
300mm వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం 12-అంగుళాల అల్యూమినా వాక్యూమ్ చక్
సెయింట్ సెరా వారి 12-అంగుళాల వాక్యూమ్ చక్, 300mm వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కోసం 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃)తో అత్యంత కచ్చితత్వంతో రూపొందించబడింది. ఈ చక్, మొత్తం 300mm వ్యాసం అంతటా వాక్యూమ్ ఏకరీతిగా పంపిణీ అయ్యేలా చూసేందుకు, సన్నని గాడిగల ఉపరితలాన్ని (గాడి వెడల్పు 0.5–1.0 mm, పిచ్ 2–3 mm) కలిగి ఉంటుంది. దీని సమతలం 5 μm లోపల నిర్వహించబడుతుంది, ఇది డైసింగ్, బ్యాక్‌సైడ్ గ్రైండింగ్ మరియు తనిఖీ సమయంలో వేఫర్‌ను వంకర లేకుండా స్థిరంగా ఉంచడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ యొక్క అధిక వంగుడు బలం (361 MPa) మరియు కాఠిన్యం (16 GPa), పదేపదే వాక్యూమ్ సైకిల్స్ కింద కూడా దీర్ఘకాలిక కొలతల స్థిరత్వానికి హామీ ఇస్తాయి.
-
సమీకృత వాక్యూమ్ ఛానెల్‌లతో కూడిన అల్యూమినా సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్
సెయింట్ సెరా యొక్క అల్యూమినా వాక్యూమ్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, ఖచ్చితంగా మెషిన్ చేయబడిన వాక్యూమ్ ఛానెల్‌లు మరియు సక్షన్ హోల్స్‌ను నేరుగా 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా బాడీలోకి అనుసంధానిస్తుంది. ఈ డిజైన్ బాహ్య వాక్యూమ్ ప్యాడ్‌లను తొలగిస్తుంది, దీనివల్ల ఏకరీతి హోల్డింగ్ ఫోర్స్‌తో నేరుగా వేఫర్‌ను పికప్ చేయడం సాధ్యమవుతుంది. ఈ మెటీరియల్ యొక్క అధిక ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంగ్త్ (361 MPa) మరియు కాఠిన్యం (16 GPa), పదేపదే వాక్యూమ్ సైకిల్స్ కింద కూడా దీర్ఘకాలిక డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి. ప్యాడ్ ప్రాంతం అంతటా సమతలం 10 μm లోపల నిర్వహించబడుతుంది, ఇది వేఫర్‌పై ఒత్తిడిని మరియు విరిగిపోవడాన్ని నివారిస్తుంది. OEM రోబోట్ ఆర్మ్స్‌తో సులభంగా అనుసంధానించడం కోసం వాక్యూమ్ పోర్ట్‌లు వెనుక మౌంటింగ్ ఫ్లాంజ్ వద్ద అమర్చబడి ఉంటాయి.
-
స్టాటిక్-సెన్సిటివ్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కోసం ESD-సురక్షిత అల్యూమినా సిరామిక్ భాగాలు
సెయింట్ సెరా యొక్క ESD (ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ డిశ్చార్జ్) సురక్షితమైన అల్యూమినా సిరామిక్ భాగాలు, ఒక యాజమాన్య డోపింగ్ లేదా కోటింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా సాధించబడిన 10⁶–10⁹ Ω/sq యొక్క అనుకూల ఉపరితల నిరోధకత కలిగిన 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత Al₂O₃ నుండి తయారు చేయబడతాయి. ఈ భాగాలు స్టాటిక్ ఛార్జ్‌ను సమర్థవంతంగా వెదజల్లి, సున్నితమైన సెమీకండక్టర్ వేఫర్‌లు మరియు పరికరాలకు ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ నష్టాన్ని నివారిస్తాయి. ఈ ఆధార పదార్థం దాని అధిక వంగుదల బలం (361 MPa), కాఠిన్యం (16 GPa), మరియు విద్యుద్వాహక బలం (15×10⁶ V/m)లను నిలుపుకుంటుంది. ESD-సురక్షిత సిరామిక్ భాగాలలో ఎండ్ ఎఫెక్టర్‌లు, లిఫ్ట్ పిన్‌లు, గైడ్ రైల్స్, మరియు FAB ఆటోమేషన్ కోసం కస్టమ్ ఫిక్చర్‌లు ఉంటాయి.
-
సెమీకండక్టర్ ప్రోబ్ పరికరాల కోసం సిరామిక్ విడి భాగాలు
కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ ద్వారా ఏర్పడి, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద సింటరింగ్ చేయబడి, ఆపై ఖచ్చితత్వంతో మెషీనింగ్ మరియు పాలిషింగ్ చేయబడిన సిరామిక్ విడి భాగాలు, వాటి అరుగుదల నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచం మరియు ఇన్సులేషన్ వంటి లక్షణాలతో సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క ఎలాంటి కఠినమైన అవసరాలనైనా తీర్చగలవు. సిరామిక్స్ అధిక ఉష్ణోగ్రత, వాక్యూమ్ లేదా క్షయకారక వాయువు వంటి పరిస్థితులలో అనేక రకాల సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి పరికరాలలో ఎక్కువ కాలం పనిచేయగలవు.
అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా పౌడర్‌తో తయారుచేసి, కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్, అధిక ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ మరియు ప్రెసిషన్ ఫినిషింగ్ ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడిన ఇది, ±0.001 మిమీ వరకు డైమెన్షన్ టాలరెన్స్, Ra 0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్, 1600℃ ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను చేరుకోగలదు.
-
సిరామిక్ ప్లేట్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల క్యారియర్
కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ ద్వారా ఏర్పడి, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద సింటరింగ్ చేయబడి, ఆపై ఖచ్చితత్వంతో మెషీనింగ్ మరియు పాలిషింగ్ చేయబడిన సిరామిక్ విడి భాగాలు, వాటి అరుగుదల నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచం మరియు ఇన్సులేషన్ వంటి లక్షణాలతో సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క ఎలాంటి కఠినమైన అవసరాలనైనా తీర్చగలవు. సిరామిక్స్ అధిక ఉష్ణోగ్రత, వాక్యూమ్ లేదా క్షయకారక వాయువు వంటి పరిస్థితులలో అనేక రకాల సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి పరికరాలలో ఎక్కువ కాలం పనిచేయగలవు.
అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా పౌడర్‌తో తయారుచేసి, కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్, అధిక ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ మరియు ప్రెసిషన్ ఫినిషింగ్ ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడిన ఇది, ±0.001 మిమీ వరకు డైమెన్షన్ టాలరెన్స్, Ra 0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్, 1600℃ ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను చేరుకోగలదు.
-
సెమీకండక్టర్ పరికరాల సిరామిక్ విడి భాగాలు
కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ ద్వారా ఏర్పడి, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద సింటరింగ్ చేయబడి, ఆపై ఖచ్చితత్వంతో మెషీనింగ్ మరియు పాలిషింగ్ చేయబడిన సిరామిక్ విడి భాగాలు, వాటి అరుగుదల నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచం మరియు ఇన్సులేషన్ వంటి లక్షణాలతో సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క ఎలాంటి కఠినమైన అవసరాలనైనా తీర్చగలవు. సిరామిక్స్ అధిక ఉష్ణోగ్రత, వాక్యూమ్ లేదా క్షయకారక వాయువు వంటి పరిస్థితులలో అనేక రకాల సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి పరికరాలలో ఎక్కువ కాలం పనిచేయగలవు.
అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా పౌడర్‌తో తయారుచేసి, కోల్డ్ ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్, అధిక ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ మరియు ప్రెసిషన్ ఫినిషింగ్ ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడిన ఇది, ±0.001 మిమీ వరకు డైమెన్షన్ టాలరెన్స్, Ra 0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్, 1600℃ ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను చేరుకోగలదు.
-
అధిక-ఉష్ణోగ్రత చాంబర్ సీలింగ్ కోసం అధిక-స్వచ్ఛత అల్యూమినా సిరామిక్ సీల్ రింగ్
సెయింట్ సెరా యొక్క సిరామిక్ సీల్ రింగ్, ఎలాస్టోమర్‌లు క్షీణించే తీవ్రమైన వాతావరణాలలో పాలిమర్ ఓ-రింగ్‌లకు ప్రత్యామ్నాయంగా రూపొందించబడింది. 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి తయారు చేయబడిన ఈ దృఢమైన సీల్ రింగ్, స్టాటిక్ సీలింగ్ అనువర్తనాలలో ఉపయోగించబడుతుంది — సాధారణంగా మృదువైన లోహం లేదా గ్రాఫైట్ గాస్కెట్‌తో జతచేయబడి — 800°C వరకు ఉష్ణోగ్రతల వద్ద మరియు తీవ్రమైన ప్లాస్మా లేదా రసాయన వాతావరణాలలో నమ్మకమైన వాక్యూమ్ లేదా గ్యాస్ నిరోధాన్ని అందించడానికి. ఈ మెటీరియల్ సున్నా అవుట్‌గ్యాసింగ్, అధిక సంపీడన బలం (అంతర్లీన ఫ్లెక్సురల్ బలం 361 MPa), మరియు రసాయన జడత్వాన్ని (HF మినహా హాలోజన్‌లు, ఆమ్లాలు మరియు క్షారాలకు నిరోధకత) అందిస్తుంది. ఖచ్చితంగా లాప్ చేయబడిన సీలింగ్ ఉపరితలాలు (ఫ్లాట్‌నెస్ ≤5 μm, ఉపరితల గరుకుదనం Ra ≤0.2 μm) జతచేయబడిన లోహ లేదా సిరామిక్ భాగాలతో లీక్-టైట్ కాంటాక్ట్‌ను నిర్ధారిస్తాయి.
-
ప్లాస్మా ఎట్చ్ & CVD సిస్టమ్‌ల కోసం అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా ఛాంబర్ ఫోకస్ రింగ్
సెయింట్ సెరా వారి ఛాంబర్ ఫోకస్ రింగ్ అనేది ప్లాస్మా ఎట్చ్, CVD, మరియు PVD సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో ఉపయోగించే ఒక కీలకమైన ప్రాసెస్ కిట్ భాగం. 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃)తో తయారు చేయబడిన ఈ రింగ్, ప్లాస్మాను పరిమితం చేయడానికి మరియు అయాన్ కోణీయ పంపిణీని ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి వేఫర్ అంచును చుట్టుముడుతుంది, తద్వారా వేఫర్ ఉపరితలం అంతటా ఎట్చ్ ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ అసాధారణమైన ప్లాస్మా నిరోధకతను, అధిక డైఎలెక్ట్రిక్ బలాన్ని (15×10⁶ V/m), మరియు 1600°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది, ఇది తీవ్రమైన ఫ్లోరిన్- లేదా క్లోరిన్-ఆధారిత ప్లాస్మా వాతావరణాలలో దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది. ఖచ్చితంగా గ్రౌండ్ చేయబడిన ID/OD మరియు ఫ్లాట్‌నెస్ (≤10 μm) వేఫర్ అంచును కచ్చితంగా ఉంచడానికి వీలు కల్పిస్తాయి, అంచు లోపాలను మరియు కణాల ఉత్పత్తిని తగ్గిస్తాయి.
-
CVD / PVD ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌ల కోసం అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్ రింగ్
సెయింట్ సెరా వారి సిరామిక్ రింగ్, CVD (కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్) మరియు PVD (ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్) ప్రాసెస్ ఛాంబర్లలో ఉపయోగం కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃)తో తయారు చేయబడిన ఈ రింగ్, ప్లాస్మాను నిరోధించడానికి మరియు ఛాంబర్ గోడలను కోత నుండి రక్షించడానికి ఛాంబర్ లైనర్, ఫోకస్ రింగ్ లేదా ప్రాసెస్ కిట్ కాంపోనెంట్‌గా పనిచేస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ అద్భుతమైన ప్లాస్మా నిరోధకతను, అధిక డైఎలెక్ట్రిక్ స్ట్రెంగ్త్ (15×10⁶ V/m) మరియు 1600°C వరకు థర్మల్ స్టెబిలిటీని అందిస్తుంది, ఇది తీవ్రమైన ఫ్లోరిన్ ఆధారిత ప్లాస్మా వాతావరణాలలో సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. కచ్చితమైన డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్‌లు (ID/OD పై ±0.05 mm) మరియు ఫ్లాట్‌నెస్ (≤10 μm) వేఫర్ అంచును స్థిరంగా ఉంచడానికి వీలు కల్పిస్తాయి, ఇది డిపోజిషన్ ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు పార్టికల్ జనరేషన్‌ను తగ్గిస్తుంది.
-
బెర్నౌలీ సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ — పలుచని మరియు పెళుసైన వేఫర్‌ల కోసం స్పర్శరహిత వేఫర్ నిర్వహణ
సెయింట్ సెరా వారి బెర్నౌలీ సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, వేఫర్‌లను భౌతిక స్పర్శ లేకుండా నిర్వహించడానికి ఏరోడైనమిక్ లిఫ్ట్‌ను ఉపయోగిస్తుంది. అధిక స్వచ్ఛత గల 99.8% అల్యూమినా (Al₂O₃) లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) తో తయారు చేయబడిన దీనిలో, ఎండ్ ఎఫెక్టర్ మరియు వేఫర్ మధ్య ఒక పలుచని గాలి పొరను సృష్టించడానికి పీడనంతో కూడిన వాయువును వెలికితీసే ఖచ్చితత్వంతో యంత్రాలతో తయారు చేయబడిన నాజిల్స్ ఉంటాయి. ఈ స్పర్శరహిత సూత్రం వెనుక వైపు కాలుష్యం, అంచులు విరగడం మరియు ఉపరితల నష్టాన్ని నివారిస్తుంది, అందువల్ల ఇది పలుచని (≤100 μm), పెళుసైన లేదా వంకరగా ఉన్న వేఫర్‌లకు ఆదర్శంగా ఉంటుంది. సిరామిక్ సబ్‌స్ట్రేట్ అధిక వంగుడు బలాన్ని (Al₂O₃ కోసం 361 MPa; SiC కోసం 550–600 MPa వరకు), తక్కువ బరువును మరియు అద్భుతమైన ఆకార స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది, ఇది అధిక-వేగ వేఫర్ బదిలీ రోబోట్‌లలో పునరావృతమయ్యే స్థాన నిర్ధారణను నిర్ధారిస్తుంది.
