-
Індывідуальная апрацоўка керамічнага патрона для пласцін Al2O3
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
ST.CERA Керамічная пласціна для паўправадніковага абсталявання на заказ
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
12-цалевы вакуумны патрон з аксіду алюмінію для апрацоўкі 300-міліметровых пласцін
12-цалевы вакуумны патрон St.Cera выраблены з дакладнасцю з 99,8% высакаякаснага аксіду алюмінію (Al₂O₃) для апрацоўкі пласцін дыяметрам 300 мм. Патрон мае дробна рыфленую паверхню (шырыня канаўкі 0,5–1,0 мм, крок канаўкі 2–3 мм), што забяспечвае раўнамернае размеркаванне вакууму па ўсім дыяметры 300 мм. Плоскаснасць падтрымліваецца ў межах 5 мкм, што дазваляе фіксаваць пласціны без дэфармацыі падчас нарэзкі, шліфоўкі адваротнага боку і кантролю. Высокая трываласць матэрыялу на выгіб (361 МПа) і цвёрдасць (16 ГПа) гарантуюць доўгатэрміновую стабільнасць памераў нават пры паўторных цыклах вакуумавання.
-
Алюмініевы керамічны канцавы эфектар з інтэграванымі вакуумнымі каналамі
Вакуумны канцавы эфектар St.Cera з аксіду алюмінію інтэгруе дакладна апрацаваныя вакуумныя каналы і ўсмоктвальныя адтуліны непасрэдна ў корпус з высокачыстага аксіду алюмінію 99,8%. Гэтая канструкцыя выключае знешнія вакуумныя пляцоўкі, што дазваляе непасрэдна захопліваць пласціны з раўнамернай сілай утрымання. Высокая трываласць матэрыялу на выгіб (361 МПа) і цвёрдасць (16 ГПа) забяспечваюць доўгатэрміновую стабільнасць памераў пры паўторных цыклах вакуумавання. Плоскасць па ўсёй плошчы пляцоўкі падтрымліваецца ў межах 10 мкм, што прадухіляе напружанне і паломку пласціны. Вакуумныя адтуліны размешчаны на заднім мантажным фланцы для лёгкай інтэграцыі з OEM-робатамі-маніпулятарамі.
-
Алюмінава-керамічныя дэталі, бяспечныя ад статычнай электрычнасці, для апрацоўкі статычна адчувальных пласцін
Керамічныя дэталі St.Cera з аксіду алюмінію, бяспечныя да статычнага разраду (ESD), вырабляюцца з высакаякаснага Al₂O₃ з утрыманнем 99,8% чысціні і маюць павярхоўнае супраціўленне 10⁶–10⁹ Ом/кв. см, якое дасягаецца з дапамогай запатэнтаванага працэсу легіравання або пакрыцця. Гэтыя дэталі эфектыўна рассейваюць статычны зарад, прадухіляючы электрастатычнае пашкоджанне адчувальных паўправадніковых пласцін і прылад. Асноўны матэрыял захоўвае высокую трываласць на выгіб (361 МПа), цвёрдасць (16 ГПа) і дыэлектрычную трываласць (15×10⁶ В/м). Да керамічных дэталяў, бяспечных да статычнага разраду, адносяцца канцавыя эфектары, пад'ёмныя штыфты, накіроўвалыя рэйкі і спецыяльныя прыстасаванні для аўтаматызацыі FAB.
-
Керамічныя запасныя часткі для паўправадніковага зондавага абсталявання
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічная пласціна паўправадніковага абсталявання
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічныя запасныя часткі для паўправадніковага абсталявання
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Высокачыстае керамічнае ўшчыльняльнае кольца з аксіду алюмінію для герметызацыі высокатэмпературных камер
Керамічнае ўшчыльняльнае кольца St.Cera распрацавана ў якасці альтэрнатывы палімерным O-вобразным кольцам у экстрэмальных умовах, дзе раскладаюцца эластамеры. Гэта жорсткае ўшчыльняльнае кольца, вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), выкарыстоўваецца ў статычных герметызацыях — звычайна ў пары з мяккай металічнай або графітавай пракладкай — для забеспячэння надзейнага вакууму або ўтрымання газу пры тэмпературах да 800°C і ў агрэсіўных плазменных або хімічных асяроддзях. Матэрыял забяспечвае нулявое газавыдзяленне, высокую трываласць на сціск (базавая трываласць на выгіб 361 МПа) і хімічную інертнасць (устойлівы да галагенаў, кіслот і шчолачаў, акрамя HF). Дакладна адшліфаваныя ўшчыльняльныя паверхні (плоскасць ≤5 мкм, шурпатасць паверхні Ra ≤0,2 мкм) забяспечваюць герметычны кантакт з адпаведнымі металічнымі або керамічнымі кампанентамі.
-
Высокачыстае кольца факусоўкі з аксіду алюмінію для сістэм плазменнага травлення і CVD
Факусавальнае кольца камеры St.Cera з'яўляецца найважнейшым кампанентам тэхналагічнага набору, які выкарыстоўваецца ў абсталяванні для плазменнага травлення, CVD і PVD паўправадніковых працэсаў. Вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), кольца акружае край пласціны, каб утрымліваць плазму і аптымізаваць вуглавое размеркаванне іонаў, тым самым паляпшаючы аднастайнасць травлення па ўсёй паверхні пласціны. Матэрыял валодае выключнай плазмаўстойлівасцю, высокай дыэлектрычнай трываласцю (15×10⁶ В/м) і тэрмічнай стабільнасцю да 1600°C, што забяспечвае доўгатэрміновую надзейнасць у агрэсіўных плазменных асяроддзях на аснове фтору або хлору. Дакладна адшліфаваны ўнутраны/знешні дыяметр і плоскаснасць (≤10 мкм) дазваляюць дакладна пазіцыянаваць край пласціны, памяншаючы дэфекты краёў і ўтварэнне часціц.
-
Керамічнае кольца з высокачыстага аксіду алюмінію для працэсных камер CVD / PVD
Керамічнае кольца St.Cera спецыяльна распрацавана для выкарыстання ў працэсных камерах CVD (хімічнае асаджэнне з паравой фазы) і PVD (фізічнае асаджэнне з паравой фазы). Вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), гэта кольца служыць укладышам камеры, факусуючым кольцам або кампанентам працэснага камплекта для ўтрымання плазмы і абароны сценак камеры ад эрозіі. Матэрыял валодае выдатнай плазмаўстойлівасцю, высокай дыэлектрычнай трываласцю (15×10⁶ В/м) і тэрмічнай стабільнасцю да 1600°C, што забяспечвае працяглы тэрмін службы ў агрэсіўных плазменных асяроддзях на аснове фтору. Дакладныя памерныя допускі (±0,05 мм па ўнутраным/вонкавым дыяметры) і плоскаснасці (≤10 мкм) дазваляюць забяспечыць паслядоўнае пазіцыянаванне краёў пласціны, паляпшаючы аднастайнасць асаджэння і памяншаючы ўтварэнне часціц.
-
Керамічны канцавы эфектар Бернулі — бескантактавае апрацоўванне тонкіх і далікатных пласцін
Керамічны канцавы эфектар St.Cera Bernoulli выкарыстоўвае аэрадынамічную пад'ёмную сілу для апрацоўкі пласцін без фізічнага кантакту. Выраблены з высакаякаснага аксіду алюмінію (Al₂O₃) або карбіду крэмнію (SiC) з чысцінёй 99,8%, ён мае дакладна апрацаваныя сопла, якія выкідваюць сціснуты газ для стварэння тонкай паветранай плёнкі паміж канцавым эфектарам і пласцінай. Гэты прынцып бескантактавай апрацоўкі выключае забруджванне адваротнага боку, сколы па краях і пашкоджанні паверхні, што робіць яго ідэальным для тонкіх (≤100 мкм), далікатных або дэфармаваных пласцін. Керамічная падкладка забяспечвае высокую трываласць на выгіб (361 МПа для Al₂O₃; да 550–600 МПа для SiC), нізкую масу і выдатную стабільнасць памераў, што забяспечвае паўтаральнае пазіцыянаванне ў высакахуткасных робатах для перадачы пласцін.
