-
Prispôsobené spracovanie keramického skľučovadla Al2O3
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramická doska pre polovodičové zariadenia ST.CERA na mieru
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
12-palcový vákuový upínač z oxidu hlinitého na spracovanie 300 mm doštičiek
12-palcový vákuový upínač St.Cera je presne vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) pre manipuláciu s 300 mm doštičkami. Upínač má jemne drážkovaný povrch (šírka drážky 0,5 – 1,0 mm, rozstup 2 – 3 mm), ktorý zabezpečuje rovnomerné rozloženie vákua po celom priemere 300 mm. Rovinnosť je udržiavaná v rozmedzí 5 μm, čo umožňuje fixáciu doštičky bez deformácie počas rezania, brúsenia zadnej strany a kontroly. Vysoká pevnosť v ohybe (361 MPa) a tvrdosť (16 GPa) materiálu zaručujú dlhodobú rozmerovú stabilitu aj pri opakovaných vákuových cykloch.
-
Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky s integrovanými vákuovými kanálmi
Vákuový koncový efektor z oxidu hlinitého od spoločnosti St.Cera integruje precízne opracované vákuové kanály a sacie otvory priamo do tela z oxidu hlinitého s vysokou čistotou 99,8 %. Táto konštrukcia eliminuje externé vákuové podložky, čo umožňuje priame odberanie doštičiek s rovnomernou prídržnou silou. Vysoká pevnosť v ohybe (361 MPa) a tvrdosť (16 GPa) materiálu zaisťujú dlhodobú rozmerovú stabilitu pri opakovaných vákuových cykloch. Rovinnosť na ploche podložky sa udržiava v rozmedzí 10 μm, čo zabraňuje namáhaniu a zlomeniu doštičiek. Vákuové porty sú umiestnené na zadnej montážnej prírube pre jednoduchú integráciu s robotickými ramenami OEM.
-
Keramické diely z oxidu hlinitého odolné voči elektrostatickej elektrine pre manipuláciu s doštičkami citlivými na statickú elektrinu
Keramické diely z oxidu hlinitého odolné voči elektrostatickému výboju (ESD) od spoločnosti St.Cera sú vyrobené z vysoko čistého Al₂O₃ s 99,8 % povrchovým odporom 10⁶–10⁹ Ω/m², ktorý sa dosahuje patentovaným procesom dopovania alebo povlakovania. Tieto diely účinne odvádzajú statický náboj a zabraňujú elektrostatickému poškodeniu citlivých polovodičových doštičiek a zariadení. Základný materiál si zachováva vysokú pevnosť v ohybe (361 MPa), tvrdosť (16 GPa) a dielektrickú pevnosť (15×10⁶ V/m). Medzi keramické diely odolné voči ESD patria koncové efektory, zdvíhacie čapy, vodiace lišty a špeciálne upínacie prípravky pre automatizáciu FAB.
-
Keramické náhradné diely pre polovodičové sondy
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Nosič polovodičových zariadení s keramickou doskou
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramické náhradné diely pre polovodičové zariadenia
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Tesniaci krúžok z vysoko čistého oxidu hlinitého z keramiky pre utesnenie komory pri vysokých teplotách
Keramický tesniaci krúžok St.Cera je navrhnutý ako alternatíva k polymérnym O-krúžkom v extrémnych prostrediach, kde dochádza k degradácii elastomérov. Tento pevný tesniaci krúžok, vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), sa používa v statických tesniacich aplikáciách – zvyčajne v kombinácii s mäkkým kovovým alebo grafitovým tesnením – na zabezpečenie spoľahlivého vákua alebo izolácie plynu pri teplotách do 800 °C a v agresívnom plazmovom alebo chemickom prostredí. Materiál ponúka nulové uvoľňovanie plynov, vysokú pevnosť v tlaku (základná pevnosť v ohybe 361 MPa) a chemickú inertnosť (odolný voči halogénom, kyselinám a zásadám okrem HF). Presne lapované tesniace plochy (rovnosť ≤ 5 μm, drsnosť povrchu Ra ≤ 0,2 μm) zaisťujú tesný kontakt s kovovými alebo keramickými komponentmi.
-
Zaostrovací krúžok z vysoko čistého oxidu hlinitého pre systémy plazmového leptania a CVD
Zaostrovací krúžok do komory od spoločnosti St.Cera je kritickou súčasťou procesnej súpravy používanej v zariadeniach na plazmové leptanie, CVD a PVD polovodičové spracovanie. Krúžok je vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) a obklopuje okraj doštičky, aby obmedzil plazmu a optimalizoval uhlové rozloženie iónov, čím sa zlepšuje rovnomernosť leptania po celom povrchu doštičky. Materiál ponúka výnimočnú odolnosť voči plazme, vysokú dielektrickú pevnosť (15×10⁶ V/m) a tepelnú stabilitu až do 1600 °C, čo zaisťuje dlhodobú spoľahlivosť v agresívnom plazmovom prostredí na báze fluóru alebo chlóru. Presne brúsený vnútorný/vonkajší priemer a rovinnosť (≤10 μm) umožňujú presné polohovanie okrajov doštičky, čím sa znižujú defekty okrajov a tvorba častíc.
-
Vysoko čistý keramický krúžok z oxidu hlinitého pre procesné komory CVD/PVD
Keramický krúžok od spoločnosti St.Cera je špeciálne navrhnutý na použitie v procesných komorách CVD (chemické nanášanie z pár) a PVD (fyzikálne nanášanie z pár). Tento krúžok, vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), slúži ako vložka komory, zaostrovací krúžok alebo súčasť procesnej súpravy na obmedzenie plazmy a ochranu stien komory pred eróziou. Materiál ponúka vynikajúcu odolnosť voči plazme, vysokú dielektrickú pevnosť (15×10⁶ V/m) a tepelnú stabilitu až do 1600 °C, čo zaisťuje dlhú životnosť v agresívnom prostredí plazmy na báze fluóru. Presné rozmerové tolerancie (±0,05 mm na vnútornom/vonkajšom priemere) a rovinnosť (≤10 μm) umožňujú konzistentné polohovanie okrajov doštičky, čím sa zlepšuje rovnomernosť nanášania a znižuje sa tvorba častíc.
-
Keramický koncový efektor Bernoulli – bezkontaktná manipulácia s tenkými a krehkými doštičkami
Keramický koncový efektor Bernoulli od spoločnosti St.Cera využíva aerodynamický vztlak na manipuláciu s doštičkami bez fyzického kontaktu. Je vyrobený z vysoko čistého 99,8 % oxidu hlinitého (Al₂O₃) alebo karbidu kremíka (SiC) a je vybavený precízne opracovanými tryskami, ktoré vstrekujú stlačený plyn a vytvárajú tenký vzduchový film medzi koncovým efektorom a doštičkou. Tento bezkontaktný princíp eliminuje kontamináciu zadnej strany, odštiepenie hrán a poškodenie povrchu, vďaka čomu je ideálny pre tenké (≤100 μm), krehké alebo zdeformované doštičky. Keramický substrát poskytuje vysokú pevnosť v ohybe (361 MPa pre Al₂O₃; až 550 – 600 MPa pre SiC), nízku hmotnosť a vynikajúcu rozmerovú stabilitu, čo zabezpečuje opakovateľné polohovanie vo vysokorýchlostných robotoch na prenos doštičiek.
