-
Al2O3 kerámia ostyatokmány testreszabott feldolgozása
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
ST.CERA Testreszabott Félvezető Berendezés Kerámia Lemez
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
12 hüvelykes alumínium-oxid vákuumos tokmány 300 mm-es ostyafeldolgozáshoz
A St.Cera 12 hüvelykes vákuumos tokmánya 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂O₃) készült precíziós tervezéssel, 300 mm-es ostyakezeléshez. A tokmány finoman barázdált felülettel rendelkezik (horonyszélesség 0,5–1,0 mm, menetemelkedés 2–3 mm), hogy egyenletes vákuumeloszlást biztosítson a teljes 300 mm-es átmérőn. A síkfelület 5 μm-en belül marad, ami lehetővé teszi a vetemedésmentes ostyarögzítést a darabolás, a hátoldali köszörülés és az ellenőrzés során. Az anyag nagy hajlítószilárdsága (361 MPa) és keménysége (16 GPa) hosszú távú méretstabilitást garantál még ismételt vákuumciklusok alatt is.
-
Alumínium-oxid kerámia effektor integrált vákuumcsatornákkal
A St.Cera alumínium-oxid vákuumos effektora precíziósan megmunkált vákuumcsatornákat és szívónyílásokat integrál közvetlenül a 99,8%-os, nagy tisztaságú alumínium-oxid testbe. Ez a kialakítás kiküszöböli a külső vákuumpárnákat, lehetővé téve a közvetlen ostyafelvételt egyenletes tartóerővel. Az anyag nagy hajlítószilárdsága (361 MPa) és keménysége (16 GPa) hosszú távú méretstabilitást biztosít ismételt vákuumciklusok alatt. A párna felületének síkfelülete 10 μm-en belül marad, megakadályozva az ostya feszültségét és törését. A vákuumcsatlakozók a hátsó rögzítőperemnél találhatók, így könnyen integrálhatók az OEM robotkarokba.
-
ESD-biztos alumínium-oxid kerámia alkatrészek statikusan érzékeny ostyák kezeléséhez
A St.Cera ESD (elektrosztatikus kisülés) elleni védelemmel ellátott alumínium-oxid kerámia alkatrészei 99,8%-ban nagy tisztaságú Al₂O₃-ból készülnek, 10⁶–10⁹ Ω/sq felületi ellenállással, amelyet egy szabadalmaztatott adalékolási vagy bevonási eljárással érnek el. Ezek az alkatrészek hatékonyan elvezetik a sztatikus töltést, megakadályozva az érzékeny félvezető ostyák és eszközök elektrosztatikus károsodását. Az alapanyag megőrzi nagy hajlítószilárdságát (361 MPa), keménységét (16 GPa) és dielektromos szilárdságát (15×10⁶ V/m). Az ESD-biztos kerámia alkatrészek közé tartoznak az effektorok, emelőcsapok, vezetősínek és egyedi szerelvények az FAB automatizáláshoz.
-
Kerámia alkatrészek félvezető szondás berendezésekhez
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
Kerámia lemez félvezető berendezés hordozó
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
Félvezető berendezések kerámia alkatrészek
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
Nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia tömítőgyűrű magas hőmérsékletű kamratömítéshez
A St.Cera kerámia tömítőgyűrűjét a polimer O-gyűrűk alternatívájaként tervezték extrém környezetekben, ahol az elasztomerek lebomlanak. 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂O₃) készült, ez a merev tömítőgyűrű statikus tömítési alkalmazásokban használatos – jellemzően lágy fém vagy grafit tömítéssel párosítva –, hogy megbízható vákuum- vagy gázzárást biztosítson akár 800°C hőmérsékleten, valamint agresszív plazma- vagy kémiai környezetben. Az anyag nulla gázkibocsátást, nagy nyomószilárdságot (alap hajlítószilárdság 361 MPa) és kémiai inertséget kínál (ellenáll a halogéneknek, savaknak és lúgoknak, kivéve a HF-et). A precíziósan leppelt tömítőfelületek (síkság ≤5 μm, felületi érdesség Ra ≤0,2 μm) biztosítják a szivárgásmentes érintkezést az illeszkedő fém vagy kerámia alkatrészekkel.
-
Nagy tisztaságú alumínium-oxid kamrás fókuszgyűrű plazmamaratáshoz és CVD rendszerekhez
A St.Cera kamrafókuszgyűrűje kritikus fontosságú folyamatkészlet-alkatrész, amelyet plazmamaratásos, CVD és PVD félvezető berendezésekben használnak. A 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂O₃) készült gyűrű körülveszi a lapka szélét, hogy korlátozza a plazmát és optimalizálja az ionok szögeloszlását, ezáltal javítva a maratás egyenletességét a lapka felületén. Az anyag kivételes plazmaállóságot, nagy dielektromos szilárdságot (15×10⁶ V/m) és akár 1600°C-ig terjedő hőstabilitást kínál, ami hosszú távú megbízhatóságot biztosít agresszív fluor- vagy klóralapú plazmakörnyezetekben. A precíziósan köszörült belső/külső átmérő és síkfelület (≤10 μm) lehetővé teszi a lapkaszél pontos pozicionálását, csökkentve az élhibákat és a részecskeképződést.
-
Nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia gyűrű CVD / PVD folyamatkamrákhoz
A St.Cera kerámiagyűrűjét kifejezetten CVD (kémiai gőzfázisú leválasztás) és PVD (fizikai gőzfázisú leválasztás) folyamatkamrákban való használatra tervezték. A 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂O₃) készült gyűrű kamrabélelésként, fókuszgyűrűként vagy folyamatkészlet-alkatrészként szolgál a plazma korlátozására és a kamrafalak erózió elleni védelmére. Az anyag kiváló plazmaállóságot, nagy átütési szilárdságot (15×10⁶ V/m) és akár 1600°C-ig terjedő hőstabilitást kínál, így hosszú élettartamot biztosít agresszív fluor alapú plazmakörnyezetben. A pontos mérettűrések (±0,05 mm belső/külső átmérőn) és síkfelület (≤10 μm) lehetővé teszik az ostya élének egyenletes pozicionálását, javítva a leválasztás egyenletességét és csökkentve a részecskeképződést.
-
Bernoulli kerámia effektor – Érintésmentes szeletkezelés vékony és törékeny szeletekhez
A St.Cera Bernoulli kerámia effektora aerodinamikus emelést használ a waferek fizikai érintkezés nélküli kezeléséhez. Nagy tisztaságú, 99,8%-os alumínium-oxidból (Al₂O₃) vagy szilícium-karbidból (SiC) készült, precíziósan megmunkált fúvókákkal rendelkezik, amelyek nyomás alatti gázt fújnak ki, vékony levegőfilmet hozva létre a wafer és a wafer között. Ez az érintkezésmentes elv kiküszöböli a hátoldali szennyeződést, az él lepattogzását és a felületi károsodást, így ideális vékony (≤100 μm), törékeny vagy vetemedett waferekhez. A kerámia hordozó nagy hajlítószilárdságot (361 MPa Al₂O₃ esetén; akár 550–600 MPa SiC esetén), alacsony tömeget és kiváló méretstabilitást biztosít, biztosítva az ismételhető pozicionálást a nagy sebességű waferátviteli robotokban.
